專利名稱：鍍膜傘架的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種鍍膜傘架。
背景技術(shù)：
鏡片放進(jìn)真空的蒸鍍(Vapor Deposition)裝置進(jìn)行蒸鍍前容易附著灰塵,其中帶電的灰塵可能會(huì)影響靶材離子 附著于鍍膜表面，影響鍍膜質(zhì)量，而即使不帶電的灰塵可能被所鍍膜層覆蓋，也影響鍍膜質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種可提高鏡片鍍膜質(zhì)量的鍍膜傘架。ー種鍍膜傘架，包括ー個(gè)本體及至少ー個(gè)離子風(fēng)裝置。該本體包括ー個(gè)第一表面及ー個(gè)背對(duì)該第一表面的第二表面，該本體具有多個(gè)貫穿該第一表面及該第二表面的容料通孔，各容料通孔用于收容ー個(gè)待鍍エ件并具有一個(gè)容該待鍍エ件進(jìn)入該容料通孔的入ロ，該入口位于該第一表面。該至少ー個(gè)離子風(fēng)裝置設(shè)置在該本體背離該第二表面ー側(cè)，并用于向背離該第二表面方向吹出離子風(fēng)，以在該多個(gè)待鍍エ件進(jìn)入該多個(gè)入口前向該多個(gè)待鍍エ件吹出離子風(fēng)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的鍍膜傘架中該至少ー個(gè)離子風(fēng)裝置可除去待鍍エ件上的灰塵及靜電，從而提高鏡片鍍膜的質(zhì)量。


圖I為本發(fā)明較佳實(shí)施方式的鍍膜傘架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的鍍膜傘架另ー個(gè)角度的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為圖I的鍍膜傘架的遮罩容置于固定通孔內(nèi)時(shí)的部分剖視圖。主要元件符號(hào)說明 鍍膜傘架11
待鍍鏡片22 待鍍面2a 背面2b 支架10 底板100 固定通孔102 內(nèi)壁104 容置孔106 安裝孔142 立柱120 橫柱140導(dǎo)軌160 本體20 第一表面20a 第二表面20b 容料通孔200 凸緣202 人口 204 遮罩30 凸起300 離子風(fēng)裝置40 驅(qū)動(dòng)裝置45 橫向線性馬達(dá)50 橫向定子500 橫向動(dòng)子502 縱向線性馬達(dá)60 縱向定子600 縱向動(dòng)子602 導(dǎo)塊604 導(dǎo)孔606 氣缸70 缸體700 活塞桿702
如下具體實(shí)施方式
將結(jié)合上述附圖進(jìn)ー步說明本發(fā)明。
具體實(shí)施例方式請(qǐng)參考圖I至圖3，本發(fā)明較佳實(shí)施方式的鍍膜傘架11用于盛放多個(gè)待鍍鏡片22。待鍍鏡片22包括一個(gè)需鍍膜的待鍍面2a及一個(gè)無需鍍膜且背離待鍍面2a的背面2b。鍍膜傘架11包括一個(gè)支架10、ー個(gè)本體20、一個(gè)遮罩30、多個(gè)離子風(fēng)裝置40及一個(gè)驅(qū)動(dòng)裝置45。支架10呈長(zhǎng)方體狀,其包括一個(gè)底板100、四個(gè)立柱120、兩個(gè)橫柱140及兩個(gè)導(dǎo)軌160。底板100呈方形，其中間開設(shè)有一個(gè)圓形的固定通孔102，底板100還具有ー個(gè)面向固定通孔102的內(nèi)壁104。內(nèi)壁104上開設(shè)有多個(gè)容置孔106，容置孔106呈圓柱形，其深度方向朝向固定通孔102的中心并且相對(duì)于內(nèi)壁104傾斜。