專利名稱：一種鍍膜機用鍍膜夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及薄膜制備設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種鍍膜機用鍍膜夾具。
技術(shù)背景傳統(tǒng)的鍍膜機中，所使用的夾具一般有兩種只具有公轉(zhuǎn)的夾具或者行星夾具。對 于只帶有公轉(zhuǎn)夾具的鍍膜機，所沉積的薄膜均勻性差，能滿足小面積零件的要求，但是在做 大面積零件時，不能滿足使用的要求，使用遮擋片技術(shù)，可以提高均勻性，但過程復(fù)雜，重復(fù) 性不好。帶有行星夾具的鍍膜機，可以有效地改善上述問題，但是對于回轉(zhuǎn)零件的表面鍍 膜，不能實現(xiàn)薄膜的均勻性，成膜的質(zhì)量不理想
實用新型內(nèi)容
本實用新型要提供一種鍍膜機用鍍膜夾具，以克服現(xiàn)有技術(shù)存在的不能實現(xiàn)薄膜 的均勻性和成膜的質(zhì)量不理想的問題。為了克服現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型提供的技術(shù)方案是一種鍍膜機用鍍 膜夾具，包括設(shè)置于公轉(zhuǎn)軸上的公轉(zhuǎn)盤、其特殊之處在于，還包括工轉(zhuǎn)盤上均布設(shè)置的多組 自轉(zhuǎn)組件，所述每個自轉(zhuǎn)組件均包括固定齒輪、自轉(zhuǎn)齒輪、支撐管、自轉(zhuǎn)軸、自轉(zhuǎn)盤齒、錐齒 輪、工件架和自轉(zhuǎn)盤，所述固定齒輪為圓形，其與公轉(zhuǎn)盤同軸設(shè)置且和自轉(zhuǎn)齒輪嚙合聯(lián)接； 自轉(zhuǎn)齒輪的下部通過穿設(shè)于公轉(zhuǎn)盤上的自轉(zhuǎn)軸與自轉(zhuǎn)盤固定聯(lián)接；自轉(zhuǎn)軸通過止推軸承和 支撐管轉(zhuǎn)動連接；支撐管固聯(lián)在公轉(zhuǎn)盤上，自轉(zhuǎn)盤齒和支撐管固聯(lián)，自轉(zhuǎn)軸下端和自轉(zhuǎn)盤固 聯(lián)；多個錐齒輪通過軸承均設(shè)于自轉(zhuǎn)盤的外周，并和自轉(zhuǎn)盤齒嚙合，錐齒輪和工件架固聯(lián)。上述自轉(zhuǎn)軸與支撐管之間設(shè)置有止推軸承。保證自轉(zhuǎn)軸在支撐管內(nèi)靈活地轉(zhuǎn)動并 且支撐自轉(zhuǎn)軸。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點是被加工的零件具有了公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和本身的 回轉(zhuǎn)三個方向的運動，可以滿足表面面型復(fù)雜的回轉(zhuǎn)零件的膜層的均勻性要求。用于沉積 任意面型回轉(zhuǎn)零件的表面鍍膜，可得到良好的均勻性，從而有效地提高成膜質(zhì)量。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的A-A剖視圖；圖3是自轉(zhuǎn)盤齒的剖面圖；圖4是自轉(zhuǎn)盤的結(jié)構(gòu)示意圖圖5是圖4的B向視圖；圖6是錐齒輪結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說明如下1-公轉(zhuǎn)盤，2-固定齒輪，3-自轉(zhuǎn)齒輪，4-支撐管，5-自轉(zhuǎn)軸，6-自轉(zhuǎn)盤齒，7_錐齒輪，8-工件架，9-自轉(zhuǎn)盤，10-止推軸承。
具體實施方式
下面將結(jié)合附圖對本實用新型進行詳細地描述。參見圖1 圖6，一種鍍膜機用鍍膜夾具，包括設(shè)置于公轉(zhuǎn)軸上的公轉(zhuǎn)盤1和工轉(zhuǎn)盤1上均布設(shè)置的多組自轉(zhuǎn)組件。所說的每個自轉(zhuǎn)組件均包括固定齒輪2、自轉(zhuǎn)齒輪3、支 撐管4、自轉(zhuǎn)軸5、自轉(zhuǎn)盤齒6錐齒輪7、工件架8、自轉(zhuǎn)盤9和止推軸承10，所述固定齒輪2 為圓形，其與公轉(zhuǎn)盤1同軸設(shè)置且和自轉(zhuǎn)齒輪3嚙合聯(lián)接；自轉(zhuǎn)齒輪3的下部通過穿設(shè)于公 轉(zhuǎn)盤1上的自轉(zhuǎn)軸5與自轉(zhuǎn)盤9固定聯(lián)接。所說的自轉(zhuǎn)軸5通過止推軸承10和套設(shè)于外 部的支撐管4轉(zhuǎn)動連接，保證自轉(zhuǎn)軸5在支撐管4內(nèi)靈活地轉(zhuǎn)動并且支撐自轉(zhuǎn)軸5 ；支撐管 4固聯(lián)在公轉(zhuǎn)盤1上，自轉(zhuǎn)盤齒6和支撐管4固聯(lián)，自轉(zhuǎn)軸5下端和自轉(zhuǎn)盤9固聯(lián)。