專利名稱：運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種研磨設(shè)備，具體的講是涉及一種用于研磨設(shè)備中的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制程工藝中，化學(xué)機(jī)械研磨工藝兼具有研磨性物質(zhì)的機(jī)械式研磨與酸堿溶液的化學(xué)式研磨兩種作用，可以使晶圓表面達(dá)到全面性的平坦化，以便進(jìn)行薄膜沉積的工藝步驟。化學(xué)機(jī)械研磨要用到研磨設(shè)備，研磨設(shè)備中有很多運(yùn)動(dòng)部件，為了準(zhǔn)確控制這些運(yùn)動(dòng)部件的移動(dòng)位置，在研磨設(shè)備中安裝有運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)。其結(jié)構(gòu)包括位置傳感器，位置傳感器上設(shè)置有能穿過運(yùn)動(dòng)部件的開口。當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件穿過位置傳感器的開口時(shí)，則位置傳感器就可以檢測運(yùn)動(dòng)部件的標(biāo)記位置，使運(yùn)動(dòng)部件移動(dòng)到指定位置。然而，這些運(yùn)動(dòng)部件由于松動(dòng)而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)軌跡偏移時(shí)，在經(jīng)過位置傳感器的開口時(shí)，就會(huì)與位置傳感器的開口產(chǎn)生碰撞，以致位置傳感器損壞或者位置傳感器檢測運(yùn)動(dòng)部件的位置不準(zhǔn)確，從而不能準(zhǔn)確控制這些運(yùn)動(dòng)部件的移動(dòng)位置。而現(xiàn)有技術(shù)中，又沒有校準(zhǔn)裝置來校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)部件的位置。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是，克服以上不足，提供了一種能校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)部件的位置、防止位置傳感器被撞壞的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是一種運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)， 包括位置傳感器，所述位置傳感器上設(shè)置有能穿過運(yùn)動(dòng)部件的第一開口，還包括位于位置傳感器前端的保護(hù)器，所述保護(hù)器上設(shè)置有與位置傳感器的第一開口相通的梯形槽。進(jìn)一步的，所述保護(hù)器上的梯形槽與位置傳感器的第一開口通過第二開口相通， 所述第二開口設(shè)置在保護(hù)器的梯形槽的后端。進(jìn)一步的，所述梯形槽為直角梯形。進(jìn)一步的，所述梯形槽為等腰梯形。進(jìn)一步的，所述梯形槽為不等腰梯形。進(jìn)一步的，所述運(yùn)動(dòng)部件為偵測片。本實(shí)用新型的有益效果是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，是在研磨設(shè)備中的運(yùn)動(dòng)部件穿過位置傳感器之前，設(shè)置了保護(hù)器。當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件移動(dòng)時(shí)，先通過保護(hù)器，再通過位置傳感器。使運(yùn)動(dòng)部件在移動(dòng)到位置傳感器時(shí)，不會(huì)直接碰到位置傳感器上，則位置傳感器就不會(huì)被撞壞。保護(hù)器上設(shè)置有梯形槽，梯形槽的斜邊能對(duì)偏移運(yùn)動(dòng)軌跡的運(yùn)動(dòng)部件進(jìn)行位置校準(zhǔn)，則校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)軌跡的運(yùn)動(dòng)部件就會(huì)安全的穿過位置傳感器的第一開口，因此， 運(yùn)動(dòng)部件也不會(huì)撞壞位置傳感器。其工作原理如下當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件由于松動(dòng)而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)軌跡偏移，而使運(yùn)動(dòng)部件向上或者向下偏移后，運(yùn)動(dòng)部件就會(huì)通過保護(hù)器的梯形槽的斜邊向保護(hù)器的第二開口或者位置傳感器的第一開口移動(dòng)，減小了運(yùn)動(dòng)部件與位置傳感器的直接碰撞。當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件移動(dòng)到保護(hù)器的第二開口或者位置傳感器的第一開口時(shí)，運(yùn)動(dòng)部件就會(huì)限定在第二開口或者第一開口的寬度內(nèi)移動(dòng)。因此，運(yùn)動(dòng)軌跡偏移的運(yùn)動(dòng)部件在經(jīng)過保護(hù)器的梯形槽時(shí)，得到了位置的校準(zhǔn)。

圖1是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例5的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例6的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例7的結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例8的結(jié)構(gòu)示意圖；圖9-12是本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)實(shí)施例6校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)部件的狀態(tài)示意圖。圖中所示1、位置傳感器，2、保護(hù)器，3、運(yùn)動(dòng)部件，11、第一開口，21、梯形槽，22、第