四個(gè)立柱120垂直連接至底板100的四個(gè)角落。各橫柱140連接至支架10橫向的相鄰的兩個(gè)立柱120遠(yuǎn)離底板100的ー側(cè)，并且兩個(gè)橫柱140相對(duì)設(shè)置。各橫柱140在面向另ー橫柱140的表面上開設(shè)有兩個(gè)圓形的安裝孔142，且兩個(gè)安裝孔142位于橫柱140的兩端。各導(dǎo)軌160呈圓柱狀且其直徑略小于安裝孔142的直徑。本體20呈圓形且其直徑略小于固定通孔102的直徑。本體20包括ー個(gè)第一表面20a及一個(gè)背對(duì)第一表面20a的第二表面20b。本體20上開設(shè)有多個(gè)與待鍍鏡片22形狀對(duì)應(yīng)的容料通孔200。容料通孔200貫穿第一表面20a及第ニ表面20b。容料通孔200 —端自其內(nèi)壁(圖未標(biāo))垂直向外延伸出一圈凸緣202。容料通孔200未設(shè)置凸緣202的一端包括一個(gè)容待鍍鏡片22進(jìn)入的入口 204。容料通孔200用于容置待鍍鏡片22并使待鍍鏡片22承靠在凸緣202上。遮罩30呈圓形且其直徑略小于固定通孔102的直徑。遮罩30的一個(gè)圓形表面上開設(shè)有多個(gè)凸起300，凸起300的形狀與在該表面上的位置與容料通孔200靠近入ロ 204 —端的形狀及容料通孔200在本體20上的位置對(duì)應(yīng)。凸起300可容置于容料通孔200內(nèi)，而且當(dāng)凸起300容置于容料通孔200內(nèi)時(shí)，凸起300與凸緣202之間的距離大于等于待鍍鏡片22的厚度，即大于待鍍面2a與背面2b之間的距離。離子風(fēng)裝置40大致呈與容置孔106對(duì)應(yīng)的圓柱形，用于產(chǎn)生并向外噴射離子風(fēng)。在本實(shí)施方式中，離子風(fēng)裝置40為離子風(fēng)嘴。驅(qū)動(dòng)裝置45包括ー個(gè)橫向線性馬達(dá)50、ー個(gè)縱向線性馬達(dá)60及一個(gè)氣缸70。橫 向線性馬達(dá)50包括ー個(gè)橫向定子500及ー個(gè)橫向動(dòng)子502。橫向定子500大致呈長(zhǎng)條形且其長(zhǎng)度大于兩個(gè)橫柱140之間的距離，橫向動(dòng)子502滑動(dòng)設(shè)置在橫向定子500上，并且可在橫向定子500的驅(qū)動(dòng)下沿橫向定子500運(yùn)動(dòng)?？v向線性馬達(dá)60包括一個(gè)縱向定子600、一個(gè)縱向動(dòng)子602及兩個(gè)導(dǎo)塊604。縱向定子600大致呈長(zhǎng)條形?？v向動(dòng)子602滑動(dòng)設(shè)置在縱向定子600上，并且可在縱向定子600驅(qū)動(dòng)下而沿縱向定子600運(yùn)動(dòng)。各導(dǎo)塊604上開設(shè)有一個(gè)圓柱形的導(dǎo)孔606。兩個(gè)導(dǎo)塊604連接至縱向定子600兩端，并且兩個(gè)導(dǎo)孔606的軸向均與縱向定子600移動(dòng)的方向垂直。兩個(gè)導(dǎo)孔606之間的距離等于同個(gè)橫柱140上的兩個(gè)安裝孔142之間的距離。氣缸70包括一個(gè)缸體700及一個(gè)自缸體700向外延伸的活塞桿702。活塞桿702可由缸體700驅(qū)動(dòng)而靠近或遠(yuǎn)離缸體700。組裝時(shí)，將本體20通過焊接等方式固定在固定通孔102中，并且容料通孔200的凸緣202較入ロ 204遠(yuǎn)離橫柱140。同時(shí),容置孔106位于本體20背離第二表面20b —側(cè)。