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一種49u/s石英晶片倒邊工藝的制作方法

文檔序號(hào):3345839閱讀:1025來源:國(guó)知局
專利名稱:一種49u/s石英晶片倒邊工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本項(xiàng)發(fā)明涉及電子元件加工工藝領(lǐng)域,具體涉及一種49S石英晶片倒邊工藝。
背景技術(shù)
現(xiàn)在49U/S小公差石英晶片的倒邊多采用干法倒邊,未使用研磨液,現(xiàn)有的技術(shù)對(duì)于解決某一種49U/S小公差合格率偏低,生產(chǎn)效率低下,無法滿足生產(chǎn)的需要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是本實(shí)用新型的目的在于解決現(xiàn)在49U/S小公差晶片的倒邊多采用干法倒邊,不需要配制研磨液,現(xiàn)有的技術(shù)對(duì)于解決某一種49U/S小公差合格率偏低, 生產(chǎn)效率低下,無法滿足生產(chǎn)的需要。而提供一種全新的工藝進(jìn)行49U/S石英晶片加工。本發(fā)明工藝為將49U/S石英晶片放入直徑80-90mm、長(zhǎng)度350mm的直筒內(nèi),將倒邊研磨液也放入直筒內(nèi),再將直筒放在石英晶片倒邊機(jī)上,上轉(zhuǎn)速控制在90-100轉(zhuǎn)/分鐘,環(huán)境濕度 40% -45%、環(huán)境溫度25°C 士2°C,倒邊研磨液由碳化硅、水和防銹劑組成,其重量份配比為水1000 碳化硅(800 井)20-30 防銹劑 8-12。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是提高了 49U/S小公差晶片溫度特性的一致性,提高了生產(chǎn)效率, 可用于8MHz-10MHz小公差晶片的倒邊加工。
具體實(shí)施例方式1、本發(fā)明的工藝為將49U/S石英晶片放入直徑80-90mm、長(zhǎng)度350mm的直筒內(nèi),將倒邊研磨液也放入直筒內(nèi),再將直筒放在石英晶片石英晶片倒邊機(jī)上,上轉(zhuǎn)速控制在90-100轉(zhuǎn)/分鐘,環(huán)境濕度40% -45%、環(huán)境溫度25°C 士2°C,倒邊研磨液由碳化硅、水和防銹劑組成,將水IOOOgJI 化硅25g、防銹劑IOg混合攪勻即成倒邊研磨液。石英晶片倒邊機(jī)水平安裝在恒溫(環(huán)境溫度25 °C 士 2)恒濕(環(huán)境濕度 40% -45% )的工作間,裝有倒邊液和晶片的直筒放在石英晶片倒邊機(jī)上按照設(shè)置的轉(zhuǎn)速和時(shí)間轉(zhuǎn)動(dòng),經(jīng)過約12小時(shí)間,對(duì)倒邊液進(jìn)行更換,直到達(dá)到所需要的頻率,倒邊機(jī)上裝有定時(shí)器。
權(quán)利要求
1. 一種49U/S石英晶片倒邊工藝,其特征在于其工藝為將49U/S石英晶片放入直徑80-90mm、長(zhǎng)度350mm的直筒內(nèi),將倒邊研磨液也放入直筒內(nèi),再將直筒放在石英晶片倒邊機(jī)上,上轉(zhuǎn)速控制在90-100轉(zhuǎn)/分鐘,環(huán)境濕度 40% -45%、環(huán)境溫度25°C 士2°C,倒邊研磨液由碳化硅、水和防銹劑組成,其重量份配比為水1000碳化硅20-30防銹劑8-12。
全文摘要
一種49U/S石英晶片倒邊工藝,其工藝為:將49U/S石英晶片放入直徑80-90mm、長(zhǎng)度350mm的直筒內(nèi),將倒邊研磨液也放入直筒內(nèi),再將直筒放在石英晶片倒邊機(jī)上,上轉(zhuǎn)速控制在90-100轉(zhuǎn)/分鐘,砂號(hào)采用GC800#-1000#,環(huán)境濕度40%-45%、環(huán)境溫度25℃±2℃,倒邊研磨液由碳化硅、水和防銹劑組成,其重量份配比為水1000 碳化硅20-30 防銹劑8-12。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是提高了49U/S小公差晶片溫度特性的一致性,提高了生產(chǎn)效率,可用于8MHz-10MHz小公差晶片的倒邊加工。
文檔編號(hào)B24B9/06GK102335855SQ20111014652
公開日2012年2月1日 申請(qǐng)日期2011年6月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月2日
發(fā)明者張 杰 申請(qǐng)人:湖北東光電子股份有限公司
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