二開口。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述實(shí)施例1 如圖1所示，本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，包括位置傳感器1，所述位置傳感器1上設(shè)置有能穿過運(yùn)動(dòng)部件3的第一開口 11，還包括位于位置傳感器1前端的保護(hù)器 2，所述保護(hù)器2上設(shè)置有與位置傳感器1的第一開口 11相通的梯形槽21。所述梯形槽21 為直角梯形。所述直角梯形槽21的斜邊朝下安裝。實(shí)施例2 如圖2所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是所述保護(hù)器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設(shè)置在保護(hù)器2的梯形槽21的后端。實(shí)施例3 如圖3所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是直角梯形槽21的安裝位置。所述直角梯形槽21的斜邊朝上安裝。實(shí)施例4 如圖4所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例3的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是所述保護(hù)器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設(shè)置在保護(hù)器2的梯形槽21的后端。實(shí)施例5 如圖5所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是梯形槽21為等腰梯形。[0032]實(shí)施例6 如圖6所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例5的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是所述保護(hù)器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設(shè)置在保護(hù)器2的梯形槽21的后端。實(shí)施例7 如圖7所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是梯形槽21為不等腰梯形。實(shí)施例8 如圖8所示，本實(shí)施例是在實(shí)施例7的基礎(chǔ)上改進(jìn)而成，其區(qū)別技術(shù)特征是所述保護(hù)器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設(shè)置在保護(hù)器2的梯形槽21的后端。以上實(shí)施例1-8中，所述運(yùn)動(dòng)部件3均采用偵測片，也可以是其它類別的運(yùn)動(dòng)部件。如圖9-12所示，本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，是在研磨設(shè)備中的運(yùn)動(dòng)部件 3穿過位置傳感器1之前，設(shè)置了保護(hù)器2。當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件3移動(dòng)時(shí)，先通過保護(hù)器2，再通過位置傳感器3。使運(yùn)動(dòng)部件3在移動(dòng)到位置傳感器1時(shí)，不會(huì)直接碰到位置傳感器1上，則位置傳感器1就不會(huì)被撞壞。保護(hù)器2上設(shè)置有梯形槽21，梯形槽21的斜邊能對(duì)偏移運(yùn)動(dòng)軌跡的運(yùn)動(dòng)部件3進(jìn)行位置校準(zhǔn)，則校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)軌跡的運(yùn)動(dòng)部件3就會(huì)安全的穿過位置傳感器1的第一開口 11，因此，運(yùn)動(dòng)部件3也不會(huì)撞壞位置傳感器1。其工作原理如下當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件3由于松動(dòng)而產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)軌跡偏移，而使運(yùn)動(dòng)部件3向上或者向下偏移后，運(yùn)動(dòng)部件3就會(huì)通過保護(hù)器2的梯形槽21的斜邊向保護(hù)器2的第二開口 22或者位置傳感器1的第一開口 11移動(dòng)，減小了運(yùn)動(dòng)部件3與位置傳感器1的直接碰撞。當(dāng)運(yùn)動(dòng)部件3移動(dòng)到保護(hù)器2 的第二開口 22或者位置傳感器1的第一開口 11時(shí)，運(yùn)動(dòng)部件3就會(huì)限定在第二開口 22或者第一開口 11的寬度內(nèi)移動(dòng)。因此，運(yùn)動(dòng)軌跡偏移的運(yùn)動(dòng)部件3在經(jīng)過保護(hù)器2的梯形槽 21時(shí)，得到了位置的校準(zhǔn)。因此，本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，能夠校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)部件3的移動(dòng)位置、防止位置傳感器1被運(yùn)動(dòng)部件3撞壞。
權(quán)利要求1.一種運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，包括位置傳感器(1)，所述位置傳感器(1)上設(shè)置有能穿過運(yùn)動(dòng)部件(3)的第一開口(11)，其特征在于還包括位于位置傳感器(1)前端的保護(hù)器O)，所述保護(hù)器⑵上設(shè)置有與位置傳感器⑴的第一開口(11)相通的梯形槽01)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，其特征在于所述保護(hù)器(2)上的梯形槽與位置傳感器(1)的第一開口(11)通過第二開口 02)相通，所述第二開口 (22)設(shè)置在保護(hù)器(2)的梯形槽的后端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，其特征在于所述梯形槽為直角梯形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，其特征在于所述梯形槽為等腰梯形。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，其特征在于所述梯形槽為不等腰梯形。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，其特征在于所述運(yùn)動(dòng)部件(3)為偵測片。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，包括位置傳感器(1)，所述位置傳感器(1)上設(shè)置有能穿過運(yùn)動(dòng)部件(3)的第一開口(11)，還包括位于位置傳感器(1)前端的保護(hù)器(2)，所述保護(hù)器(2)上設(shè)置有與位置傳感器(1)的第一開口(11)相通的梯形槽(21)。本實(shí)用新型運(yùn)動(dòng)部件位置檢測系統(tǒng)，能校準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)部件的位置、防止位置傳感器被撞壞。
文檔編號(hào)B24B37/00GK201960448SQ201020679268
公開日2011年9月7日 申請(qǐng)日期2010年12月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月24日
發(fā)明者宋林飛, 朱海青, 湯露奇 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司