專利名稱：用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種配電裝置，尤其涉及一種用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置。
背景技術(shù)：
目前生產(chǎn)鍍膜玻璃的設(shè)備中大多采用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內(nèi)，真空鍍膜室內(nèi)通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮氣或氬氣，在電磁場及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負電壓的陰極的吸引下，在磁場的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內(nèi)的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現(xiàn)有的配電裝置采用了一體式的構(gòu)造無法進行分離，由此導(dǎo)致了后續(xù)維護困難，提升了制造與維護成本。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題，提供一種用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置。為實現(xiàn)本發(fā)明的目的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭，其中所述的導(dǎo)電桿頭頂端設(shè)置有容納槽，所述的容納槽內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。進一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，其中，所述的電極碳刷組件包括有電極環(huán)，所述的電極環(huán)外圓周上分布有石墨片。采用本發(fā)明技術(shù)方案，實現(xiàn)了分離式的構(gòu)造，便于后續(xù)的維護與替換。同時，能夠有效適應(yīng)旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的目的、優(yōu)點和特點，將通過下面優(yōu)先實施例的非限制性說明進行圖示和解釋，這些實施例是參照附圖僅作為例子給出的。


圖1是導(dǎo)電桿頭的構(gòu)造示意圖； 圖2是電極環(huán)的構(gòu)造示意圖3是旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置的構(gòu)造示意圖。
具體實施例方式如圖1 3所示的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭1，其特別之處在于 本發(fā)明所采用的導(dǎo)電桿頭1頂端設(shè)置有容納槽2。同時，在容納槽2內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。結(jié)合本發(fā)明一較佳的實施方式來看，為了便于實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)靶后續(xù)的順暢運轉(zhuǎn)，同時也為了滿足配電過程中的電流穩(wěn)定，在電極碳刷組件包括有電極環(huán)3，所述的電極環(huán)3外圓周上分布有石墨片4。進一步來看，通過多次對比試驗后發(fā)現(xiàn)石墨片4之間等距離分布后能夠?qū)⒄w的配電效果維持在較為優(yōu)化的狀態(tài)，有利于鍍膜中靶材組件的運作。通過上述的文字表述并結(jié)合附圖可以看出，采用本發(fā)明后，實現(xiàn)了分離式的構(gòu)造， 便于后續(xù)的維護與替換。同時，能夠有效適應(yīng)旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉(zhuǎn)。當然，以上僅是本發(fā)明的具體應(yīng)用范例，對本發(fā)明的保護范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實施例外，本發(fā)明還可以有其它實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明所要求保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭，其特征在于所述的導(dǎo)電桿頭頂端設(shè)置有容納槽，所述的容納槽內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，其特征在于所述的電極碳刷組件包括有電極環(huán)，所述的電極環(huán)外圓周上分布有石墨片。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭，特點是導(dǎo)電桿頭頂端設(shè)置有容納槽，容納槽內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。由此，實現(xiàn)了分離式的構(gòu)造，便于后續(xù)的維護與替換。同時，能夠有效適應(yīng)旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉(zhuǎn)。
文檔編號C23C14/34GK102251223SQ20111017714
公開日2011年11月23日 申請日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月28日
發(fā)明者黃峰 申請人:黃峰