專利名稱：磁控濺射真空鍍膜機(jī)組的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種鍍膜機(jī)組，特別是涉及一種針對(duì)太陽(yáng)能電池背電極鍍膜的 磁控濺射真空鍍膜機(jī)組。
背景技術(shù)：
目前，薄膜太陽(yáng)能電池行業(yè)中在導(dǎo)電襯底玻璃上產(chǎn)生背電極的方法以磁控濺射 真空鍍膜為主。背電極材料根據(jù)不同的電池結(jié)構(gòu)采用不同的材料，非晶硅或微晶硅太陽(yáng) 能電池主要采用鋁、氧化鋅等作為背電極材料。鋁材料具有導(dǎo)電性能好、價(jià)格便宜等優(yōu) 點(diǎn)，為了防止鋁材料向半導(dǎo)體材料中擴(kuò)散、使電池的性能下降，還可以在背電極的鋁膜 內(nèi)增添一層氧化鋅膜，這樣可提高背電極的反射作用。在磁控濺射鋁膜或氧化鋅膜的過(guò)程中，一般采用立式雙邊鍍膜的磁控濺射機(jī) 組。立式雙邊鍍膜時(shí)，在導(dǎo)電襯底玻璃的透明導(dǎo)電膜上沉積出非晶硅膜或微晶硅膜；將 沉積有非晶硅膜或微晶硅膜的兩片導(dǎo)電襯底玻璃以玻璃面相對(duì)、非晶硅膜或微晶硅膜朝 外的方式放置在立式玻璃基片裝載架的寬度方向兩側(cè)；利用真空泵組將磁控濺射機(jī)組真 空至10-5托以下，通入反應(yīng)氣體，打開(kāi)直流或射頻電源，開(kāi)始啟輝；通過(guò)常規(guī)的自動(dòng)傳 動(dòng)裝置，帶動(dòng)玻璃基片裝載架在磁控濺射機(jī)組(該機(jī)組包括呈直線布置的若干真空室) 內(nèi)依次連續(xù)直線移動(dòng)，且該機(jī)組內(nèi)的真空鍍膜室中至少裝有兩對(duì)鋁濺射靶或氧化鋅濺射 靶，它們順著玻璃基片裝載架的移動(dòng)方向布置且與導(dǎo)電襯底玻璃上的非晶硅膜或微晶硅 膜相對(duì)，處理結(jié)束后，使得兩片導(dǎo)電襯底玻璃的非晶硅膜或微晶硅膜上均沉積有鋁膜或 氧化鋅膜，從而在兩片導(dǎo)電襯底玻璃上產(chǎn)生背電極。該機(jī)組存在以下缺陷因該機(jī)組中缺乏玻璃基片裝載架的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置、過(guò)渡臺(tái)及行走軌道等輔助設(shè)備， 雖然設(shè)備成本有所降低，但是，鍍膜前多名操作人員要花費(fèi)大量的準(zhǔn)備時(shí)間，鍍膜時(shí)多 名操作人員更要來(lái)回奔波進(jìn)行玻璃基片裝載架的轉(zhuǎn)運(yùn)，操作人員之間無(wú)法良好地銜接配 合，難以實(shí)現(xiàn)連續(xù)化地不間斷作業(yè)，這嚴(yán)重影響了鍍膜質(zhì)量和鍍膜效率，人力成本較高。綜上所述，采用該機(jī)組后，操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度較大，難以滿足大規(guī)模工業(yè)化 生產(chǎn)的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種磁控濺射真空鍍膜機(jī)組，采用本機(jī)組 后，操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度較小，可滿足大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)的需求。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種磁控濺射真空鍍膜機(jī)組，它包括 依次相連的入端大氣真空轉(zhuǎn)換室、入端真空過(guò)渡室、入端真空緩沖室、真空鍍膜室、出 端真空緩沖室、出端真空過(guò)渡室、出端大氣真空轉(zhuǎn)換室，入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的進(jìn)口設(shè) 置真空門(mén)閥，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的出口設(shè)置真空門(mén)閥，入端大氣真空轉(zhuǎn)換室與入端真空過(guò)渡室之間、入端真空過(guò)渡室與入端真空緩沖室之間、出端真空緩沖室與出端真空過(guò) 渡室之間、出端真空過(guò)渡室與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室之間均設(shè)置真空門(mén)閥，入端真空緩沖 室、真空鍍膜室、出端真空緩沖室依次連通，入端大氣真空轉(zhuǎn)換室與第一真空泵組相 接，入端真空過(guò)渡室、入端真空緩沖室、真空鍍膜室、出端真空緩沖室、出端真空過(guò)渡 室均與第二真空泵組相接，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室與第三真空泵組相接，所述的每個(gè)室內(nèi) 按照同一軸線排布的方式設(shè)置分段傳動(dòng)總成，真空鍍膜室中至少裝有兩對(duì)濺射靶，它們 順著分段傳動(dòng)總成的排布方向布置且相對(duì)錯(cuò)開(kāi)排列，入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之 外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成相垂直的第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之 外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成相垂直的第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與入端大 氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間相互間隔，第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換 室的真空門(mén)閥之間相互間隔，第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置和第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端之間有與 分段傳動(dòng)總成相平行的行走軌道。