專利名稱：離子注入機專用300kev能量探頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明，涉及高壓分壓和高壓絕緣技術(shù)，屬于半導(dǎo)體器件制造設(shè)備及高壓測量領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
集成電路制造技術(shù)的飛速發(fā)展，對各半導(dǎo)體工藝設(shè)備提出了更高的要求。離子注入機作為半導(dǎo)體離子摻雜工藝線的關(guān)鍵設(shè)備之一，也提出了很高的要求，尤其是在束流指標、束注入能量范圍及純度、注入深度控制、注入均勻性與生產(chǎn)率等方面也受到非常嚴峻的挑戰(zhàn)。其中，離子注入機的能量指標，是注入機中最重要的技術(shù)指標之一。那么如何精確測量離子能量尤為重要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)離子注入機專用300KEV能量探頭原理圖如圖1所示300KEV能量探頭由40個75ΜΩ高精度高壓電阻和一個100。 IK Ω構(gòu)成一個分壓比為30000 1的高壓取樣電路，2個保護瞬態(tài)用于保護探頭的輸出插座沒有連接好時保護其輸出電壓不會超過其保護電壓值。為了滿足探頭的耐壓要求，將40 個高壓電阻均勻安裝在一個PCB板上，并采用小形均壓環(huán)使得探頭從高壓端到地端電場頒布均勻，并將PCB板安裝在一個PP絕緣筒內(nèi)，避免了電阻之間或電阻對空氣因放電所造成的測量精度及線性度的誤差。本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點能量測量精度及線性度高，優(yōu)于0。1%;結(jié)構(gòu)簡單合理， 無放電現(xiàn)象；無油無其他絕緣填充物，重量輕。


圖1300KEV能量窗框頭測量原理圖2300KEV能量探頭PCB板3300KEV探頭裝配圖
具體實施例方式下面結(jié)合附圖2和3具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。圖2為300KEV能量探頭PCB板圖。圖2為300KEV探頭裝配圖，將40個高壓電阻均勻分布在PCB板1兩面，并焊好，焊點圓滑，并將均壓環(huán)焊2在PCB板上，同時將探頭測量線6、接地端7在PCB板1焊好，然后將焊好的PCB板1插入絕緣筒3的導(dǎo)槽中，并在低壓端用2個緊釘螺釘將PCB板1在絕緣筒3中固定。用四個金屬螺釘將金屬固定底座4擰到絕緣筒3上，用四個絕緣螺釘絕緣蓋5擰到絕緣筒3的高壓端，并用用電纜鎖頭將高壓測量線鎖緊。 以上所述已對本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說明。對本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構(gòu)成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應(yīng)的法律責任。
權(quán)利要求
1.離子注入機專用300KEV能量探頭，主要包括1、絕緣筒1，2、PCB板2，3、安裝底座3，4、 絕緣端蓋4。其特征在于·1.所說的離子注入機專用300KEV能量探頭所測量能量范圍為0 300KEV，對應(yīng)的輸出電壓為0 IOVDCo·2.所說的離子注入機專用300KEV能量探頭采用電阻分壓方式，其分壓比為 30000 1?！?.所說的離子注入機專用300KEV能量探頭測量精度及線性度均優(yōu)于0。1%。·4.所說的離子注入機專用300KEV能量探頭采用一PCB板安裝在PP絕緣筒內(nèi)?！?.所說的PCB板上的40個高壓電阻均勻分布在PCB板的兩面。
全文摘要
離子注入機專用300KEV能量探頭，包括1、絕緣筒1，2、PCB板2，3、安裝底座3，4、絕緣端蓋4，并對能量探頭工作原理進行了說明和給出裝配圖。并給出了具體的實施方案。
文檔編號C23C14/48GK102345108SQ20101024304
公開日2012年2月8日 申請日期2010年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2010年8月2日
發(fā)明者伍三忠, 唐景庭, 孫勇, 孫雪平 申請人:北京中科信電子裝備有限公司