專利名稱：用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路和修整設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶片拋光技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路和具有其的修整設(shè)備。
背景技術(shù)：
在化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備中，拋光墊在使用一段時(shí)間后，隨著自身的磨損以及磨屑對(duì)拋光墊表面的微孔的填充，拋光墊的表面因形成釉化層而變得平滑，這使得拋光墊存儲(chǔ)、輸送磨料的能力降低，導(dǎo)致材料去除率和拋光表面質(zhì)量下降。因此，在現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用修整頭對(duì)拋光墊進(jìn)行修整，即通過(guò)修整頭上的金剛石盤對(duì)拋光墊進(jìn)行適當(dāng)?shù)男拚?，可以去除釉化層和拋光墊上的磨屑，提高拋光墊的粗糙度和使用壽命，降低成本，并保證拋光的一致性。修整頭帶動(dòng)金剛石盤下壓并與拋光墊接觸，并帶動(dòng)金剛石盤旋轉(zhuǎn)，金剛石盤在與拋光墊接觸并旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中對(duì)拋光墊進(jìn)行修整。對(duì)拋光墊的修整不是一直進(jìn)行的，而是選擇性進(jìn)行，當(dāng)拋光墊使用到一定的程度時(shí)，才對(duì)拋光墊進(jìn)行修整。修整頭不是一直與拋光墊保持接觸狀態(tài)，而是修整時(shí)才與拋光墊接觸，所以修整頭不僅應(yīng)該具有伸縮運(yùn)動(dòng)的功能，與拋光墊保持接觸與脫離，而且還應(yīng)該具有與拋光墊接觸時(shí)，下壓力可控的功能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問(wèn)題之一。為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路。本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提出一種具有所述氣動(dòng)控制回路的修整系統(tǒng)。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明第一方面的實(shí)施例提出一種用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，所述用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路包括正壓控制支路，所述正壓控制支路包括減壓閥，所述減壓閥與氣源相連；和第一控制閥，所述第一控制閥與所述減壓閥相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述正壓控制支路；真空支路，所述真空支路包括真空產(chǎn)生裝置； 以及切換閥，所述切換閥分別與所述正壓控制支路和所述真空支路相連用于選擇性地將所述正壓控制支路和所述真空支路中的一個(gè)支路與所述修整器連通。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路通過(guò)設(shè)置所述正壓控制支路來(lái)使所述修整器的修整頭與拋光墊接觸并對(duì)所述拋光墊進(jìn)行修整，并通過(guò)設(shè)置所述真空支路，從而在修整結(jié)束后使所述修整器的修整頭與所述拋光墊脫離。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路通過(guò)僅設(shè)置少量的元件，便實(shí)現(xiàn)了對(duì)所述修整器的修整頭的控制，因此具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的優(yōu)點(diǎn)。另外，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路可以具有如下附加的技術(shù)特征根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述真空產(chǎn)生裝置為真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器與所述氣源相連，所述真空支路還包括第二控制閥，所述第二控制閥與所述真空發(fā)生器相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述真空支路。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，還包括消聲器，所述消聲器與所述真空發(fā)生器相連用于減小所述真空發(fā)生器的噪聲。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第二控制閥為兩位兩通閥或兩位三通閥且連接在所述真空發(fā)生器與所述氣源之間。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述減壓閥為手動(dòng)減壓閥或電氣比例閥。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一控制閥連接在所述減壓閥與所述氣源之間。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述第一控制閥為兩位兩通閥或兩位三通閥。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述切換閥為兩位三通閥或三位三通閥。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，所述真空產(chǎn)生裝置為真空泵。根據(jù)本發(fā)明第二方面的實(shí)施例提出一種修整設(shè)備，所述修整設(shè)備包括修整器，所述修整器具有修整頭，所述修整頭內(nèi)限定有密閉腔；和氣動(dòng)控制回路，所述氣動(dòng)控制回路為根據(jù)本發(fā)明第一方面所述的氣動(dòng)控制回路，其中所述氣動(dòng)控制回路的所述切換閥選擇性地將所述氣動(dòng)控制回路的正壓控制支路與所述真空支路中的一個(gè)支路與所述修整頭的密閉空間連通以驅(qū)動(dòng)所述修整頭沿與所述一個(gè)支路相應(yīng)的方向移動(dòng)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修整設(shè)備，通過(guò)設(shè)置氣動(dòng)控制回路來(lái)對(duì)所述修整器進(jìn)行控制以完成對(duì)所述拋光墊的修整。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修整設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的優(yōu)