為能簡(jiǎn)潔說(shuō)明問(wèn)題起見(jiàn)，以下對(duì)本實(shí)用新型所述磁控濺射真空鍍膜機(jī)組均簡(jiǎn)稱 為本機(jī)組。由上述方案可見(jiàn)，因本機(jī)組中包括玻璃基片裝載架的轉(zhuǎn)運(yùn)裝置及行走軌道等輔 助設(shè)備，并與所述的若干真空室形成可連續(xù)化鍍膜作業(yè)的循環(huán)流水生產(chǎn)線，這樣，整個(gè) 鍍膜操作僅需要兩名操作人員(他們分別站位于入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥和出端 大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥處)，且鍍膜前只要花費(fèi)少量的準(zhǔn)備時(shí)間，鍍膜時(shí)依靠所述的 輔助設(shè)備即可方便地完成玻璃基片裝載架的轉(zhuǎn)運(yùn)，操作人員無(wú)須為此來(lái)回奔波，兩名操 作人員可良好地銜接配合，從而實(shí)現(xiàn)連續(xù)化地不間斷作業(yè)，有效提高了鍍膜質(zhì)量和鍍膜 效率，人力成本較低。綜上所述，采用本機(jī)組后，操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度較小，可滿足大規(guī)模工業(yè)化生
產(chǎn)的需求。作為本機(jī)組的改進(jìn)，本機(jī)組還包括呈方形布置的第一過(guò)渡臺(tái)、第二過(guò)渡臺(tái)、第 三過(guò)渡臺(tái)、第四過(guò)渡臺(tái)；第一過(guò)渡臺(tái)處于第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之 間，第一過(guò)渡臺(tái)分別與第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端、入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥相互 間隔，第一過(guò)渡臺(tái)與分段傳動(dòng)總成共同一軸線；第二過(guò)渡臺(tái)處于第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之 間，第二過(guò)渡臺(tái)分別與第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端、出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥相互 間隔，第二過(guò)渡臺(tái)與分段傳動(dòng)總成共同一軸線；第三過(guò)渡臺(tái)處于第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端與行走軌道的一端之間，第三過(guò)渡 臺(tái)分別與第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端、行走軌道的一端相互間隔，第三過(guò)渡臺(tái)與分段傳 動(dòng)總成相平行；第四過(guò)渡臺(tái)處于第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端與行走軌道的另一端之間，第四過(guò) 渡臺(tái)分別與第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端、行走軌道的另一端相互間隔，第四過(guò)渡臺(tái)與分 段傳動(dòng)總成相平行。設(shè)置所述的四個(gè)過(guò)渡臺(tái)，可對(duì)流進(jìn)和流出所述若干真空室的玻璃基片裝載架進(jìn) 一步起到緩沖、過(guò)渡的作用，從而使得玻璃基片裝載架在轉(zhuǎn)運(yùn)時(shí)運(yùn)行準(zhǔn)確、移動(dòng)勻速。
圖1是本機(jī)組俯視方向的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施方式進(jìn)行具體描述參見(jiàn)圖1 本機(jī)組包括依次相連的入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1、入端真空過(guò)渡室2、入端真空緩 沖室3、真空鍍膜室4、出端真空緩沖室5、出端真空過(guò)渡室6、出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7以 及呈方形布置的第一過(guò)渡臺(tái)15、第二過(guò)渡臺(tái)16、第三過(guò)渡臺(tái)17、第四過(guò)渡臺(tái)18。入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1的進(jìn)口設(shè)置真空門(mén)閥8，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7的出口設(shè) 置真空門(mén)閥8。入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1與入端真空過(guò)渡室2之間、入端真空過(guò)渡室2與入 端真空緩沖室3之間、出端真空緩沖室5與出端真空過(guò)渡室6之間、出端真空過(guò)渡室6與 出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7之間均設(shè)置真空門(mén)閥8。真空門(mén)閥8為現(xiàn)有技術(shù)。入端真空緩沖室3、真空鍍膜室4、出端真空緩沖室5依次連通。入端大氣真空 轉(zhuǎn)換室1與第一真空泵組12相接，入端真空過(guò)渡室2、入端真空緩沖室3、真空鍍膜室 4、出端真空緩沖室5、出端真空過(guò)渡室6均與第二真空泵組13相接，出端大氣真空轉(zhuǎn)換 室7與第三真空泵組14相接。