專利名稱：磨削裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及磨削裝置，該磨削裝置具備磨削構(gòu)件，該磨削構(gòu)件包括磨輪，所述磨輪由圓環(huán)形狀的基座和固定于該基座的磨具構(gòu)成；以及輪座，所述輪座將磨輪的基座支承成能夠自如裝卸。
背景技術(shù)：
磨削半導(dǎo)體晶片那樣的板狀物的背面的磨削裝置具備對吸引保持于卡盤工作臺上的板狀物進(jìn)行磨削的磨削構(gòu)件。磨削構(gòu)件由以下部分構(gòu)成主軸，所述主軸被配設(shè)成能夠旋轉(zhuǎn)并且鉛直地延伸；輪座，所述輪座裝配于主軸的下端；以及磨輪，所述磨輪能夠自如裝卸地裝配于輪座。磨輪由圓環(huán)形狀的基座和固定于該基座的磨具構(gòu)成?；蔷哂猩媳砻?、下表面和圓環(huán)形狀的內(nèi)周面的圓環(huán)形狀，磨具被固定在基座的下表面。在基座形成有多個從上表面貫通到下表面的貫通孔，所述貫通孔經(jīng)由磨削液供給路徑與磨削液源連通，所述磨削液供給路徑形成于輪座(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。在磨削時，經(jīng)由磨削液供給路徑和多個貫通孔向磨具的內(nèi)周側(cè)供給磨削液，由此使磨具冷卻，將磨削粉屑排出。專利文獻(xiàn)1 日本特開2003-068690號公報在上述現(xiàn)有的磨削裝置中，使磨輪的基座的裝配面抵接于輪座，并以螺釘?shù)冗M(jìn)行了固定。磨削液供給路徑由經(jīng)過輪座和基座兩者地延伸的流路所限定。然而，根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明者等的經(jīng)驗可知，磨削液會從輪座與基座的結(jié)合部泄漏。由于輪座和磨輪高速旋轉(zhuǎn)， 因此磨削液借助于離心力而在輪座和磨輪的結(jié)合部朝向半徑方向外側(cè)流動，從結(jié)合部的外周流出，無法向磨具供給預(yù)定量的磨削液，從而產(chǎn)生磨削不良。此外，磨削液長時間地流動會腐蝕結(jié)合部，從而在將磨輪從輪座卸下時難以卸下，并且還可能存在腐蝕物混入磨削液等不良情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于上述事實而作出的，其主要的技術(shù)課題為提供一種新的改良過的磨削裝置，該磨削裝置即使是在磨削時輪座和磨輪高速旋轉(zhuǎn)的時候，也能夠防止磨削液的漏出，并且能夠充分地避免輪座和磨輪的結(jié)合部的腐蝕。根據(jù)本發(fā)明，作為達(dá)成上述主要的技術(shù)課題的磨削裝置，其具備磨削構(gòu)件，該磨削構(gòu)件具備旋轉(zhuǎn)主軸，所述旋轉(zhuǎn)主軸具有鉛直延伸的旋轉(zhuǎn)軸線；圓盤形狀的輪座，所述圓盤形狀的輪座裝配于所述旋轉(zhuǎn)主軸的下端；圓環(huán)形狀的基座，所述圓環(huán)形狀的基座具有上表面、下表面和圓環(huán)形狀的內(nèi)周面；以及磨輪，所述磨輪由固定于所述基座的所述下表面的磨具構(gòu)成，并且該磨輪能夠自如裝卸地裝配于所述輪座的下表面，該磨削裝置的特征在于，在所述輪座的下表面外周部形成有上表面被裝配面和內(nèi)周面被裝配面，所述上表面被裝配面與所述磨輪的所述基座的所述上表面抵接，所述內(nèi)周面被裝配面與所述基座的圓環(huán)狀內(nèi)周面配合，在所述輪座形成有向所述磨具供給磨削液的磨削液供給路徑，
