專利名稱：用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片的制作機(jī)構(gòu)，尤其是涉及一種用于制作硅片的花籃機(jī) 構(gòu)。
背景技術(shù)：
利用低濃度堿溶液對(duì)晶體硅在不同晶體取向上具有不同腐蝕速率的各向異性腐 蝕特性，在硅片表面腐蝕形成角錐體密布的表面形貌。當(dāng)光入射到一定角度的斜面，光會(huì) 反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，從而增加吸收率。中國(guó)專利公開了一種12 英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃(授權(quán)公告號(hào)CN 201309966Y)，其包括以下幾部分正四 邊形的花籃主體；位于花籃主體上方、并與花藍(lán)主體相接的支架，支架上裝有用來防止腐蝕 過程中硅片飄出花籃的阻擋桿；正四邊形的其中兩個(gè)對(duì)邊，分別由四根立方形條為支架，兩 頭和中間分別用方塊連結(jié)而成；另外的兩個(gè)對(duì)邊，分別由兩根立方形條和以一個(gè)方塊連結(jié) 而成；正四邊形花籃主體的四個(gè)邊中部各設(shè)一個(gè)支撐在硅片下方的支撐片；支撐片中的兩 個(gè)片位于里面下方的那根立方形條的中點(diǎn)，支撐片的另外兩個(gè)片位于下邊的那根立方形條 的中點(diǎn)，四個(gè)支撐片的長(zhǎng)度均為5m，面積25mm。一種12英寸硅片腐蝕機(jī)上裝硅片用花籃， 位于花籃上方的支架上固定有四個(gè)阻擋桿，豎直地伸向花籃主體，并分別靠近花籃主體的 四條邊，阻擋桿的伸出的長(zhǎng)度為50mm，支架上所固定的四個(gè)阻擋桿中的相對(duì)的兩個(gè)阻擋桿 旁邊分別固定有用于鉤住花藍(lán)主體方塊的掛鉤。但是這種花籃在制絨過程中，硅片在花籃 中浸于制絨溶液，由于花籃前端為有PP材質(zhì)阻隔，不能形成良好的流體循環(huán)，不僅花籃內(nèi) 溶液濃度不均，花籃之間濃度也不均勻。并且花籃與硅片之間是由條形PP材質(zhì)阻隔，這樣 硅片與花籃之間接觸面過大，影響硅片與溶液的接觸，使其腐蝕速率發(fā)生變化，容易產(chǎn)生不 良片。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是提供一種用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)，其主要是解決現(xiàn)有技術(shù)所存在 的硅片在花籃中浸于制絨溶液，由于花籃前端為有PP材質(zhì)阻隔，不能形成良好的流體循 環(huán)，不僅花籃內(nèi)溶液濃度不均，花籃之間濃度也不均勻的問題；本實(shí)用新型還解決了花籃 與硅片之間是由條形PP材質(zhì)阻隔，這樣硅片與花籃之間接觸面過大，影響硅片與溶液的接 觸，使其腐蝕速率發(fā)生變化，容易產(chǎn)生不良片等的技術(shù)問題。本實(shí)用新型的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的本實(shí)用新型的用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)，包括長(zhǎng)方體型的花籃體，所述的花籃體 的兩側(cè)設(shè)有可與硅片固定的固定裝置，花籃體前端設(shè)有可讓溶液進(jìn)入的缺口，花籃體后端 開有圓形鏤空孔。將花籃的前端鏤空與后端相似，可以使溶液在花籃內(nèi)部形成良好有效的 循環(huán)?；ɑ@體后端也可以開有其它形狀的孔，用以保證溶液的循環(huán)。固定裝置用來和硅片 固定，從而保證溶液對(duì)花籃中硅片的腐蝕。作為優(yōu)選，所述的花籃體兩側(cè)的固定裝置都為兩排平行設(shè)置的卡齒，兩排卡齒設(shè)
3在花籃體的中部。為了減少了硅片與花籃的接觸面積，將花籃內(nèi)的條形間隔改成上下兩個(gè) 點(diǎn)式接觸，利用卡齒的所占面積較小保證了硅片與溶液的最大接觸面積，減少硅片與花籃 接觸處產(chǎn)生花籃印等不良現(xiàn)象。作為優(yōu)選，所述的卡齒為20-30對(duì)，圓形鏤空孔的直徑為50-70mm?？X最佳為24 對(duì)，圓形鏤空孔的直徑最佳為60mm。因此，本實(shí)用新型具有可以使溶液在花籃內(nèi)部形成良好有效的循環(huán)，并且保證硅 片與溶液的最大接觸面積，減少硅片與花籃接觸處產(chǎn)生花籃印等不良現(xiàn)象，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、合理 等特點(diǎn)。

