專利名稱：一種pecvd真空腔體間內(nèi)置封合裝置的制作方法
—種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明關(guān)于一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，特別關(guān)于一種PECVD真空腔體間封合用，以區(qū)隔不同程度的真空范圍。
技術(shù)背景
當(dāng)前，PECVD真空腔體封合裝置大都使用外置式封合裝置，也就是需要制作一小型真空腔體用以裝置封合機(jī)構(gòu)，此舉不僅增加設(shè)備投入成本，也同時(shí)加長(zhǎng)設(shè)備的總長(zhǎng)度，使其在用運(yùn)用時(shí)會(huì)被客戶的廠房面積限制，于是本創(chuàng)作鑒于現(xiàn)有真空封合裝置設(shè)計(jì)上有上述諸多缺失，乃藉其多年于相關(guān)領(lǐng)域的制造及設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和知識(shí)的輔佐，并經(jīng)多方巧思，針對(duì)現(xiàn)有真空封合裝置動(dòng)作更新的研發(fā)，而研創(chuàng)出本創(chuàng)作
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明在于提供一種PEC VD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其主要目的系為了提供一種真空腔體間內(nèi)置封合裝置，節(jié)省建置成本，同時(shí)后續(xù)保養(yǎng)為后也相當(dāng)簡(jiǎn)單。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其特征在于一氣壓缸、直向移動(dòng)齒輪、圓形齒輪、連桿、封合板致動(dòng)片、封合板、封合板密封圈及連桿固定座所組成，通過(guò)外部氣壓缸帶動(dòng)齒輪組，使齒輪組在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，又齒輪組連接一連桿，連趕上設(shè)置有致動(dòng)塊，用以鎖固真空封合板，使封合板能隨齒輪組旋轉(zhuǎn)做 90度的上下開合動(dòng)作，達(dá)到真空腔體間的封合，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝容易，且完全不需電動(dòng)力進(jìn)行封合板的驅(qū)動(dòng)，對(duì)于后續(xù)使用的可靠度相當(dāng)高，又同時(shí)設(shè)置于真空腔體內(nèi)，不需額外在制作一小腔體放置封合裝置，大幅減少真空濺鍍線的產(chǎn)線總長(zhǎng)度，大幅減少設(shè)備投入成本。
本發(fā)明有益效果為1.本發(fā)明連軸器及連軸桿進(jìn)行動(dòng)力的傳遞，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
2.本發(fā)明利用氣壓缸做為主動(dòng)力來(lái)源，后續(xù)不需要維護(hù)保養(yǎng)，節(jié)省保養(yǎng)成本。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。
請(qǐng)參閱

圖1所示，為一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其包括一氣壓缸11、直向移動(dòng)齒輪12、圓形齒輪13、連桿14、封合板致動(dòng)片15、封合板16、封合板密封圈17及連桿固定座18所組成。據(jù)此，當(dāng)使用實(shí)施時(shí)請(qǐng)參閱圖2所示，氣壓缸11以氣壓源驅(qū)動(dòng)，使其活塞桿進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，直向移動(dòng)齒輪12固定于氣壓缸活塞桿上，隨著活塞移動(dòng)而進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，又同時(shí)圓形齒輪13與直向移動(dòng)齒輪12密接，當(dāng)直向齒輪12伸縮移動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)圓形齒輪13在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，連桿14固定于連桿固定座18，連桿14設(shè)置有4片封合板致動(dòng)片 15，封合板16鎖固于封合板致動(dòng)片15上，又封合板上設(shè)置封合板密封圈17，當(dāng)連桿14旋轉(zhuǎn)時(shí)，封合板致動(dòng)片15可帶動(dòng)封合板16做開合移動(dòng)，當(dāng)閉合時(shí)封合板密封圈17可進(jìn)行密封動(dòng)作。
再著，本發(fā)明以氣壓缸作為動(dòng)力來(lái)源，以齒輪組最為驅(qū)動(dòng)裝置，于動(dòng)作結(jié)束時(shí)，齒輪組可互相固定不致于因壓力不同而產(chǎn)生密封不良的結(jié)果，且于系統(tǒng)斷電時(shí)氣壓缸也可因氣源而維持上一個(gè)狀態(tài)結(jié)束狀態(tài)，不致于產(chǎn)生因斷電而失去動(dòng)力來(lái)源的副作用。
本發(fā)明在突破先前之技術(shù)結(jié)構(gòu)下，確實(shí)已達(dá)到所欲增進(jìn)之功效，且也非熟悉該項(xiàng)技藝者所于思及，其所具之進(jìn)步性、實(shí)用性，顯已符合發(fā)明專之申請(qǐng)要件，惟上詳細(xì)說(shuō)明系針對(duì)本發(fā)明之一可實(shí)施之具體說(shuō)明，該實(shí)施并非用以限制本發(fā)明之專范圍，而凡未脫離本發(fā)明技藝精神所為之等效實(shí)施或變，均應(yīng)包含于本案之專范圍中。
圖1系為本發(fā)明之一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置示意圖。圖2系為本發(fā)明之一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置動(dòng)作示意圖。主要組件符號(hào)說(shuō)明11...氣壓缸12 ...直向移動(dòng)齒輪13...圓形齒輪14...連桿15...封合板致動(dòng)片16...封合板17... 封合板密封圈18...連桿固定座。
權(quán)利要求
1.一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其特徵在于一氣壓缸11、直向移動(dòng)齒輪12、 圓形齒輪13、連桿14、封合板致動(dòng)片15、封合板16、封合板密封圈17及連桿固定座18所組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其中氣壓缸11以氣壓源驅(qū)動(dòng)，使其活塞桿進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其中直向移動(dòng)齒輪12 固定于氣壓缸活塞桿上，隨著活塞移動(dòng)而進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，又同時(shí)圓形齒輪13與直向移動(dòng)齒輪12密接，當(dāng)直向齒輪12伸縮移動(dòng)時(shí)可帶動(dòng)圓形齒輪13在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其中連桿14固定于連桿固定座18。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述之一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，其中連桿14設(shè)置有 4片封合板致動(dòng)片15，封合板16鎖固于封合板致動(dòng)片15上，又封合板上設(shè)置封合板密封圈 17，當(dāng)連桿14旋轉(zhuǎn)時(shí)，封合板致動(dòng)片15可帶動(dòng)封合板16做開合移動(dòng)，當(dāng)閉合時(shí)封合板密封圈17可進(jìn)行密封動(dòng)作。
全文摘要
本發(fā)明系提供一種PECVD真空腔體間內(nèi)置封合裝置，通過(guò)外部氣壓缸帶動(dòng)齒輪組，使齒輪組在一定范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)，又齒輪組連接一連桿，連趕上設(shè)置有致動(dòng)塊，用以鎖固真空封合板，使封合板能隨齒輪組旋轉(zhuǎn)做90度的上下開合動(dòng)作，達(dá)到真空腔體間的封合，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝容易，且完全不需電動(dòng)力進(jìn)行封合板的驅(qū)動(dòng)，對(duì)于后續(xù)使用的可靠度相當(dāng)高，又同時(shí)設(shè)置于真空腔體內(nèi)，不需額外在制作一小腔體放置封合裝置，大幅減少真空濺鍍線的產(chǎn)線總長(zhǎng)度，大幅減少設(shè)備投入成本。
文檔編號(hào)C23C16/44GK103014657SQ20111028254
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2011年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月22日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請(qǐng)人:吉富新能源科技(上海)有限公司