另外，用于限定磨削液引導(dǎo)路徑的圓環(huán)形狀的磨削液引導(dǎo)路徑限定部件配設(shè)于輪座的下表面，而且配設(shè)于所述內(nèi)周面被裝配面的內(nèi)周側(cè)，其中所述磨削液引導(dǎo)路徑用于將從所述磨削液供給路徑流出的磨削液引導(dǎo)至所述磨具。優(yōu)選的是，所述磨削液引導(dǎo)路徑限定部件能夠自如裝卸地裝配于所述輪座，所述磨削液引導(dǎo)路徑被限定在所述磨削液引導(dǎo)路徑限定部件的環(huán)狀外周面、與由所述基座和/ 或所述輪座的所述內(nèi)周面被裝配面的內(nèi)周側(cè)限定的環(huán)狀內(nèi)周面之間，并在周向連續(xù)地延伸，所述磨削液引導(dǎo)路徑由多個貫通孔構(gòu)成，所述多個貫通孔在周向隔開間隔地形成于所述磨削液引導(dǎo)路徑限定部件的外周緣部。在本發(fā)明的磨削裝置中，關(guān)于磨輪的具有上表面、下表面和圓環(huán)形狀的內(nèi)周面的圓環(huán)形狀的基座，其內(nèi)周面抵接并配合裝配于輪座的內(nèi)周面被裝配面，或者所述基座的上表面抵接并配合裝配于輪座的上表面，并在所述基座的內(nèi)周側(cè)設(shè)置另外的磨削液引導(dǎo)供給部件，因此即使是在磨削時輪座和磨輪高速旋轉(zhuǎn)的時候，磨削液也不會進(jìn)入輪座與磨輪的結(jié)合部，能夠可靠地防止磨削液的漏出，并且能夠充分地避免輪座與磨輪的結(jié)合部的腐蝕。


圖1是按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的整體圖。圖2是按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的主要部分剖視圖。圖3是按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的主要部分剖視圖。圖4中，(a)是按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的主要部分剖視圖；(b)是按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的主要部分仰視概要圖。圖5是按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的另一實施方式的主要部分放大圖。標(biāo)號說明2 磨削裝置；20 磨削構(gòu)件；34 輪座；36 磨輪；40 基座；42 磨具；48,66 磨削液引導(dǎo)路徑；50、68 磨削液引導(dǎo)路徑限定部件；58 磨削液供給路徑；64 磨削液源。
具體實施例方式以下，對按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置的優(yōu)選實施方式參照圖示的附圖更為詳細(xì)地進(jìn)行說明。圖1圖示了按照本發(fā)明構(gòu)成的磨削裝置2。如圖1所示，磨削裝置2的殼體4由水平殼體6和垂直殼體8構(gòu)成。在水平殼體6配設(shè)有卡盤工作臺10，該卡盤工作臺10用于吸引保持應(yīng)該磨削的板狀物，該卡盤工作臺10配設(shè)成能夠通過未圖示的卡盤工作臺移動機(jī)構(gòu)在Y軸方向移動?？ūP工作臺10在圖1所示的板狀物搬入搬出位置與同后述的磨輪36 對置的磨削位置之間沿Y軸方向移動。未圖示的卡盤工作臺移動機(jī)構(gòu)被能夠伸縮的波紋部 12和14保護(hù)。在垂直殼體8固定有在上下方向延伸的一對導(dǎo)軌16、18。移動基座M被裝配成能夠沿所述一對導(dǎo)軌16、18在上下方向移動，在所述移動基座M裝配有磨削構(gòu)件20。磨削裝置2具備磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)25，該磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)25使磨削構(gòu)件20沿一對導(dǎo)軌16、18在上下方向移動。磨削單元進(jìn)給機(jī)構(gòu)25由滾珠絲杠沈和固定于滾珠絲杠 26的一端部的脈沖馬達(dá)28構(gòu)成。當(dāng)脈沖馬達(dá)28被脈沖驅(qū)動時，滾珠絲杠沈旋轉(zhuǎn)，移動基座M經(jīng)固定在移動基座M內(nèi)部的螺母(未圖示)在上下方向移動。