專利名稱：快換式硅片鍍膜單面掛鉤組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
快換式硅片鍍膜單面掛鉤組件
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及太陽能電池片PECVD鍍膜用的一種硅片承載器，尤其涉及硅片承 載器上的掛鉤。
背景技術(shù)：
PECVD是太陽能電池片等離子體化學(xué)沉積鍍膜工藝的簡稱，在太陽能電池的生產(chǎn) 過程中，對硅片鍍膜是提高太陽能電池吸收效率的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)硅片的光電轉(zhuǎn)換發(fā)電原 理，光線照射到硅片上會產(chǎn)生反射，硅片的光學(xué)損失會使太陽能電池的輸出低于理想值，硅 片鍍膜技術(shù)是提高太陽能電池吸收效率的成熟技術(shù)，已在太陽能電池工業(yè)化生產(chǎn)中得到廣 泛應(yīng)用，通過PECVD能在硅片表面形成一層減反射膜。在PECVD鍍膜過程中必須使用硅片承載器，現(xiàn)用的硅片承載器如圖1所示，它由單 面掛鉤1、雙面掛鉤2和承載框架3組成，承載框架3由縱向桿31和橫向桿32拼合而成，單 面掛鉤1安裝在左右兩側(cè)的縱向桿31上，雙面掛鉤2則安裝在其它縱向桿31上。將待鍍 膜硅片4逐塊平放在硅片承載器上，靠掛鉤將硅片4水平托起，對硅片4向下的擴散面進行 鍍膜?，F(xiàn)有單面掛鉤如圖2所示，它為片狀結(jié)構(gòu)，由托鉤11、鉤身12、定位槽13、扎帶14組 成，托鉤11位于鉤身12底部的一側(cè)，定位槽13位于鉤身12的上方，且處于兩根扎帶14之 間，單面掛鉤1通過定位槽13安裝在硅片承載器的縱向桿31上，其安裝固定方式為將定 位槽13卡裝在縱向桿31上，然后用鉗子將兩根扎帶14鉸接起來，從而使單面掛鉤1固定 在縱向桿31上，在鉸接緊固掛鉤時，兩根扎帶14必然會對縱向桿31產(chǎn)生收緊力和磨擦力， 由于硅片承載框架由碳素復(fù)合纖維材料制成，在掛鉤的安裝收緊和拆除過程中，扎帶14對 縱向桿31會產(chǎn)生較大的損傷，這必然加速硅片承載器的損壞，縮短其使用壽命。目前，硅片 承載器一般的使用壽命為二個月，生產(chǎn)消耗較大，由于硅片承載器的價格較高，所以硅片承 載器消耗成本在鍍膜成本中的比例較高。在鍍膜的過程中，待鍍膜硅片是平放在硅片承載器上，并由四個托鉤水平托起，掛 鉤固定的松緊程度直接影響托鉤頂部與縱向桿底面之間的距離，從而改變硅片與硅片承載 器之間的間隙，增大了硅片背面沉積氮化硅層的機率，硅片背面存有氮化硅層對后道工序 鋁背場的印刷燒結(jié)將產(chǎn)生不良影響。同時，在鍍膜過程中，在硅片承載器和掛鉤表面都會沉 積氮化硅，根據(jù)鍍膜工藝要求，在鍍膜結(jié)束后必須將硅片承載器上的掛鉤拆除，然后用低濃 度的HF溶液(5% )浸泡以清除附著其上的氮化硅，否則掛鉤就會在浸泡過程中被HF溶液 腐蝕掉，這樣不僅要消耗HF溶液，而且還需要清除尚末腐蝕的掛鉤部份，同時也增大了后 道對HF溶液環(huán)保處理的成本與難度。

