專(zhuān)利名稱(chēng)：觀(guān)察窗擋板組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及用于提供真空環(huán)境的真空腔體領(lǐng)域，特別涉及一種通過(guò)旋轉(zhuǎn)能對(duì) 真空腔體的觀(guān)察窗進(jìn)行遮擋或敞開(kāi)的觀(guān)察窗擋板組件。
背景技術(shù)：
由于器件結(jié)構(gòu)和簡(jiǎn)單的制造工藝簡(jiǎn)單以及圖像質(zhì)量好，有機(jī)發(fā)光顯示器已被視為 繼當(dāng)前占統(tǒng)治地位的液晶顯示器或等離子顯示器之后的新一代平板顯示器。制造小分子有 機(jī)發(fā)光顯示器的生產(chǎn)系統(tǒng)大體上由蒸發(fā)系統(tǒng)和封裝系統(tǒng)等組成，特別是多層膜的熱蒸發(fā)系 統(tǒng)是重要的和關(guān)鍵的部分。該熱蒸發(fā)系統(tǒng)包括一真空腔體，熱蒸發(fā)過(guò)程是在該真空腔體內(nèi) 完成的。而該真空腔體上通常設(shè)置有觀(guān)察窗玻璃體，以便及時(shí)觀(guān)測(cè)到真空腔體內(nèi)設(shè)備運(yùn)行 的情況、產(chǎn)品生產(chǎn)狀況等，以及在真空腔體內(nèi)的出現(xiàn)較小的或者不確定故障時(shí)，能夠在保證 不關(guān)閉整條設(shè)備由觀(guān)察窗檢測(cè)腔體內(nèi)部是否工作正常。然而，在觀(guān)察窗為觀(guān)測(cè)腔體內(nèi)部設(shè)備運(yùn)行提供便利的同時(shí)，觀(guān)察窗也容易被蒸鍍 的材料所涂覆影響觀(guān)察效果，腔體內(nèi)部設(shè)備向外發(fā)射出的強(qiáng)光或帶輻射光線(xiàn)可能會(huì)對(duì)人的 安全或健康構(gòu)成威脅。這種時(shí)候或者存在其他原因，就需要對(duì)觀(guān)察窗等開(kāi)口處進(jìn)行適當(dāng)?shù)?遮擋屏蔽。因此，急需一種觀(guān)察窗擋板裝置，使得當(dāng)不需要觀(guān)察時(shí)把玻璃塊與真空腔體隔絕， 從而保持玻璃塊觀(guān)察時(shí)的清晰度以及防止真空腔體內(nèi)有害光線(xiàn)射出而影響工作人員的安 全健康。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種觀(guān)察窗擋板組件，用于遮擋真空腔體的觀(guān)察窗，使 得當(dāng)不需要觀(guān)察時(shí)把觀(guān)察窗與真空腔體隔絕，從而保持觀(guān)察窗的清晰度以及防止真空腔體 內(nèi)有害光線(xiàn)射出而影響工作人員的安全健康。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種觀(guān)察窗擋板組件，用于遮擋提供真空環(huán)境 的真空腔體的觀(guān)察窗，所述觀(guān)察窗擋板組件包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)把手、固定座、襯環(huán)、磁 流體、第一軸承以及第二軸承，所述真空腔體開(kāi)設(shè)有輸入孔，所述固定座貫穿開(kāi)設(shè)有傳動(dòng) 孔，所述固定座安裝于所述真空腔體的外壁上且所述傳動(dòng)孔正對(duì)所述輸入孔，所述旋轉(zhuǎn)軸 的前端樞接地依次穿過(guò)所述傳動(dòng)孔及輸入孔進(jìn)入真空腔體內(nèi)與所述擋板固定連接，所述固 定座沿所述傳動(dòng)孔的徑向開(kāi)設(shè)有密封安裝槽，所述襯環(huán)、第一軸承、磁流體、第二軸承依次 套于所述旋轉(zhuǎn)軸上且密封地收容于所述密封安裝槽內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)把手固定于所述旋轉(zhuǎn)軸的 后端，轉(zhuǎn)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)把手使所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述擋板對(duì)所述觀(guān)察 窗的遮擋或敞開(kāi)。所述擋板包括連接部以及用于遮擋觀(guān)察窗的擋板主體，所述連接部與所述擋板主 體固接，所述連接部固套于所述旋轉(zhuǎn)軸上，所述擋板主體的表面涂覆有不透光或防輻射材 料的膜層。該膜層有效防止從觀(guān)察窗發(fā)射出強(qiáng)光或者輻射光線(xiàn)對(duì)人的安全健康構(gòu)成威脅。