磨削構(gòu)件20包括主軸殼體30，所述主軸殼體30安裝于移動基座M的支承部22 ；主軸32，所述主軸32以能夠旋轉(zhuǎn)的方式收納在主軸殼體30中；以及伺服馬達(dá)35，所述伺服馬達(dá)35驅(qū)動主軸32旋轉(zhuǎn)。如圖2所示的詳細(xì)內(nèi)容所示，在主軸32的下端固定有按照本發(fā)明改良了的輪座 34。輪座34由不銹鋼或者鋁那樣的適當(dāng)金屬形成，輪座34整體呈大致圓盤形狀。輪座34 通過適當(dāng)?shù)木o固結(jié)構(gòu)(未圖示)而裝配于主軸32的下端。如圖3所圖示，在輪座34的下表面34b的外周部形成有圓環(huán)形狀的裝配凹部37，該裝配凹部37具有實質(zhì)上水平地向半徑方向外周側(cè)延伸的上表面被裝配面37a和從上表面被裝配面37a的半徑方向內(nèi)側(cè)端實質(zhì)上鉛直地向下方延伸的內(nèi)周面被裝配面37b。磨輪36與裝配凹部37配合并通過螺栓38被固定。磨輪36由圓環(huán)形狀的基座40 和固定于該基座40的磨具42構(gòu)成。基座40由鋁形成，其具有實質(zhì)上水平的上表面44a ； 從上表面44a的半徑方向內(nèi)側(cè)端實質(zhì)上鉛直地向下方延伸的圓環(huán)形狀的內(nèi)周面44c ；從上表面44a的半徑方向外側(cè)端實質(zhì)上鉛直地向下方延伸的圓環(huán)形狀的下垂面44b ；以及從下垂面44b向半徑方向內(nèi)側(cè)延伸的實質(zhì)上水平的下表面46，下表面46位于上表面44a的相反側(cè)?；?0還具有從內(nèi)周面44c的下端朝向下方向半徑方向外側(cè)傾斜地延伸的傾斜面 44d。傾斜面44d的傾斜角度θ (在圖2中示出)為大約40° 50°即可。上表面44a的寬度和內(nèi)周面44c的垂下長度分別與形成于輪座34的裝配凹部37的上表面被裝配面37a 的寬度和內(nèi)周面被裝配面37b的垂下長度相同?；?0被裝配于裝配凹部37，并使該基座40的上表面4 與上表面被裝配面37a抵接、使該基座40的內(nèi)周面Mc與內(nèi)周面被裝配面37b抵接。磨具42是將細(xì)微的金剛石磨粒利用例如陶瓷結(jié)合劑固化成圓形弧狀而形成的，在基座40的下表面46呈圓環(huán)形狀地等間隔地排列有多個磨具42并通過粘結(jié)劑等固定(參照圖4(b))。在輪座34的下表面34b，進(jìn)一步在與上述裝配凹部37的內(nèi)周側(cè)相鄰的位置處形成有圓環(huán)形狀的裝配槽39。如圖3所示，裝配槽39包括實質(zhì)上鉛直地向下方延伸的圓環(huán)形狀的下垂面39a ；從該下垂面39a的上端實質(zhì)上水平地向半徑方向外側(cè)延伸的上表面39b ； 以及從上表面39b的半徑方向外側(cè)端朝向下方向半徑方向外側(cè)傾斜地延伸的傾斜面39c。 傾斜面39c的傾斜角度為大約40° 50°即可。傾斜面39c的角度被限定為當(dāng)磨輪36 的基座40裝配于輪座34的裝配凹部37時，輪座34的傾斜面39c與基座40的傾斜面44d 處于同一個面。在上述裝配槽39通過螺栓M裝配有整體呈大致圓環(huán)形狀的磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50，該磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50能夠由不銹鋼那樣的金屬形成。磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50包括寬度形成得比上述裝配槽39的上表面39b小的實質(zhì)上水平的裝配面50a ； 從裝配面50a的半徑方向內(nèi)周端實質(zhì)上鉛直地朝向下方延伸的圓環(huán)形狀的下垂面50b ；從裝配面50a的半徑方向外周端朝向下方向半徑方向外側(cè)傾斜地延伸的環(huán)狀外周面50c ；以及從環(huán)狀外周面50c朝向下垂面50b的實質(zhì)上水平的下表面50d。環(huán)狀外周面50c的傾斜角度為大約40° 50°即可，環(huán)狀外周面50c的傾斜角度形成為與上述輪座34的傾斜面 39c和基座40的傾斜面44d相同的傾斜角度。磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50裝配于裝配槽 39，并使該磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50的裝配面50a和下垂面50b分別與輪座34的裝配槽39的上表面39b和下垂面39a抵接。其結(jié)果是，在由基座40的傾斜面44d和磨輪34的傾斜面39c限定的環(huán)狀內(nèi)周面、與磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50的環(huán)狀外周面50c之間，形成了從上方向下方朝半徑方向外側(cè)傾斜的、在圓環(huán)狀的周向連續(xù)地延伸的間隙，所述圓環(huán)狀的間隙限定了磨削液引導(dǎo)路徑48 (在圖2中示出)。另外，在輪座34的裝配槽39的上表面39b (在圖3中示出)，形成有與上述磨削液引導(dǎo)路徑48連通的圓環(huán)形狀的連通槽52。此外，如圖4的(b)的仰視概要圖中虛線所示， 在輪座34的內(nèi)部，以相等角度間隔形成有四個實質(zhì)上水平的貫通孔53，該四個貫通孔53沿直徑方向從一個外周穿過中心貫通到另一外周。在貫通孔53各自的兩端壓入有封閉塞60， 在貫通孔53內(nèi)部限定出水平供給路徑58a。如圖4的(a)所示，形成有導(dǎo)入孔58b，該導(dǎo)入孔58b從水平供給路徑58a進(jìn)行合流的中心到輪座34的上表面3 為止實質(zhì)上鉛直地延伸，該導(dǎo)入孔58b經(jīng)由配管62與磨削液源64連通。此外，形成有從水平供給路徑58a實質(zhì)上鉛直地朝向下方延伸至上述連通槽52的八個連通孔58c。這樣，磨削液引導(dǎo)路徑48經(jīng)由形成于輪座；34的磨削液供給路徑58，即導(dǎo)入孔58b、水平供給路徑58a、連通孔58c以及連通孔52而與磨削液源64連通。從磨削液源64供給的磨削液(例如純水)經(jīng)由磨削液供給路徑58和磨削液引導(dǎo)路徑48被供給到磨具42和保持于卡盤工作臺10的板狀物，所述磨削液供給路徑58形成于輪座34，所述磨削液引導(dǎo)路徑48是由磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50限定而成。由于在磨削過程中主軸32在高速旋轉(zhuǎn)的同時執(zhí)行磨削，因此從磨削液引導(dǎo)路徑48供給的磨削液因離心力而適當(dāng)?shù)刈饔糜谀ゾ?2的內(nèi)周側(cè)。此時，磨削液不會進(jìn)入磨輪36的內(nèi)周面Mc與輪座；34的內(nèi)周面被裝配面37b之間以及磨輪36的上表面4 與輪座34的上表面被裝配面 37a之間，可靠地防止了由高速旋轉(zhuǎn)引起的磨削液的漏出，并且充分地避免了由磨削液引起的結(jié)合部的腐蝕。在圖示的實施方式中，由基座40和輪座34限定了傾斜面，然而也可以構(gòu)成為僅通過基座40、或者僅通過輪座34來形成傾斜面。接下來，參照圖5對另一實施方式的磨削液引導(dǎo)路徑66進(jìn)行說明。在另一實施方式中，裝配于輪座34的裝配槽39的磨削液引導(dǎo)路徑限定部件68的形態(tài)與圖1至圖4圖示的實施方式中的磨削液引導(dǎo)路徑限定部件50不同。磨削液引導(dǎo)路徑限定部件68由不銹鋼那樣的金屬形成，整體呈大致圓環(huán)形狀，其具有寬度與裝配槽39的實質(zhì)上水平的上表面 39b相同的裝配面68a ；從裝配面68a的半徑方向內(nèi)周端實質(zhì)上鉛直地朝向下方延伸的下垂面68b ；從裝配面68a的半徑方向外周端朝下方向半徑方向外側(cè)傾斜地延伸的的傾斜面 68c ；以及從傾斜面68c朝向下垂面68b的實質(zhì)上水平的下表面68d。傾斜面68c形成為與基座40和輪座34的傾斜面44d和39c相同的傾斜角度。在磨削液引導(dǎo)路徑限定部件68， 在周向隔開間隔地形成有多個傾斜貫通孔66，所述傾斜貫通孔66在磨削液引導(dǎo)路徑限定部件68的外周緣部從裝配面68a貫通至下表面68d，并具有與傾斜面68c相同的傾斜角度。 這多個傾斜貫通孔66限定了磨削液引導(dǎo)路徑66。磨削液引導(dǎo)路徑限定部件68裝配于裝配槽39，并使其裝配面68a、下垂面68b以及傾斜面68c分別與輪座34的裝配槽39的上表面 39b、下表面39a以及傾斜面39c抵接。磨削液引導(dǎo)路徑66與形成于輪座34的磨削液供給路徑58的連通槽52連通。