實用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有單面掛鉤的不足，本實用新型的目的是提供了一種快換式硅片鍍膜 單面掛鉤組件，采用這種單面掛鉤組件，不僅便于快速安裝和拆除，而且安裝和拆除對硅片 承載框架都不會產(chǎn)生損傷，還能大幅度降低在硅片背面沉積氮化硅層的機率。[0006]本實用新型所述快換式硅片鍍膜單面掛鉤組件，其特征是，它包括單面掛鉤和墊 板，所述單面掛鉤由托鉤、鉤身、定位槽、扎帶、壓迫凸臺和折彎槽組成，托鉤設(shè)置在鉤身底 部的一側(cè)，定位槽位于鉤身的上方，且處于兩根扎帶之間，壓迫凸臺設(shè)置在扎帶的頂端，在 兩扎帶的外側(cè)等高度地設(shè)有折彎槽，折彎槽的開設(shè)位置要求是當(dāng)壓迫凸臺沿折彎槽向內(nèi) 側(cè)邊折彎90°后，內(nèi)側(cè)邊到定位槽底邊的距離等于兩個墊板厚度與縱向桿厚度之和；所述 墊板呈“工”字形，在墊板的兩側(cè)設(shè)有扎帶槽，扎帶槽的寬度與扎帶的厚度相當(dāng)，兩扎帶槽的 槽底之間的距離與兩扎帶的內(nèi)側(cè)邊之間的距離相當(dāng)，托鉤的頂尖與縱向桿底邊的距離小于 或等于硅片的厚度。由于改變了單面掛鉤的結(jié)構(gòu)，并增設(shè)了二塊墊板，單面掛鉤在安裝時，縱向桿的頂 面和底面均通過墊板與單面掛鉤接觸，單面掛鉤的兩扎帶在收緊和拆除過程中都直接作用 在墊板上，因此，不會對縱向桿產(chǎn)生損傷，從而能大幅度提高硅片承載器的使用壽命。由于 在兩扎帶的外側(cè)等高度地開設(shè)了折彎槽，在扎帶的頂部設(shè)置了壓迫凸臺，單面掛鉤的安裝 只要用鉗子將兩根扎帶上端的壓迫凸臺沿折彎槽向內(nèi)側(cè)邊折彎90°即可，當(dāng)要拆除時，只 要將壓迫凸臺復(fù)原即可。由于單面掛鉤和雙面掛鉤結(jié)構(gòu)相同，這樣就能使所有掛鉤的頂尖 與縱向桿底面的距離等值，在鍍膜過程中，由于硅片的上端面不低于縱向桿的底面，這樣就 能大幅度降低在硅片背面沉積氮化硅層的機率，采用這種單面掛鉤組件，不僅便于快速安 裝和拆除，而且安裝和拆除對硅片承載框架都不會產(chǎn)生損傷，還能大幅度降低在硅片背面 沉積氮化硅層的機率，能更好地滿足鍍膜工藝要求。

圖1為硅片承載器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有單面掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實用新型安裝在硅片承載器上的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實用新型中單面掛鉤的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實用新型中墊板的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，1-單面掛鉤；11-托鉤；12-鉤身；13-定位槽；14-扎帶；15-壓迫凸臺； 16-折彎槽；17-內(nèi)側(cè)邊；18-底邊；2-雙面掛鉤；3-承載框架；31-縱向桿；32-橫向桿； 4-硅片；5-墊板；51-扎帶槽；52-槽底。
具體實施方式下面結(jié)合說明書附圖介紹本實用新型的具體實施方式