[0008]所述旋轉(zhuǎn)把手包括手持部以及刻度部，所述手持部上設(shè)有滾紋，所述刻度部上設(shè) 有記錄旋轉(zhuǎn)角度的刻度標(biāo)記。該滾紋便于旋轉(zhuǎn)時(shí)增大摩擦力；該刻度標(biāo)記便于旋轉(zhuǎn)角度記 數(shù)。所述襯環(huán)與所述旋轉(zhuǎn)軸之間還設(shè)有密封圈；所述第二軸承與所述密封安裝槽的內(nèi) 壁之間還設(shè)有擋圈，所述密封圈、所述擋圈均套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上。該密封圈有利于加強(qiáng)動(dòng) 密封。所述旋轉(zhuǎn)把手與所述旋轉(zhuǎn)軸平鍵連接；所述擋板與所述旋轉(zhuǎn)軸螺釘連接。所述旋轉(zhuǎn)軸包括第一轉(zhuǎn)軸以及第二轉(zhuǎn)軸，所述第一轉(zhuǎn)軸以及第二轉(zhuǎn)軸之間形成一 臺(tái)階，所述襯環(huán)、第一軸承、磁流體、第二軸承依次套于所述第二轉(zhuǎn)軸上且密封地收容于所 述密封安裝槽內(nèi)，第一軸承、磁流體以及第二軸承依次互相抵觸地套設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)軸對(duì) 應(yīng)所述密封安裝槽處，并且所述第一軸承與所述臺(tái)階相抵接，所述襯環(huán)套設(shè)于所述第一轉(zhuǎn) 軸上。所述觀(guān)察窗擋板組件還包括定位螺釘，所述定位螺釘固定連接于所述旋轉(zhuǎn)軸的后 端對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)把手的后方，所述定位螺釘包括螺帽，所述螺帽的直徑大于所述旋轉(zhuǎn)軸的 直徑。該定位螺釘對(duì)旋轉(zhuǎn)把手進(jìn)行軸向定位，防止旋轉(zhuǎn)把手松動(dòng)脫落。所述固定座與真空腔體固接的一端設(shè)有法蘭，所述固定座通過(guò)所述法蘭與所述真 空腔體螺釘連接。所述觀(guān)察窗擋板組件還包括導(dǎo)管以及第二法蘭，所述導(dǎo)管嵌套于所述輸入孔內(nèi)， 所述第二法蘭的一端套設(shè)于所述導(dǎo)管的后端，另一端與所述法蘭固接，所述導(dǎo)管的半徑大 于所述第二轉(zhuǎn)軸的半徑，所述法蘭與第二法蘭之間還設(shè)有金屬密封圈。所述觀(guān)察窗擋板組件還包括絕熱的第三法蘭，所述第三法蘭的一端與所述真空腔 體固接，另一端與所述法蘭固接，所述第三法蘭與所述真空腔體之間還設(shè)有密封圈。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件具有擋板，不需要觀(guān)察時(shí)，旋轉(zhuǎn)擋板 擋住觀(guān)察窗，防止觀(guān)察窗被真空腔體內(nèi)的污染源污染而影響觀(guān)察效果并且防止真空腔體內(nèi) 有害光線(xiàn)射出而影響工作人員的安全健康。通過(guò)以下的描述并結(jié)合附圖，本實(shí)用新型將變得更加清晰，這些附圖用于解釋本 實(shí)用新型的實(shí)施例。

圖1為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件第一實(shí)施例的局部剖視圖。圖2為圖1沿A方向觀(guān)察的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖1沿另一角度觀(guān)察的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件的局部剖視示意圖。圖5為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件的旋轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)圖。圖6為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件第二實(shí)施例的局部剖視圖。圖7為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件第三實(shí)施例的局部剖視圖。
具體實(shí)施方式
圖1為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件第一實(shí)施例的剖視示意圖。結(jié)合圖1至圖3，本