所述的每個(gè)室為長(zhǎng)方體狀腔室，所述的每個(gè)室內(nèi)按照同一軸線排布的方式設(shè)置 分段傳動(dòng)總成20，分段傳動(dòng)總成20為輪式或者鏈?zhǔn)浇Y(jié)構(gòu)，為現(xiàn)有技術(shù)。真空鍍膜室4中 裝有四對(duì)鋁濺射靶4a，它們順著分段傳動(dòng)總成20的排布方向布置且相對(duì)錯(cuò)開(kāi)排列。入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1的真空門(mén)閥8之外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成20相垂直的第一 玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7的真空門(mén)閥8之外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成20相垂直 的第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10。第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9的一端與入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1的真空門(mén) 閥8之間相互間隔，第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7的真空門(mén)閥8 之間相互間隔，第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9和第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10的另一端之間有與分段傳動(dòng) 總成20相平行的行走軌道11。第一過(guò)渡臺(tái)15處于第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9的一端與入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1的真空 門(mén)閥8之間，第一過(guò)渡臺(tái)15分別與第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9的一端、入端大氣真空轉(zhuǎn)換室1 的真空門(mén)閥8相互間隔，第一過(guò)渡臺(tái)15與分段傳動(dòng)總成20共同一軸線。第二過(guò)渡臺(tái)16處于第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7的真空 門(mén)閥8之間，第二過(guò)渡臺(tái)16分別與第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10的一端、出端大氣真空轉(zhuǎn)換室7 的真空門(mén)閥8相互間隔，第二過(guò)渡臺(tái)16與分段傳動(dòng)總成20共同一軸線。第三過(guò)渡臺(tái)17處于第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9的另一端與行走軌道11的一端之間，第 三過(guò)渡臺(tái)17分別與第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置9的另一端、行走軌道11的一端相互間隔，第三過(guò) 渡臺(tái)17與分段傳動(dòng)總成20相平行。第四過(guò)渡臺(tái)18處于第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10的另一端與行走軌道11的另一端之 間，第四過(guò)渡臺(tái)18分別與第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置10的另一端、行走軌道11的另一端相互間 隔，第四過(guò)渡臺(tái)18與分段傳動(dòng)總成20相平行。[0030]所述的每個(gè)室、每個(gè)過(guò)渡臺(tái)、每個(gè)玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置、行走軌道11為現(xiàn)有技術(shù)，它 們上均可設(shè)置光電信號(hào)檢測(cè)器(如圖1中的實(shí)心黑點(diǎn)所示，圖1中未示出光電信號(hào)檢測(cè)器 的件號(hào))。這樣，光電信號(hào)檢測(cè)器發(fā)出信號(hào)給控制裝置，由控制裝置實(shí)施可靠地控制。鍍膜時(shí)，依靠本機(jī)組可方便地完成玻璃基片裝載架19的轉(zhuǎn)運(yùn)。以上所述的僅是本實(shí)用新型的一種實(shí)施方式。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干變型和改進(jìn)，這些也 應(yīng)視為屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。比如在確保濺射靶順著分段傳動(dòng)總成的排布方向 布置且相對(duì)錯(cuò)開(kāi)排列的前提條件下，真空鍍膜室中所裝濺射靶的對(duì)數(shù)可根據(jù)需要靈活決 定。