。本實用新型所述快換式硅片鍍膜單面掛鉤組件，如圖3所示，它包括單面掛鉤1和 墊板5，所述單面掛鉤1如圖4所示，它由托鉤11、鉤身12、定位槽13、扎帶14、壓迫凸臺15 和折彎槽16組成，托鉤11設(shè)置在鉤身12底部的一側(cè)，定位槽13位于鉤身12的上方，且處 于兩根扎帶14之間，壓迫凸臺15設(shè)置在兩扎帶14的頂端，在兩扎帶14的外側(cè)等高度地設(shè) 有折彎槽16，折彎槽16的開設(shè)位置要求是當(dāng)壓迫凸臺15沿折彎槽16向內(nèi)側(cè)邊17折彎 90°后，內(nèi)側(cè)邊17到定位槽13底邊18的距離等于兩個墊板5的厚度與縱向桿31的厚度 之和；所述墊板5呈“工”字形，如圖5所示，在墊板5兩側(cè)設(shè)有扎帶槽51，扎帶槽51的寬度 與扎帶14的厚度相當(dāng)，兩扎帶槽51槽底52之間的距離與兩扎帶14內(nèi)側(cè)邊17之間的距離 相當(dāng)，托鉤11的頂尖與縱向桿31底邊的距離小于或等于硅片4的厚度。
4[0015] 本實用新型的安裝方法如下在兩扎帶14間先放入一塊墊板5，然后將單面掛鉤 的定位槽13套裝在硅片承載器的左縱向桿31或右縱向桿31上，再加一塊墊板5，然后用鉗 子將兩根扎帶14上端的壓迫凸臺15沿折彎槽16向內(nèi)側(cè)邊17折彎90°，使得壓迫凸臺15 的內(nèi)側(cè)邊17壓住墊板5的上端面，如圖3所示，這樣整個掛鉤就能穩(wěn)固地固定在縱向桿31 上，由于雙面掛鉤2與單面掛鉤1結(jié)構(gòu)相同，僅多了一只托鉤，且安裝方式與單面掛鉤1完 全相同，這樣所有掛鉤的托鉤11的頂尖與縱向桿31底面的距離都能相等，將待鍍膜硅片4 平放在托鉤11上，即可按PECVD鍍膜工藝進行鍍膜處理。
權(quán)利要求一種快換式硅片鍍膜單面掛鉤組件，其特征是，它包括單面掛鉤(1)和墊板(5)，所述單面掛鉤(1)由托鉤(11)、鉤身(12)、定位槽(13)、扎帶(14)、壓迫凸臺(15)和折彎槽(16)組成，托鉤(11)設(shè)置在鉤身(12)底部的一側(cè)，定位槽(13)位于鉤身(12)的上方，且處于兩根扎帶(14)之間，壓迫凸臺(15)設(shè)置在扎帶(14)的頂端，在兩扎帶(14)的外側(cè)等高度地設(shè)有折彎槽(16)，折彎槽(16)的開設(shè)位置要求是當(dāng)壓迫凸臺(15)沿折彎槽(16)向內(nèi)側(cè)邊(17)折彎90°后，內(nèi)側(cè)邊(17)到定位槽(13)底邊(18)的距離等于兩個墊板(5)厚度與縱向桿(31)厚度之和；所述墊板(5)呈“工”字形，在墊板(5)兩側(cè)設(shè)有扎帶槽(51)，扎帶槽(51)的寬度與扎帶(14)的厚度相當(dāng)，兩扎帶槽(51)槽底(52)之間的距離與兩扎帶(14)內(nèi)側(cè)邊(17)之間的距離相當(dāng)，托鉤(11)的頂尖與縱向桿(31)底邊的距離小于或等于硅片(4)的厚度。
專利摘要本實用新型公開了一種快換式硅片鍍膜單面掛鉤組件，它包括單面掛鉤和墊板，在兩扎帶頂端設(shè)有壓迫凸臺，在其外側(cè)等高度地設(shè)有折彎槽，折彎槽的開設(shè)位置要求為當(dāng)壓迫凸臺向內(nèi)側(cè)邊折彎90°后，內(nèi)側(cè)邊到定位槽底邊的距離等于兩個墊板厚度與縱向桿厚度之和；所述墊板呈“工”字形，在其兩側(cè)開有扎帶槽，單面掛鉤和墊板配套使用，單面掛鉤通過二塊墊板固定在縱向桿上，兩扎帶在收緊、拆除過程中都不會直接作用于縱向桿，折彎槽和壓迫凸臺的設(shè)置，既能便于單面掛鉤的快速收緊與拆除，又不會對硅片承載框架產(chǎn)生損傷，還能降低硅片背面沉積氮化硅層的幾率。
文檔編號C23C16/458GK201665708SQ20102014888
公開日2010年12月8日 申請日期2010年3月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月29日
發(fā)明者馮鑫, 劉志剛, 屈瑩 申請人:常州億晶光電科技有限公司