權(quán)利要求
1.一種磨削裝置，其具備磨削構(gòu)件，該磨削構(gòu)件具備旋轉(zhuǎn)主軸，所述旋轉(zhuǎn)主軸具有鉛直延伸的旋轉(zhuǎn)軸線；圓盤形狀的輪座，所述圓盤形狀的輪座裝配于所述旋轉(zhuǎn)主軸的下端； 圓環(huán)形狀的基座，所述圓環(huán)形狀的基座具有上表面、下表面和圓環(huán)形狀的內(nèi)周面；以及磨輪，所述磨輪由固定于所述基座的所述下表面的磨具構(gòu)成，并且該磨輪能夠自如裝卸地裝配于所述輪座的下表面，該磨削裝置的特征在于，在所述輪座的下表面外周部形成有上表面被裝配面和內(nèi)周面被裝配面，所述上表面被裝配面與所述磨輪的所述基座的所述上表面抵接，所述內(nèi)周面被裝配面與所述基座的圓環(huán)狀內(nèi)周面配合，在所述輪座形成有向所述磨具供給磨削液的磨削液供給路徑，另外，用于限定磨削液引導(dǎo)路徑的圓環(huán)形狀的磨削液引導(dǎo)路徑限定部件配設(shè)于輪座的下表面，而且配設(shè)于所述內(nèi)周面被裝配面的內(nèi)周側(cè)，其中所述磨削液引導(dǎo)路徑用于將從所述磨削液供給路徑流出的磨削液引導(dǎo)至所述磨具。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨削裝置，其中，所述磨削液引導(dǎo)路徑限定部件能夠自如裝卸地裝配于所述輪座。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磨削裝置，其中，所述磨削液引導(dǎo)路徑被限定在所述磨削液引導(dǎo)路徑限定部件的環(huán)狀外周面、與由所述基座和/或所述輪座的所述內(nèi)周面被裝配面的內(nèi)周側(cè)限定的環(huán)狀內(nèi)周面之間，并在周向連續(xù)地延伸。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的磨削裝置，其中，所述磨削液引導(dǎo)路徑由多個貫通孔構(gòu)成，所述多個貫通孔在周向隔開間隔地形成于所述磨削液引導(dǎo)路徑限定部件的外周緣部。
全文摘要
本發(fā)明提供一種磨削裝置，在磨削時磨削液不會從高速旋轉(zhuǎn)的輪座和磨輪的結(jié)合部漏出，能夠避免結(jié)合部的腐蝕。磨削裝置具備磨削構(gòu)件，該磨削構(gòu)件具有旋轉(zhuǎn)軸線鉛直延伸的旋轉(zhuǎn)主軸；裝配于旋轉(zhuǎn)主軸下端的圓盤狀輪座；具有上表面、下表面和圓環(huán)狀內(nèi)周面的圓環(huán)狀基座；以及由固定于基座下表面的磨具構(gòu)成并裝卸自如地裝配于輪座下表面的磨輪。在輪座的下表面外周部形成有與磨輪的基座上表面抵接的上表面被裝配面和與基座內(nèi)周面配合的內(nèi)周面被裝配面。在輪座形成有向磨具供給磨削液的磨削液供給路徑，用于限定將從磨削液供給路徑流出的磨削液導(dǎo)向磨具的磨削液引導(dǎo)路徑的圓環(huán)狀磨削液引導(dǎo)路徑限定部件配設(shè)于輪座下表面、且配設(shè)于內(nèi)周面被裝配面的內(nèi)周側(cè)。
文檔編號B24B37/04GK102166731SQ20111004089
公開日2011年8月31日 申請日期2011年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月23日
發(fā)明者桑名一孝, 池谷和人, 長井修 申請人:株式會社迪思科