附圖1是本實(shí)用新型的一種結(jié)構(gòu)示意圖；附圖2是圖1的左視結(jié)構(gòu)示意圖；附圖3是圖1的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中零部件、部位及編號(hào)花籃體1、圓形鏤空孔2、卡齒3。
具體實(shí)施方式
下面通過實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說明。實(shí)施例本例的用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)，如圖1、圖2、圖3，有一個(gè)長(zhǎng)方體型的花 籃體1，花籃體前端設(shè)有可讓溶液進(jìn)入的缺口，花籃體后端開有圓形鏤空孔2，圓形鏤空孔 的直徑為60mm。花籃體的兩側(cè)都設(shè)有兩排平行設(shè)置的卡齒3，兩排卡齒設(shè)在花籃體1的中 部，卡齒為24對(duì)。使用時(shí)，將硅片通過卡齒3卡接在花籃體1的兩側(cè)，再將整個(gè)花籃浸入到溶液中， 即可對(duì)硅片進(jìn)行腐蝕工序。以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例，但本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)特征并不局限于 此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型的領(lǐng)域內(nèi)，所作的變化或修飾皆涵蓋在本實(shí)用新 型的專利范圍之中。
權(quán)利要求1.一種用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)，包括長(zhǎng)方體型的花籃體(1)，其特征在于所述的花 籃體(1)的兩側(cè)設(shè)有可與硅片固定的固定裝置，花籃體前端設(shè)有可讓溶液進(jìn)入的缺口，花籃 體后端開有圓形鏤空孔(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的花籃體(1)兩 側(cè)的固定裝置都為兩排平行設(shè)置的卡齒(3 )，兩排卡齒設(shè)在花籃體(1)的中部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)，其特征在于所述的卡齒(3) 為20-30對(duì)，圓形鏤空孔(2)的直徑為50-70mm。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅片的制作機(jī)構(gòu)，尤其是涉及一種用于制作硅片的花籃機(jī)構(gòu)。其主要是解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的硅片在花籃中浸于制絨溶液，由于花籃前端為有PP材質(zhì)阻隔，不能形成良好的流體循環(huán)，不僅花籃內(nèi)溶液濃度不均，花籃之間濃度也不均勻的問題；本實(shí)用新型還解決了花籃與硅片之間是由條形PP材質(zhì)阻隔，這樣硅片與花籃之間接觸面過大，影響硅片與溶液的接觸，使其腐蝕速率發(fā)生變化，容易產(chǎn)生不良片等的技術(shù)問題。本實(shí)用新型包括長(zhǎng)方體型的花籃體(1)，其特征在于所述的花籃體(1)的兩側(cè)設(shè)有可與硅片固定的固定裝置，花籃體前端設(shè)有可讓溶液進(jìn)入的缺口，花籃體后端開有圓形鏤空孔(2)。
文檔編號(hào)C23F1/08GK201785494SQ201020520750
公開日2011年4月6日 申請(qǐng)日期2010年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月8日
發(fā)明者倪恩光, 劉亮, 姚桂華, 張克強(qiáng), 徐永洋, 謝小磊 申請(qǐng)人:綠華能源科技(杭州)有限公司