4實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件100連接于真空腔體200上，用于遮擋真空腔體200上的觀(guān)察窗 210。參考圖4，所述觀(guān)察窗擋板組件100包括擋板110、旋轉(zhuǎn)軸120、旋轉(zhuǎn)把手130、固定 座140、襯環(huán)150、磁流體160、第一軸承170以及第二軸承180。參考圖5，所述旋轉(zhuǎn)軸120包括第一轉(zhuǎn)軸121以及第二轉(zhuǎn)軸122。本實(shí)施例中，第 一轉(zhuǎn)軸121的直徑大于第二轉(zhuǎn)軸122的直徑。所述第一轉(zhuǎn)軸121以及第二轉(zhuǎn)軸122之間形 成一臺(tái)階123。所述第一轉(zhuǎn)軸121上設(shè)有平鍵124。所述旋轉(zhuǎn)把手130套設(shè)于旋轉(zhuǎn)軸120對(duì)應(yīng)第一轉(zhuǎn)軸121的一端，并通過(guò)平鍵124 連接固定于所述第一轉(zhuǎn)軸121上。具體地，所述旋轉(zhuǎn)把手130包括手持部131以及刻度部 132。所述手持部131上設(shè)有滾紋，便于旋轉(zhuǎn)時(shí)增大摩擦力；所述刻度部132上設(shè)有記錄旋 轉(zhuǎn)角度的刻度標(biāo)記，便于旋轉(zhuǎn)角度記數(shù)。所述擋板110套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸120對(duì)應(yīng)第二轉(zhuǎn)軸122的一端，并通過(guò)螺釘與第 二轉(zhuǎn)軸122固接。具體地，所述擋板110包括連接部111以及用于遮擋觀(guān)察窗的擋板主體 112。所述連接部111與所述擋板主體112 —體連接。所述連接部111螺釘固套于所述旋 轉(zhuǎn)軸120的第二轉(zhuǎn)軸122上；所述擋板主體112的表面涂覆有不透光或防輻射材料的膜層， 本實(shí)施例中，擋板主體112為扇形，且其正對(duì)觀(guān)察窗210的一面涂覆不透光或防輻射材料的 膜層。所述固定座140貫穿開(kāi)設(shè)有傳動(dòng)孔141，所述固定座通過(guò)所述傳動(dòng)孔141套設(shè)于所 述旋轉(zhuǎn)軸120上對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)把手130與所述擋板110之間。所述固定座140正對(duì)所述旋 轉(zhuǎn)把手130的一端設(shè)有密封安裝槽142。第一軸承170、磁流體160以及第二軸承180依次 互相抵觸地套設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)軸122上且密封地收容于所述密封安裝槽142內(nèi)。所述第二 軸承180緊靠所述密封安裝槽142正對(duì)其開(kāi)口的內(nèi)壁。磁流體160與第二轉(zhuǎn)軸122之間構(gòu) 成封閉磁回路，組成封閉的傳動(dòng)裝置。所述第一軸承170與所述臺(tái)階123相抵接，所述襯環(huán) 150套設(shè)于所述第一轉(zhuǎn)軸121上并且與第一軸承170相抵接。所述固定座140另一端設(shè)有 法蘭143。較佳地，所述第二軸承180與所述密封安裝槽142正對(duì)其開(kāi)口的內(nèi)壁之間夾持一 擋圈40。所述襯環(huán)150與所述旋轉(zhuǎn)軸120之間還設(shè)有密封圈41，所述密封圈41有利于加 強(qiáng)動(dòng)密封；所述密封圈41、所述擋圈40均套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸120上。較佳地，所述觀(guān)察窗擋板組件100還包括定位螺釘190。所述定位螺釘190固定 旋合于所述旋轉(zhuǎn)軸120的后端對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)把手130的后方。所述定位螺釘190包括螺帽 191，所述螺帽191的直徑大于所述第一轉(zhuǎn)軸121的直徑。該定位螺釘190對(duì)旋轉(zhuǎn)把手130 進(jìn)行軸向定位，防止旋轉(zhuǎn)把手130松動(dòng)脫落。所述真空腔體200具有一輸入孔220，所述輸入孔220正對(duì)所述傳動(dòng)孔141所述旋 轉(zhuǎn)軸120固套所述擋板110的一端(前端)從所述輸入孔220伸進(jìn)所述真空腔體200內(nèi)與 擋板110的連接部111固接，所述擋板主體112正對(duì)所述觀(guān)察窗210。所述固定座140通過(guò) 所述法蘭143與所述真空腔體200螺釘固接。所述法蘭143與所述真空腔體20之間設(shè)有 密封圈42。