點(diǎn)ο本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過(guò)本發(fā)明的實(shí)踐了解到。


本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路的結(jié)構(gòu)示意圖；和圖3是利用根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修整系統(tǒng)的修整器對(duì)拋光墊進(jìn)行修整的立體示意圖。
具體實(shí)施例方式下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、 “左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。在本發(fā)明的描述中，除非另有規(guī)定和限定，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、 “連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是機(jī)械連接或電連接，也可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通，可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)的具體含義。下面參照?qǐng)D1描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路。如圖1 所示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路包括正壓控制支路、真空支路和切換閥300。所述正壓控制支路包括減壓閥110和第一控制閥120，減壓閥110與氣源400 相連，第一控制閥120與減壓閥110相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述正壓控制支路。所述真空支路包括真空產(chǎn)生裝置M0。切換閥300分別與所述正壓控制支路和所述真空支路相連用于選擇性地將所述正壓控制支路和所述真空支路中的一個(gè)支路與修整器500連通。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路通過(guò)設(shè)置所述正壓控制支路來(lái)使修整器500的修整頭510與拋光墊接觸并對(duì)所述拋光墊進(jìn)行修整，并通過(guò)設(shè)置所述真空支路來(lái)在修整結(jié)束后使修整器500的修整頭510與所述拋光墊脫離。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路僅設(shè)置了少量的元件，便實(shí)現(xiàn)了對(duì)修整器500的修整頭510的控制，因此具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的優(yōu)點(diǎn)。在修整器500對(duì)拋光墊進(jìn)行修整的過(guò)程中，通過(guò)控制所述正壓控制支路，開啟所述正壓控制支路上的第一控制閥120，切換閥300切換到所述正壓控制支路，以使所述正壓控制支路與修整器500連通。具體地，切換閥300切換到所述正壓控制支路，以使所述正壓控制支路與修整器500的修整頭510連通。修整頭510內(nèi)限定有密閉腔，所述密閉腔內(nèi)限定有密閉空間520。減壓閥110向修整器500的修整頭510的密閉空間520內(nèi)吹入一定壓力的氣體，修整頭510向下運(yùn)動(dòng)(如圖3中箭頭A所示)與拋光盤600上的拋光墊接觸并對(duì)所述拋光墊進(jìn)行修整。在修整過(guò)程中，可以通過(guò)調(diào)節(jié)減壓閥110來(lái)對(duì)密閉空間520內(nèi)的氣壓大小進(jìn)行調(diào)節(jié)，從而改變修整頭510對(duì)所述拋光墊的作用力。當(dāng)對(duì)所述拋光墊的修整結(jié)束后，修整頭510需要與所述拋光墊脫離，以避免過(guò)度的修整對(duì)所述拋光墊造成損害。此時(shí)通過(guò)控制所述真空支路，切換閥300切換到所述真空支路，以使所述真空支路與修整器500連通。具體地，切換閥300切換到所述真空支路，以使所述真空支路與修整器500的修整頭510連通。開啟真空產(chǎn)生裝置240對(duì)修整頭510的密閉空間520抽真空。修整頭510在負(fù)壓的作用下，脫離拋光盤600向上運(yùn)動(dòng)(如圖3中箭頭B所示)。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，真空產(chǎn)生裝置240可以是真空泵。如圖2所示，在本發(fā)明的一些實(shí)施例中，真空產(chǎn)生裝置240可以是真空發(fā)生器210， 真空發(fā)生器210可以與氣源400相連。所述真空支路還可以包括第二控制閥220，第二控制閥220可以與真空發(fā)生器210相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述真空支路。其中，所述正壓控制支路和所述真空支路并聯(lián)。當(dāng)對(duì)所述拋光墊的修整結(jié)束后，可以開啟所述真空支路上的第二控制閥220，切換閥300可以切換到所述真空支路，開啟真空發(fā)生器210對(duì)修整頭 510的密閉空間520抽真空。在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖2所示，第一控制閥120可以連接在減壓閥110與氣源400之間。在本發(fā)明的一個(gè)具體示例中，第一控制閥120可以是兩位兩通閥或兩位三通閥。如圖2所示，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，第二控制閥220可以連接在真空發(fā)生器210 與氣源400之間。在本發(fā)明的一個(gè)具體示例中，第二控制閥220可以是兩位兩通閥或兩位
