專利名稱：內(nèi)連接pecvd腔體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能電池的生產(chǎn)設(shè)備，特別涉及一種內(nèi)連接PECVD腔體。
背景技術(shù)：
PECVD(等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)的不同腔體承擔(dān)了不同的功能用途。從功能區(qū)分上主要分為進(jìn)片室、工藝室(鍍膜室)和出片室。其中工藝室的主要功能為鍍膜， 可根據(jù)要求設(shè)計(jì)成各種不同的功能區(qū)域?，F(xiàn)有技術(shù)PECVD腔體間的連接方式為采用外連接方式連接，即在各腔體的端部安裝法蘭，兩個(gè)腔體連接時(shí)，在法蘭口外側(cè)使用螺絲固定，在法蘭之間使用密封圈密封。這種連接方式外形不美觀，要占用較大空間，并且設(shè)備的成本較尚ο

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的，就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問題，提供一種內(nèi)連接PECVD 腔體。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案一種內(nèi)連接PECVD腔體，包括順序相連的多個(gè)腔體，所述的順序相連的多個(gè)腔體之間采用內(nèi)連接方式連接，所述的內(nèi)連接方式是，在腔體的連接端設(shè)置一個(gè)向內(nèi)翻邊的內(nèi)連接環(huán)，兩個(gè)腔體的內(nèi)側(cè)通過兩個(gè)內(nèi)連接環(huán)用螺栓連接，兩個(gè)腔體的連接面之間用密封圈密封。本發(fā)明的內(nèi)連接PECVD腔體具有以下的優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)1、簡化了設(shè)計(jì)，無需額外的法蘭連接，使得腔體間的連接更為簡單，美觀。2、節(jié)約了成本，在簡化設(shè)計(jì)的同時(shí)也降低了設(shè)備的成本，與外連接相比，內(nèi)連接在材料的消耗與加工的難度方面有所下降，減少了成本方面的支出。


圖1是本發(fā)明內(nèi)連接PECVD腔體的連接方式結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式圖1為本發(fā)明的一個(gè)最佳實(shí)施例，本發(fā)明不限于本實(shí)施例。參見圖1，本發(fā)明的內(nèi)連接PECVD腔體，包括順序相連的多個(gè)腔體，多個(gè)腔體之間采用內(nèi)連接方式連接。內(nèi)連接方式如圖1所示，在腔體1和2的連接端設(shè)置一個(gè)向內(nèi)翻邊的內(nèi)連接環(huán)11、21，兩個(gè)腔體的內(nèi)側(cè)通過兩個(gè)內(nèi)連接環(huán)用螺栓3連接，兩個(gè)腔體的連接面之間用密封圈4密封。
權(quán)利要求
1. 一種內(nèi)連接PECVD腔體，包括順序相連的多個(gè)腔體，其特征在于所述的順序相連的多個(gè)腔體之間采用內(nèi)連接方式連接，所述的內(nèi)連接方式是，在腔體的連接端設(shè)置一個(gè)向內(nèi)翻邊的內(nèi)連接環(huán)，兩個(gè)腔體的內(nèi)側(cè)通過兩個(gè)內(nèi)連接環(huán)用螺栓連接，兩個(gè)腔體的連接面之間用密封圈密封。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種內(nèi)連接PECVD腔體，它包括順序相連的多個(gè)腔體，腔體之間采用內(nèi)連接方式連接。內(nèi)連接方式是，在腔體的連接端設(shè)置一個(gè)向內(nèi)翻邊的內(nèi)連接環(huán)，兩個(gè)腔體的內(nèi)側(cè)通過兩個(gè)內(nèi)連接環(huán)用螺栓連接，兩個(gè)腔體的連接面之間用密封圈密封。本發(fā)明的內(nèi)連接PECVD腔體簡化了設(shè)計(jì)，節(jié)約了成本。
文檔編號(hào)C23C16/44GK102418081SQ20101029400
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2010年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月27日
發(fā)明者唐健敏, 夏世偉 申請(qǐng)人:上海太陽能科技有限公司, 上海欣邦電氣有限公司