裝配時(shí)，先把旋轉(zhuǎn)把手130固套于第一轉(zhuǎn)軸121的后端，旋合上定位螺釘190 ；把 密封圈41按入襯環(huán)150的內(nèi)圈內(nèi)后一起套設(shè)于第一轉(zhuǎn)軸121上，然后把第一軸承170、磁流體160、第二軸承180以及擋圈40依次互相接觸的套到第二軸承38上，此時(shí)，襯環(huán)150與第 一軸承170互相抵頂；接著套上塞有密封圈42的固定座140 ；再把第二轉(zhuǎn)軸180伸進(jìn)真空 腔體200內(nèi)，通過(guò)螺釘把固定座140固定于真空腔體200上，最后裝上擋板110。擋板110 隨旋轉(zhuǎn)軸120轉(zhuǎn)動(dòng)而轉(zhuǎn)動(dòng)，擋板110可擋住觀(guān)察窗210。當(dāng)需要觀(guān)察真空腔體200內(nèi)部情況 時(shí)，扭動(dòng)旋轉(zhuǎn)把手130使擋板110挪開(kāi)；當(dāng)觀(guān)察完畢后，扭動(dòng)旋轉(zhuǎn)把手130使擋板110閉合 即可。圖6為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件第二實(shí)施例的局部剖視示意圖。如圖6所示， 與第一實(shí)施例不同的是，觀(guān)察窗擋板組件還包括導(dǎo)管105以及第二法蘭106。所述導(dǎo)管105 嵌套于真空腔體200的輸入孔220處；所述第二法蘭106的一端套設(shè)于所述導(dǎo)管105的后 端，另一端與所述法蘭143螺釘固接。法蘭143與第二法蘭106之間還設(shè)有金屬墊圈43，所 述金屬墊圈43有利于增強(qiáng)磁流體密封裝置部分的耐高溫性能，提高密封效果和延長(zhǎng)使用 壽命。所述導(dǎo)管105的直徑大于所述第二轉(zhuǎn)軸122的直徑，導(dǎo)管105宜選擇散熱且強(qiáng)度好 的材質(zhì)，導(dǎo)管105露出真空腔體200外的部分用于散熱，減少真空腔體200內(nèi)熱量對(duì)的觀(guān)察 窗擋板組件100的影響。圖7為本實(shí)用新型觀(guān)察窗擋板組件第三實(shí)施例的剖視示意圖。如圖7所示，與第 一實(shí)施例不同的是，該觀(guān)察窗擋板組件還包括絕熱的第三法蘭107。所述第三法蘭107的一 端與所述真空腔體200固接，另一端與所述法蘭143固接。所述第三法蘭107與所述真空 腔體200之間還設(shè)有密封圈44。所述第三法蘭107有效防止真空腔體200內(nèi)的熱量傳遞到 觀(guān)察窗擋板組件100上，減少高溫對(duì)觀(guān)察窗擋板組件100的影響從而提高其使用壽命。以上結(jié)合最佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了描述，但本實(shí)用新型并不局限于以上揭 示的實(shí)施例，而應(yīng)當(dāng)涵蓋各種根據(jù)本實(shí)施例的本質(zhì)進(jìn)行的修改、等效組合。
權(quán)利要求一種觀(guān)察窗擋板組件，用于遮擋提供真空環(huán)境的真空腔體的觀(guān)察窗，其特征在于包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)把手、固定座、襯環(huán)、磁流體、第一軸承以及第二軸承，所述真空腔體開(kāi)設(shè)有輸入孔，所述固定座貫穿開(kāi)設(shè)有傳動(dòng)孔，所述固定座安裝于所述真空腔體的外壁上且所述傳動(dòng)孔正對(duì)所述輸入孔，所述旋轉(zhuǎn)軸的前端樞接地依次穿過(guò)所述傳動(dòng)孔及輸入孔進(jìn)入真空腔體內(nèi)與所述擋板固定連接，所述固定座沿所述傳動(dòng)孔的徑向開(kāi)設(shè)有密封安裝槽，所述襯環(huán)、第一軸承、磁流體、第二軸承依次套于所述旋轉(zhuǎn)軸上且密封地收容于所述密封安裝槽內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)把手固定于所述旋轉(zhuǎn)軸的后端，轉(zhuǎn)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)把手使所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述擋板對(duì)所述觀(guān)察窗的遮擋或敞開(kāi)。
2.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于所述擋板包括連接部以及用于 遮擋觀(guān)察窗的擋板主體，所述連接部與所述擋板主體固接，所述連接部固套于所述旋轉(zhuǎn)軸 上，所述擋板主體的表面涂覆有不透光或防輻射材料的膜層。
3.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)把手包括手持部以及 刻度部，所述手持部上設(shè)有滾紋，所述刻度部上設(shè)有記錄旋轉(zhuǎn)角度的刻度標(biāo)記。