再將各離子風(fēng)裝置40設(shè)置在容置孔106中，并使各離子風(fēng)裝置40向背離第二表面20b的方向吹出離子風(fēng)。通常第一表面20a到各離子風(fēng)裝置40的出風(fēng)方向成5度至45度角。在本實(shí)施方式中，第一表面20a到各離子風(fēng)裝置40的出風(fēng)方向成15度角。然后將橫向定子500固定至兩個(gè)橫柱140的中間部位，并使橫向動(dòng)子502面向本體20。將橫向動(dòng)子502固定至縱向定子600的中間部位，并使縱向定子600面向本體20。再將兩個(gè)導(dǎo)軌160分別插入兩個(gè)導(dǎo)孔606中，將兩個(gè)導(dǎo)軌160固定至對(duì)應(yīng)的安裝孔142。此時(shí)兩個(gè)導(dǎo)軌160與橫向定子500平行，縱向定子600與橫向定子500垂直。將縱向動(dòng)子602固定至缸體700遠(yuǎn)離活塞桿702的ー側(cè)，并使得活塞桿702伸縮的方向與縱向定子600垂直。將活塞桿702垂直固定至遮罩30未設(shè)置凸起300的一面的中央。工作時(shí)，通常使支架10的底板100水平放置在一個(gè)鍍膜裝置(圖未示)的鍍膜腔內(nèi)，并且第二表面20b面向祀材(圖未不)。遮罩30位于一個(gè)不遮罩本體20的位置。開啟離子風(fēng)裝置40，此時(shí)各離子風(fēng)裝置40相對(duì)第一表面20a傾斜向上15度向本體20的中心噴射出離子風(fēng)。將待鍍鏡片22放置到容料通孔200中。放置過程中，待鍍鏡片22，尤其是待鍍面2b受到離子風(fēng)吹襲，其上的灰塵及靜電被離子風(fēng)吹走。待鍍鏡片22最終經(jīng)過入口 204承靠在凸緣202上。橫向線性馬達(dá)50先驅(qū)動(dòng)縱向線性馬達(dá)60以帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)氣缸70及遮罩30沿橫向定子500方向移動(dòng)至橫向定子500中間，縱向線性馬達(dá)60再驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)氣缸70及遮罩30沿縱向定子600方向移動(dòng)至縱向定子600中間，此時(shí)遮罩30位于固定通孔102的正上方。氣缸70再驅(qū)動(dòng)遮罩30向下移動(dòng)以覆蓋第一表面20a。在這個(gè)過程中，遮罩30也受到離子風(fēng)的吹襲而被除去其上的灰塵及靜電。遮罩30最終移動(dòng)至固定通孔102中，而且凸起300移動(dòng)至容料通孔200中而覆蓋待鍍鏡片22的背面2b。此時(shí)離子風(fēng)裝置40可以停止工作。然后，再對(duì)鍍膜腔進(jìn)行抽真空及鍍膜。鍍膜過程中，由于驅(qū)動(dòng)遮罩30與固定通孔102相互匹配，靶材離子無法輕易進(jìn)入固定通孔中。另外，由于凸起300與容料通孔200相互匹配，進(jìn)入到固定通孔102中的 靶材離子更加無法輕易進(jìn)入容料通孔200中去污染待鍍鏡片22的背面2b?？梢岳斫?，在設(shè)計(jì)整個(gè)鍍膜裝置(圖未示)的時(shí)候，也可以將本體20及驅(qū)動(dòng)裝置45固定至鍍膜裝置的鍍膜腔體的內(nèi)壁，此時(shí)支架10便可不必設(shè)置?？梢岳斫猓O(shè)置在固定通孔102中的離子風(fēng)裝置40只要能朝背離第二表面20b的方向噴射離子風(fēng)，以清潔待鍍鏡片22的待鍍表面便可，其深度方向也可不必朝向固定通孔102的中心?？