權(quán)利要求1.磁控濺射真空鍍膜機(jī)組，包括依次相連的入端大氣真空轉(zhuǎn)換室、入端真空過(guò)渡 室、入端真空緩沖室、真空鍍膜室、出端真空緩沖室、出端真空過(guò)渡室、出端大氣真空 轉(zhuǎn)換室，入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的進(jìn)口設(shè)置真空門(mén)閥，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的出口設(shè)置真 空門(mén)閥，入端大氣真空轉(zhuǎn)換室與入端真空過(guò)渡室之間、入端真空過(guò)渡室與入端真空緩沖 室之間、出端真空緩沖室與出端真空過(guò)渡室之間、出端真空過(guò)渡室與出端大氣真空轉(zhuǎn)換 室之間均設(shè)置真空門(mén)閥，入端真空緩沖室、真空鍍膜室、出端真空緩沖室依次連通，入 端大氣真空轉(zhuǎn)換室與第一真空泵組相接，入端真空過(guò)渡室、入端真空緩沖室、真空鍍膜 室、出端真空緩沖室、出端真空過(guò)渡室均與第二真空泵組相接，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室與 第三真空泵組相接，所述的每個(gè)室內(nèi)按照同一軸線排布的方式設(shè)置分段傳動(dòng)總成，真空 鍍膜室中至少裝有兩對(duì)濺射靶，它們順著分段傳動(dòng)總成的排布方向布置且相對(duì)錯(cuò)開(kāi)排 列，其特征在于入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成相垂直的第 一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成相垂直的第 二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間相互 間隔，第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間相互間隔，第一 玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置和第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端之間有與分段傳動(dòng)總成相平行的行走軌道。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磁控濺射真空鍍膜機(jī)組，其特征在于本機(jī)組還包括呈方形布置的第一過(guò)渡臺(tái)、第二過(guò)渡臺(tái)、第三過(guò)渡臺(tái)、第四過(guò)渡臺(tái)； 第一過(guò)渡臺(tái)處于第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間， 第一過(guò)渡臺(tái)分別與第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端、入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥相互間 隔，第一過(guò)渡臺(tái)與分段傳動(dòng)總成共同一軸線；第二過(guò)渡臺(tái)處于第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間， 第二過(guò)渡臺(tái)分別與第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端、出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥相互間 隔，第二過(guò)渡臺(tái)與分段傳動(dòng)總成共同一軸線；第三過(guò)渡臺(tái)處于第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端與行走軌道的一端之間，第三過(guò)渡臺(tái)分 別與第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端、行走軌道的一端相互間隔，第三過(guò)渡臺(tái)與分段傳動(dòng)總 成相平行；第四過(guò)渡臺(tái)處于第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端與行走軌道的另一端之間，第四過(guò)渡臺(tái) 分別與第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端、行走軌道的另一端相互間隔，第四過(guò)渡臺(tái)與分段傳 動(dòng)總成相平行。
專利摘要磁控濺射真空鍍膜機(jī)組，其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)為入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成相垂直的第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之外設(shè)置與分段傳動(dòng)總成相垂直的第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置，第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與入端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間相互間隔，第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的一端與出端大氣真空轉(zhuǎn)換室的真空門(mén)閥之間相互間隔，第一玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置和第二玻璃轉(zhuǎn)運(yùn)裝置的另一端之間有與分段傳動(dòng)總成相平行的行走軌道。采用本機(jī)組后，操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度較小，可滿足大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)的需求。
文檔編號(hào)C23C14/35GK201801582SQ201020533899
公開(kāi)日2011年4月20日 申請(qǐng)日期2010年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月14日
發(fā)明者崔介東, 彭為報(bào), 章新良, 龔瑞 申請(qǐng)人:普樂(lè)新能源(蚌埠)有限公司