4.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于所述襯環(huán)與所述旋轉(zhuǎn)軸之間還 設(shè)有密封圈；所述第二軸承與所述密封安裝槽的內(nèi)壁之間還設(shè)有擋圈，所述密封圈、所述擋 圈均套設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)軸上。
5.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)把手與所述旋轉(zhuǎn)軸平 鍵連接；所述擋板與所述旋轉(zhuǎn)軸螺釘連接。
6.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于所述旋轉(zhuǎn)軸包括第一轉(zhuǎn)軸以及 第二轉(zhuǎn)軸，所述第一轉(zhuǎn)軸以及第二轉(zhuǎn)軸之間形成一臺(tái)階，第一軸承、磁流體以及第二軸承依 次互相抵觸地套設(shè)于所述第二轉(zhuǎn)軸對(duì)應(yīng)所述密封安裝槽處，并且所述第一軸承與所述臺(tái)階 相抵接，所述襯環(huán)套設(shè)于所述第一轉(zhuǎn)軸上。
7.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于還包括定位螺釘，所述定位螺釘 固定連接于所述旋轉(zhuǎn)軸的后端對(duì)應(yīng)所述旋轉(zhuǎn)把手的后方，所述定位螺釘包括螺帽，所述螺 帽的直徑大于所述旋轉(zhuǎn)軸的直徑。
8.如權(quán)利要求1所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于所述固定座與真空腔體固接的 一端設(shè)有法蘭，所述固定座通過(guò)所述法蘭與所述真空腔體螺釘連接。
9.如權(quán)利要求8所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于還包括導(dǎo)管以及第二法蘭，所述 導(dǎo)管嵌套于所述輸入孔內(nèi)，所述第二法蘭的一端套設(shè)于所述導(dǎo)管的后端，另一端與所述法 蘭固接，所述導(dǎo)管的半徑大于所述第二轉(zhuǎn)軸的半徑，所述法蘭與第二法蘭之間還設(shè)有金屬 密封圈。
10.如權(quán)利要求8所述的觀(guān)察窗擋板組件，其特征在于還包括絕熱的第三法蘭，所述 第三法蘭的一端與所述真空腔體固接，另一端與所述法蘭固接，所述第三法蘭與所述真空 腔體之間還設(shè)有密封圈。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種觀(guān)察窗擋板組件，包括擋板、旋轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)把手、固定座、襯環(huán)、磁流體、第一軸承以及第二軸承，真空腔體開(kāi)設(shè)有輸入孔，所述固定座貫穿開(kāi)設(shè)有傳動(dòng)孔，固定座安裝于所述真空腔體的外壁上且傳動(dòng)孔正對(duì)所述輸入孔，旋轉(zhuǎn)軸的前端樞接地依次穿過(guò)所述傳動(dòng)孔及輸入孔進(jìn)入真空腔體內(nèi)與擋板固定連接，所述固定座沿傳動(dòng)孔的徑向開(kāi)設(shè)有密封安裝槽，所述襯環(huán)、第一軸承、磁流體、第二軸承依次套于旋轉(zhuǎn)軸上且密封地收容于所述密封安裝槽內(nèi)，旋轉(zhuǎn)把手固定于所述旋轉(zhuǎn)軸的后端，轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)把手使所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)所述擋板對(duì)觀(guān)察窗的遮擋或敞開(kāi)。該觀(guān)察窗擋板組件具有擋板，旋轉(zhuǎn)擋板可擋住真空腔體的觀(guān)察窗。
文檔編號(hào)C23C14/52GK201678726SQ20102018873
公開(kāi)日2010年12月22日 申請(qǐng)日期2010年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月6日
發(fā)明者劉惠森, 楊明生, 王偉, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠(yuǎn)倫 申請(qǐng)人:東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司