梢岳斫?，在容料通孔200可承靠待鍍鏡片22的情況下，其也可不必設(shè)置凸緣202。如，容料通孔呈倒置的臺(tái)形，并且其上方開ロ大于待鍍鏡片22而下方開ロ小于待鍍鏡片22時(shí)，也可承靠待鍍鏡片22?？梢岳斫?，遮罩30也可由人工挾持，此時(shí)也可不必設(shè)置驅(qū)動(dòng)裝置45。最后，還應(yīng)指出，鍍膜傘架11也可用于盛放其它需鍍膜的エ件，不限于本實(shí)施方式的待鍍鏡片22。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，以上的實(shí)施方式僅是用來說明本發(fā)明，而并非用作為對(duì)本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神范圍之內(nèi)，對(duì)以上實(shí)施例所作的適當(dāng)改變和變化都落在本發(fā)明要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.ー種鍍膜傘架，包括 ー個(gè)本體，該本體包括ー個(gè)第一表面及ー個(gè)背對(duì)該第一表面的第二表面，該本體具有多個(gè)貫穿該第一表面及該第二表面的容料通孔，各容料通孔用于收容ー個(gè)待鍍エ件并具有一個(gè)容該待鍍エ件進(jìn)入該容料通孔的入ロ，該入口位于該第一表面；及 至少ー個(gè)離子風(fēng)裝置，該至少ー個(gè)離子風(fēng)裝置設(shè)置在該本體背離該第二表面ー側(cè)，并用于向背離該第二表面方向吹出離子風(fēng)，以在該多個(gè)待鍍エ件進(jìn)入該多個(gè)入口前向該多個(gè)待鍍エ件吹出尚子風(fēng)。
2.如權(quán)利要求I所述的鍍膜傘架，其特征在于，該第一表面到各離子風(fēng)裝置的出風(fēng)方向成5度至45度角。
3.如權(quán)利要求I所述的鍍膜傘架，其特征在于，該第一表面到各離子風(fēng)裝置的出風(fēng)方向成15度角。
4.如權(quán)利要求I所述的鍍膜傘架，其特征在于，該鍍膜傘架還包括一個(gè)與該第一表面對(duì)應(yīng)且相對(duì)于該第一表面移動(dòng)設(shè)置的遮罩，該遮罩位于本體遠(yuǎn)離該第二表面ー側(cè)，用于在該多個(gè)エ件進(jìn)入該多個(gè)容料通孔后向該第一表面移動(dòng)直至遮蓋該第一表面。
5.如權(quán)利要求4所述的鍍膜傘架，其特征在干，該遮罩包括多個(gè)凸起，該多個(gè)凸起的與該多個(gè)容料通孔的位置及形狀對(duì)應(yīng)，用于在該遮照遮蓋該第一表面時(shí)封閉該多個(gè)容料通孔。
6.如權(quán)利要求4所述的鍍膜傘架，其特征在干，該鍍膜傘架還包括ー個(gè)支架，該支架包括ー個(gè)底板，該底板開設(shè)有一個(gè)與該本體對(duì)應(yīng)的固定通孔，該本體收容于該固定通孔內(nèi)。
7.如權(quán)利要求6所述的鍍膜傘架，其特征在于，該底板還具有ー個(gè)面向該固定通孔的內(nèi)壁，該內(nèi)壁開設(shè)有至少ー個(gè)容置孔，該至少ー個(gè)容置孔位于該本體背離該第二表面ー側(cè)，該至少ー個(gè)離子風(fēng)裝置設(shè)置在對(duì)應(yīng)的容置孔中。
8.如權(quán)利要求6所述的鍍膜傘架，其特征在干，該鍍膜傘架還包括一個(gè)設(shè)置于該支架上的驅(qū)動(dòng)裝置，用于驅(qū)動(dòng)該遮罩移動(dòng)至該第一表面。
