專利名稱：一種硅片的研磨夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾具，特別涉及一種硅片的研磨夾具，屬于硅片加工的技術(shù) 領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在硅片加工過(guò)程中，將硅棒加工成硅片后，硅片上會(huì)產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影 響后續(xù)加工的質(zhì)量，要將該不規(guī)則邊去除。傳統(tǒng)的去除不規(guī)則邊的工序是將硅片用膠粘合在一起，再將不規(guī)則邊研磨掉。但 是將硅片粘合在一起存在以下缺點(diǎn)1、尺寸研磨工序結(jié)束后，進(jìn)行表面研磨工序時(shí)，要先將粘合在一起的硅片通過(guò)溶 解或清洗的方法分開(kāi)，從而，增加了硅片的損壞率。2、由于硅片是通常膠粘合在一起的，雖然，通過(guò)清洗會(huì)將膠液去除，但仍會(huì)有殘余 的化合物留存，從而，影響硅片表面的平整度，給下道工序增加難度。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，近來(lái)，出現(xiàn)了一種夾具，該夾具包括定位夾，定位夾內(nèi)設(shè) 有夾緊板及鎖緊螺桿，鎖緊螺桿一端插入定位夾內(nèi)，并頂在夾緊板上，使用時(shí)，將硅片排列 整齊的放在空位夾內(nèi)，調(diào)節(jié)鎖緊螺桿，使夾緊板將硅片夾緊，該夾具解決了上述技術(shù)問(wèn)題， 但該夾具是通過(guò)鎖緊螺桿推動(dòng)夾緊板，實(shí)現(xiàn)硅片夾緊的，使用時(shí)，硅片與夾緊板之間沒(méi)有任 何緩沖，研磨過(guò)程中，容易使硅片產(chǎn)生損壞；且由于研磨過(guò)程中，產(chǎn)生震動(dòng)而使硅片松動(dòng)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的硅片的加工夾具，該夾具 可避免研磨過(guò)程中，硅片的損壞。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型一種硅片的研磨夾具，包括定位夾，夾緊板， 夾緊裝置，其中，所述夾緊裝置包括座體、至少兩個(gè)彈簧，所述座體固定設(shè)置在所述定位夾 上，所述彈簧一端固定設(shè)置在所述座體上，另一端固定設(shè)置在所述夾緊板上。上述一種硅片的研磨夾具，其中，所述彈簧為氣彈簧。本實(shí)用新型可實(shí)現(xiàn)以下有益效果1、由于所述夾緊裝置包括座體、彈簧，夾緊板夾緊硅片后，研磨過(guò)程中硅片因震動(dòng) 松動(dòng)時(shí)，夾緊板會(huì)在彈簧的推動(dòng)下，自動(dòng)調(diào)節(jié)，避免硅片松開(kāi)，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。2、由于所述彈簧為氣彈簧，可使硅片的夾緊更加可靠、穩(wěn)定。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。[0015]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型一種硅片的研磨夾具，包括定位夾1，夾緊板 2，夾緊裝置3，定位夾1為整體構(gòu)件，該整體構(gòu)件設(shè)空腔5，所述夾緊裝置3包括座體31、彈 簧32，所述座體31通過(guò)緊固件或其他方式固定設(shè)置在所述定位夾1上，所述彈簧32 —端 固定設(shè)置在所述座體31上，另一端固定設(shè)置在所述夾緊板2上。由于所述夾緊裝置3包括 座體31、彈簧32，夾緊板2夾緊硅片后，研磨過(guò)程中硅片4因震動(dòng)松動(dòng)時(shí)，夾緊板2會(huì)在彈 簧32的推動(dòng)下，自動(dòng)調(diào)節(jié)，避免硅片4松開(kāi)，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。彈簧32的數(shù)量不受 限制，可為2個(gè)，也可為4個(gè)，本實(shí)施例中，優(yōu)選所述彈簧32為氣彈簧，可使硅片的夾緊更加 可靠、穩(wěn)定。這里本實(shí)用新型的描述和應(yīng)用是說(shuō)明性的，并非想將本實(shí)用新型的范圍限制在上 述實(shí)施例中，因此，本實(shí)用新型不受本實(shí)施例的限制，任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均 在本實(shí)用新型保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種硅片的研磨夾具，包括定位夾，夾緊板，夾緊裝置，其特征在于，所述夾緊裝置包 括座體、至少兩個(gè)彈簧，所述座體固定設(shè)置在所述定位夾上，所述彈簧一端固定設(shè)置在所述 座體上，另一端固定設(shè)置在所述夾緊板上。
2.如權(quán)利要求1所述一種硅片的研磨夾具，其特征在于，所述彈簧為氣彈簧。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種硅片的研磨夾具，包括定位夾，夾緊板，夾緊裝置，其中，所述夾緊裝置包括座體、至少兩個(gè)彈簧，所述座體固定設(shè)置在所述定位夾上，所述彈簧一端固定設(shè)置在所述座體上，另一端固定設(shè)置在所述夾緊板上，由于所述夾緊裝置包括座體、彈簧，夾緊板夾緊硅片后，研磨過(guò)程中硅片因震動(dòng)松動(dòng)時(shí)，夾緊板會(huì)在彈簧的推動(dòng)下，自動(dòng)調(diào)節(jié)，避免硅片松開(kāi)，且本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
文檔編號(hào)B24B41/06GK201856162SQ20102058164
公開(kāi)日2011年6月8日 申請(qǐng)日期2010年10月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月28日
發(fā)明者聶金根 申請(qǐng)人:鎮(zhèn)江市港南電子有限公司