專利名稱：一種雙向石墨舟的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種工業(yè)用周轉(zhuǎn)載物器具，尤其涉及一種石墨舟。
背景技術(shù)：
在太陽(yáng)能和半導(dǎo)體生產(chǎn)中，通常采用薄膜沉積工藝進(jìn)行半導(dǎo)體的鍍膜，在進(jìn)行鍍 膜時(shí)，將待鍍膜的硅片插入真空鍍膜設(shè)備的載片器上，然后將載片器輸送入真空鍍膜設(shè)備 內(nèi)進(jìn)行放電鍍膜，鍍膜結(jié)束后取出載片器，將鍍膜后的硅片從載片器上取下。目前通常用石墨舟作為載片器，因?yàn)樵阱兡すに囘^(guò)程中，需要對(duì)待鍍膜的硅片放 電，因此真空鍍膜設(shè)備內(nèi)設(shè)置有電極，石墨舟上設(shè)置有與電極相配套的電極孔，造成了石墨 舟只能單向輸送入真空鍍膜設(shè)備，一旦送入方向錯(cuò)誤，則極易造成石墨舟損壞或設(shè)備內(nèi)電 極損壞。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型為解決現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題，提供一種便于使用、安全可靠的石墨舟。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種雙向石墨舟，含兩片及以上的石墨片，所述石墨片 兩端設(shè)置有連接部，處于中間的相鄰石墨片之間設(shè)置有電極隔塊，處于兩側(cè)的相鄰石墨片 之間夾有限位隔塊，所述電極隔塊和限位隔塊夾于相鄰連接部中間，電極隔塊垂直于石墨 片方向的外側(cè)面設(shè)置有電極孔。兩端的電極隔塊上均設(shè)置有電極孔，因此無(wú)論石墨舟以哪個(gè)方向送入真空鍍膜設(shè) 備，均可與設(shè)備內(nèi)的電極相配套，保證生產(chǎn)過(guò)程的順利進(jìn)行。作為優(yōu)選，所述石墨片包括中石墨片和下石墨片，所述中石墨片的中部設(shè)置有中 連接部，所述下石墨片的下部設(shè)置有下連接部，中石墨片與下石墨片交錯(cuò)設(shè)置。作為優(yōu)選，所有中連接部的大小一致，所有下連接部的大小一致。作為優(yōu)選，所述石墨片上設(shè)置有硅片位，所述硅片位設(shè)置有鏤空。石墨片上的鏤空 可使硅片與石墨片接觸面積減小，減少裝卸、鍍膜過(guò)程中對(duì)硅片表面的磨損和沾污，同時(shí)有 利于鍍膜的沉積，提高生產(chǎn)效率。綜上所述，本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn)1、石墨舟每端均可作為前端輸送入真空鍍膜設(shè)備，避免了因送入方向錯(cuò)誤造成的 石墨舟損壞或設(shè)備內(nèi)電極損壞；2、鍍膜沉積快，生產(chǎn)效率高、效果好。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一側(cè)視圖。圖中，1、石墨片，11、中石墨片，12、下石墨片，101、中連接部，102、下連接部，111、 限位隔塊，112、電極隔塊，2、電極孔，3、硅片位。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖以實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。實(shí)施例一一種雙向石墨舟，如圖1、2所示，包括17片石墨片1，石墨片1包括中石墨片11 和下石墨片12，中石墨片11的中部設(shè)置有中連接部101，下石墨片12的下部設(shè)置有下連接 部102，中石墨片11與下石墨片12交錯(cuò)設(shè)置，所有中連接部101的大小一致，所有下連接 部102的大小一致，處于中間的相鄰石墨片1之間設(shè)置有電極隔塊112，處于兩側(cè)的相鄰石 墨片1之間夾有限位隔塊111，電極隔塊112和限位隔塊111夾于相鄰連接部中間，電極隔 塊112垂直于石墨片1方向的外側(cè)面設(shè)置有電極孔2 ；石墨片1上設(shè)置有硅片位3，硅片位 3設(shè)置有鏤空。實(shí)施例二與實(shí)施例一的不同之處在于，石墨片1設(shè)置有15片。實(shí)施例三與實(shí)施例一的不同之處在于，石墨片1設(shè)置有19片。
權(quán)利要求1.一種雙向石墨舟，含兩片及以上的石墨片，所述石墨片兩端設(shè)置有連接部，其特征在 于處于中間的相鄰石墨片之間設(shè)置有電極隔塊，處于兩側(cè)的相鄰石墨片之間夾有限位隔 塊，所述電極隔塊和限位隔塊夾于相鄰連接部中間，電極隔塊垂直于石墨片方向的外側(cè)面 設(shè)置有電極孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述雙向石墨舟，其特征在于所述石墨片包括中石墨片和下石墨 片，所述中石墨片的中部設(shè)置有中連接部，所述下石墨片的下部設(shè)置有下連接部，中石墨片 與下石墨片交錯(cuò)設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述雙向石墨舟，其特征在于所有中連接部的大小一致，所有下連 接部的大小一致。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述雙向石墨舟，其特征在于所述石墨片上設(shè)置有硅片位，所述硅 片位設(shè)置有鏤空。
專利摘要一種雙向石墨舟，含兩片及以上的石墨片，所述石墨片兩端設(shè)置有連接部，處于中間的相鄰石墨片之間設(shè)置有電極隔塊，處于兩側(cè)的相鄰石墨片之間夾有限位隔塊，所述電極隔塊和限位隔塊夾于相鄰連接部中間，電極隔塊垂直于石墨片方向的外側(cè)面設(shè)置有電極孔。本實(shí)用新型每端均可作為前端輸送入真空鍍膜設(shè)備，避免了因送入方向錯(cuò)誤造成的石墨舟損壞或設(shè)備內(nèi)電極損壞；鍍膜沉積快，生產(chǎn)效率高、效果好。
文檔編號(hào)C23C14/50GK201896192SQ20102061154
公開日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年11月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月18日
發(fā)明者吳太亮 申請(qǐng)人:浙江貝盛光伏股份有限公司