9.如權(quán)利要求8所述的鍍膜傘架，其特征在干，該驅(qū)動(dòng)裝置包括ー個(gè)氣缸，該氣缸包括一個(gè)缸體及ー個(gè)活塞桿,該缸體設(shè)置在該遮罩遠(yuǎn)離該本體ー側(cè)，該活塞桿由該缸體驅(qū)動(dòng)并固定至該遮罩，該氣缸用于驅(qū)動(dòng)該遮罩在該本體的軸線方向上移動(dòng)。
10.如權(quán)利要求9所述的鍍膜傘架，其特征在干，該驅(qū)動(dòng)裝置還包括一個(gè)縱向線性馬達(dá)，該縱向線性馬達(dá)包括ー個(gè)縱向定子及ー個(gè)縱向動(dòng)子，該縱向定子呈長(zhǎng)條狀，架設(shè)在該氣缸遠(yuǎn)離該遮罩ー側(cè)，該縱向動(dòng)子滑動(dòng)設(shè)置在該縱向定子上，并且可在該縱向定子的驅(qū)動(dòng)下沿該縱向定子運(yùn)動(dòng)；該縱向動(dòng)子還連接至該缸體，該縱向定子垂直于該活塞桿伸縮的方向。
11.如權(quán)利要求10所述的鍍膜傘架，其特征在干，該驅(qū)動(dòng)裝置還包括ー個(gè)橫向線性馬達(dá)，該橫向線性馬達(dá)包括ー個(gè)橫向定子及ー個(gè)橫向動(dòng)子，該橫向定子呈長(zhǎng)條狀，架設(shè)在該縱向線性馬達(dá)背離該縱向線性馬達(dá)ー側(cè)，該橫向動(dòng)子滑動(dòng)設(shè)置在該橫向定子上，并且可在該橫向定子的驅(qū)動(dòng)下沿該橫向定子運(yùn)動(dòng)；橫向動(dòng)子還連接至該縱向定子，該橫向定子垂直于該活塞桿伸縮的方向并且垂直于該縱向定子。
12.如權(quán)利要求11所述的鍍膜傘架，其特征在于，該支架還包括四個(gè)立柱、兩個(gè)橫柱及兩個(gè)導(dǎo)軌，該四個(gè)立柱均垂直固定至該底板的周圍，該兩個(gè)橫柱相對(duì)設(shè)置并且分別固定至對(duì)應(yīng)的兩個(gè)立柱，各導(dǎo)軌連接至該兩個(gè)橫柱，該兩個(gè)導(dǎo)軌設(shè)置在該橫向定子的兩側(cè)并與該橫向定子 平行；該縱向線性馬達(dá)還包括兩個(gè)固定在該縱向定子兩端的導(dǎo)塊，各導(dǎo)塊連接至對(duì)應(yīng)的一個(gè)導(dǎo)軌對(duì)應(yīng)并可沿該導(dǎo)軌滑動(dòng)。
全文摘要
一種鍍膜傘架，包括一個(gè)本體及至少一個(gè)離子風(fēng)裝置。該本體包括一個(gè)第一表面及一個(gè)背對(duì)該第一表面的第二表面，該本體具有多個(gè)貫穿該第一表面及該第二表面的容料通孔，各容料通孔用于收容一個(gè)待鍍工件并具有一個(gè)容該待鍍工件進(jìn)入該容料通孔的入口，該入口位于該第一表面。該至少一個(gè)離子風(fēng)裝置設(shè)置在該本體背離該第二表面一側(cè)，并用于向背離該第二表面方向吹出離子風(fēng)，以在該多個(gè)待鍍工件進(jìn)入該多個(gè)入口前向該多個(gè)待鍍工件吹出離子風(fēng)。如此，可提高工件鍍膜的質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/22GK102828153SQ20111016202
公開日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2011年6月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月16日
發(fā)明者裴紹凱 申請(qǐng)人:鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司, 鴻海精密工業(yè)股份有限公司