三通閥。如圖2所示，在本發(fā)明的一些示例中，所述用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路還可以包括消聲器230，消聲器230可以與真空發(fā)生器210相連用于減小真空發(fā)生器210的噪聲。具體地，消聲器230可以是微穿孔消聲器。在本發(fā)明的一個(gè)示例中，減壓閥110可以是手動(dòng)減壓閥或電氣比例閥。其中，所述電氣比例閥可以精確地控制修整頭510的密閉空間520內(nèi)的氣體壓力的大小。也就是說(shuō)， 通過(guò)設(shè)置所述電氣比例閥，可以精確地控制修整頭510對(duì)所述拋光墊的作用力的大小。在本發(fā)明的另一個(gè)示例中，切換閥300可以是兩位三通閥或三位三通閥。下面參照?qǐng)D1-3描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修整設(shè)備。如圖1-3所示，所述修整設(shè)備包括修整器500和氣動(dòng)控制回路。修整器具有修整頭510，修整頭510內(nèi)限定有密閉腔。 所述氣動(dòng)控制回路為上述的氣動(dòng)控制回路。其中，所述氣動(dòng)控制回路的切換閥300選擇性地將所述氣動(dòng)控制回路的所述正壓控制支路與所述真空支路中的一個(gè)支路與修整頭510 的密閉空間520連通以驅(qū)動(dòng)修整頭510沿與所述一個(gè)支路相應(yīng)的方向移動(dòng)。其中，所述正壓控制支路相應(yīng)的方向是指靠近拋光盤600上的拋光墊的方向，所述真空支路相應(yīng)的方向是指遠(yuǎn)離拋光盤600上的拋光墊的方向。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修整設(shè)備通過(guò)設(shè)置所述氣動(dòng)控制回路來(lái)對(duì)修整器500進(jìn)行控制以完成對(duì)所述拋光墊的修整。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的修整設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的優(yōu)點(diǎn)。在本說(shuō)明書的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求
1.一種用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，包括正壓控制支路，所述正壓控制支路包括減壓閥，所述減壓閥與氣源相連；和第一控制閥，所述第一控制閥與所述減壓閥相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述正壓控制支路；真空支路，所述真空支路包括真空產(chǎn)生裝置；以及切換閥，所述切換閥分別與所述正壓控制支路和所述真空支路相連用于選擇性地將所述正壓控制支路和所述真空支路中的一個(gè)支路與所述修整器連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，所述真空產(chǎn)生裝置為真空發(fā)生器，所述真空發(fā)生器與所述氣源相連，所述真空支路還包括第二控制閥， 所述第二控制閥與所述真空發(fā)生器相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述真空支路。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，還包括消聲器，所述消聲器與所述真空發(fā)生器相連用于減小所述真空發(fā)生器的噪聲。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，所述第二控制閥為兩位兩通閥或兩位三通閥且連接在所述真空發(fā)生器與所述氣源之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，所述減壓閥為手動(dòng)減壓閥或電氣比例閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，所述第一控制閥連接在所述減壓閥與所述氣源之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，所述第一控制閥為兩位兩通閥或兩位三通閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-7中任一項(xiàng)所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于， 所述切換閥為兩位三通閥或三位三通閥。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路，其特征在于，所述真空產(chǎn)生裝置為真空泵。
10.一種修整設(shè)備，其特征在于，包括修整器，所述修整器具有修整頭，所述修整頭內(nèi)限定有密閉腔；和氣動(dòng)控制回路，所述氣動(dòng)控制回路為根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的氣動(dòng)控制回路，其中所述氣動(dòng)控制回路的所述切換閥選擇性地將所述氣動(dòng)控制回路的正壓控制支路與所述真空支路中的一個(gè)支路與所述修整頭的密閉空間連通以驅(qū)動(dòng)所述修整頭沿與所述一個(gè)支路相應(yīng)的方向移動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路和修整設(shè)備。所述用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路包括正壓控制支路、真空支路和切換閥。所述正壓控制支路包括減壓閥，所述減壓閥與氣源相連；和第一控制閥，所述第一控制閥與所述減壓閥相連用于選擇性地?cái)嚅_和接通所述正壓控制支路。所述真空支路包括真空產(chǎn)生裝置。所述切換閥分別與所述正壓控制支路和所述真空支路相連用于選擇性地將所述正壓控制支路和所述真空支路中的一個(gè)支路與所述修整器連通。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的用于控制修整器的氣動(dòng)控制回路具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于控制的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B24B53/12GK102225534SQ20111009828
公開日2011年10月26日 申請(qǐng)日期2011年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月19日
發(fā)明者沈攀, 路新春 申請(qǐng)人:清華大學(xué)