多個錐 齒輪7通過軸承均設(shè)于自轉(zhuǎn)盤9的外周，并和自轉(zhuǎn)盤齒6嚙合，錐齒輪7和工件架8固聯(lián)。設(shè)備安裝時，固定齒輪2固定在真空墻體上。使用時，把需要鍍膜的工件置于工件 架上。在外力作用下，公轉(zhuǎn)盤1首先具有公轉(zhuǎn)運動，帶動自轉(zhuǎn)組件繞公轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動，由于固定 齒輪2不動，因此自轉(zhuǎn)齒輪3帶動自轉(zhuǎn)軸5自轉(zhuǎn)。因此自轉(zhuǎn)盤9具有自轉(zhuǎn)運動。支撐管4 固聯(lián)在公轉(zhuǎn)盤1上，而自轉(zhuǎn)盤齒6和支撐管4固聯(lián)，因此自轉(zhuǎn)盤齒6不具有自轉(zhuǎn)運動。設(shè)置 在自轉(zhuǎn)盤9上的錐齒輪7和自轉(zhuǎn)盤齒6具有相對運動，帶動工件架8具有了水平方向的自 轉(zhuǎn)運動。所以工件架8具有公轉(zhuǎn)、垂直方向的自轉(zhuǎn)和水平方向的自轉(zhuǎn)。這樣就可以實現(xiàn)公 轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和零件的回轉(zhuǎn)三種運動，在回轉(zhuǎn)零件表面上可沉積均勻的薄膜，提高成膜質(zhì)量。
權(quán)利要求一種鍍膜機用鍍膜夾具，包括設(shè)置于公轉(zhuǎn)軸上的公轉(zhuǎn)盤(1)、其特征在于還包括工轉(zhuǎn)盤(1)上均布設(shè)置的多組自轉(zhuǎn)組件，所述每個自轉(zhuǎn)組件均包括固定齒輪(2)、自轉(zhuǎn)齒輪(3)、支撐管(4)、自轉(zhuǎn)軸(5)、自轉(zhuǎn)盤齒(6)、錐齒輪(7)、工件架(8)和自轉(zhuǎn)盤(9)，所述固定齒輪(2)為圓形，其與公轉(zhuǎn)盤(1)同軸設(shè)置且和自轉(zhuǎn)齒輪(3)嚙合聯(lián)接；自轉(zhuǎn)齒輪(3)的下部通過穿設(shè)于公轉(zhuǎn)盤(1)上的自轉(zhuǎn)軸(5)與自轉(zhuǎn)盤(9)固定聯(lián)接；自轉(zhuǎn)軸(5)通過止推軸承(10)和支撐管(4)轉(zhuǎn)動連接；支撐管(4)固聯(lián)在公轉(zhuǎn)盤(1)上，自轉(zhuǎn)盤齒(6)和支撐管(4)固聯(lián)，自轉(zhuǎn)軸(5)下端和自轉(zhuǎn)盤(9)固聯(lián)；多個錐齒輪(7)通過軸承均設(shè)于自轉(zhuǎn)盤(9)的外周，并和自轉(zhuǎn)盤齒(6)嚙合，錐齒輪(7)和工件架(8)固聯(lián)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種鍍膜機用鍍膜夾具，其特征在于所述自轉(zhuǎn)軸(5)與支 撐管(4)之間設(shè)置有止推軸承(10)。
專利摘要本實用新型涉及一種鍍膜機用鍍膜夾具。傳統(tǒng)的鍍膜機中，所沉積的薄膜均勻性差，成膜的質(zhì)量不理想。本實用新型的一種鍍膜機用鍍膜夾具，包括設(shè)置于公轉(zhuǎn)軸上的公轉(zhuǎn)盤、公轉(zhuǎn)盤上均布設(shè)置的多組自轉(zhuǎn)組件，所述每個自轉(zhuǎn)組件均包括固定齒輪、自轉(zhuǎn)齒輪、支撐管、自轉(zhuǎn)軸、自轉(zhuǎn)盤齒、錐齒輪、工件架和自轉(zhuǎn)盤，固定齒輪與公轉(zhuǎn)盤和自轉(zhuǎn)齒輪嚙合聯(lián)接；自轉(zhuǎn)齒輪的下部通過自轉(zhuǎn)軸與自轉(zhuǎn)盤固定聯(lián)接；自轉(zhuǎn)軸支撐管轉(zhuǎn)動連接；支撐管固聯(lián)在公轉(zhuǎn)盤上，自轉(zhuǎn)盤齒和支撐管固聯(lián)，自轉(zhuǎn)軸下端和自轉(zhuǎn)盤固聯(lián)；多個錐齒輪設(shè)于自轉(zhuǎn)盤的外周，并和自轉(zhuǎn)盤齒嚙合。本實用新型具有了公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)和本身的回轉(zhuǎn)三個方向的運動，可以滿足表面面型復(fù)雜的回轉(zhuǎn)零件的膜層的均勻性要求。
文檔編號C23C16/00GK201587977SQ20102002050
公開日2010年9月22日 申請日期2010年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月20日
發(fā)明者彌謙, 梁海鋒, 蔡長龍 申請人:西安工業(yè)大學(xué)