專利名稱：鍍膜工藝室上的蓋板的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及到生產(chǎn)鍍膜玻璃用的鍍膜工藝室上的蓋板。
背景技術：
鍍膜工藝室是真空鍍膜玻璃生產(chǎn)線中的主工藝室。根據(jù)工藝要求，通常將鍍膜工 藝室分隔成若干個腔室，每個腔室上都設置有蓋板，根據(jù)蓋板上所安裝的不同功能部件來 區(qū)分各蓋板，大致可分為真空泵蓋板和陰極蓋板，陰極蓋板又包括單平面靶蓋板、雙平面 靶蓋板、旋轉靶蓋板、雙旋轉靶蓋板等。目前所使用的鍍膜工藝室上的蓋板的缺點是各蓋 板的結構只能與其上安裝的功能部件相配合，即真空泵蓋板上只有真空泵安裝孔，只能安 裝真空泵；陰極蓋板上只有靶材安裝孔，只能安裝相應的陰極靶材；相互之間不能互換安 裝，各蓋板之間缺乏互換性，帶來的問題是如果要對鍍膜工藝室進行升級的話，原有蓋板 無法與新的鍍膜工藝室進行配合，就需要重新對蓋板進行設計，既增加了生產(chǎn)成本，又造成 資源的浪費。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術問題是提供一種可根據(jù)生產(chǎn)需要來互換安裝真空泵 及多種靶材的鍍膜工藝室上的蓋板。為解決上述技術問題，本實用新型采用的技術方案為鍍膜工藝室上的蓋板，包括 板體，所述板體的中部設置有若干個與真空泵相配合的真空泵安裝孔，板體的兩端分別設 置有一個與靶材相配合的靶材安裝孔。所述板體的中部設置有三個與真空泵相配合的真空泵安裝孔，本實用新型的有益效果是在板體上設置真空泵安裝孔和靶材安裝孔后，當需要 將其作為真空泵蓋板或陰極靶材蓋板時，只需將真空泵或陰極靶材安裝對應安裝孔內(nèi)。即 將其作為真空泵蓋板時，只要將真空泵通過真空泵安裝板與真空泵安裝孔配合安裝，靶材 安裝孔用封板封住；當將其作為陰極蓋板時，只需將陰極靶材通過靶材安裝板與靶材安裝 孔配合安裝，真空泵安裝孔用封板封住即可。這就使得蓋板上即可安裝真空泵，又可以安裝 陰極靶材，增加了蓋板的互換性。

圖1是本實用新型鍍膜工藝室上的蓋板的俯視結構圖；圖2是鍍膜工藝室上的蓋板上安裝真空泵的俯視圖；圖3是鍍膜工藝室上的蓋板上安裝單平面靶材的俯視圖；圖4是鍍膜工藝室上的蓋板上安裝雙平面靶材的俯視圖；圖5是鍍膜工藝室上的蓋板上安裝旋轉靶材的俯視圖；圖6是鍍膜工藝室上的蓋板上安裝雙旋轉靶材的俯視圖。圖1至圖6中1、板體，2、真空泵安裝孔，3、靶材安裝孔，4、真空泵封板，5、真空泵，6、單平面靶材安裝板，7、靶材封板，8、雙平面靶安裝板，9、旋轉靶安裝板，10、雙旋轉靶安裝 板。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施方案，對本實用新型鍍膜工藝室上的蓋板作進一步的詳 細描述。如圖1所示，本實用新型所述的鍍膜工藝室上的蓋板，包括板體1，板體1的中部設 置有若干個與真空泵相配合的真空泵安裝孔2，真空泵安裝孔2的數(shù)量可根據(jù)生產(chǎn)需要設 定，板體1的兩端分別設置有一個與靶材相配合的靶材安裝孔3。本實用新型的工作原理為下面以設置三個真空泵安裝孔的鍍膜工藝室的蓋板為 例，詳細介紹其工作原理。如圖2所示，當將其作為真空泵蓋板時，只需要將真空泵5與真空 泵安裝孔2配合安裝，且靶材安裝孔3用靶材封板7封住，若安裝兩個真空泵，多出的一個 真空泵安裝孔用真空泵封板4封住，以此類推。如圖3所示，當將其作為單平面靶蓋板時， 只需將單平面靶通過單平面靶安裝板6與靶材安裝孔3配合安裝，真空泵安裝孔2用真空 泵封板4封住。如圖4所示，當將其作為雙平面靶蓋板時，只需將雙平面靶通過雙平面靶安 裝板8與靶材安裝孔3配合安裝，真空泵安裝孔2用真空泵封板4封住。如圖5所示，當將 其作為旋轉靶蓋板時，只需將旋轉靶通過旋轉靶安裝板9與靶材安裝孔3配合安裝，真空泵 安裝孔2用真空泵封板4封住。如圖6所示，當將其作為雙旋轉靶蓋板時，只需將雙旋轉靶 通過雙旋轉靶安裝板10與靶材安裝孔3配合安裝，真空泵安裝孔2用真空泵封板4封住。 如果生產(chǎn)工藝中要求將真空泵5和陰極靶材同時安裝在同一個蓋板上，本蓋板也可滿足上 述要求，只需將真空泵和陰極蓋板分別與真空泵安裝孔2和靶材安裝孔3配合安裝即可，其 他剩下的真空泵安裝孔用真空泵封板封住。這樣既可以將蓋板的生產(chǎn)規(guī)范化，使得蓋板可 互換使用，減少生產(chǎn)成本，而且可滿足鍍膜工藝室的升級需要，不會造成蓋板的浪費。
權利要求1.鍍膜工藝室上的蓋板，包括板體，其特征在于所述板體的中部設置有若干個與真 空泵相配合的真空孔，板體的兩端分別設置有一個與靶材相配合的靶材安裝孔。
2.根據(jù)權利要求1所述的鍍膜工藝室上的蓋板，其特征在于所述板體的中部設置有 三個與真空泵相配合的真空泵安裝孔。
專利摘要本實用新型公開了一種可根據(jù)生產(chǎn)需要來互換安裝真空泵及陰極靶材的鍍膜工藝室上的蓋板，包括板體，板體的中部設置有若干個與真空泵相配合的真空泵安裝孔，板體的兩端分別設置有一個與靶材相配合的靶材安裝孔。本實用新型用于生產(chǎn)真空鍍膜玻璃的鍍膜工藝室上。
文檔編號C23C14/22GK201778100SQ20102014304
公開日2011年3月30日 申請日期2010年6月9日 優(yōu)先權日2010年6月9日
發(fā)明者黃峰 申請人:黃峰