專利名稱：一種光掩膜板拋邊裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種拋邊裝置，尤其是涉及一種光掩膜板拋邊裝置。
背景技術(shù)：
光掩膜板是半導(dǎo)體行業(yè)芯片光刻的基板。而光掩膜板的基板原先均由日本壟斷生 產(chǎn)，其加工要求十分精密，除了玻璃基板的平面度、平行度、表面光潔度外，對外形的倒邊拋 光要求更是難度高，勞動強度大，而且產(chǎn)能很低，阻礙了玻璃基板的加工。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷而提供一種結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)備 成本低的光掩膜板拋邊裝置。
本發(fā)明的目的可以通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)
一種光掩膜板拋邊裝置，其特征在于，包括電機、機座、機架、磨輪、靠模機構(gòu)和支 撐結(jié)構(gòu)，所述的機架固定在機座上，所述的靠模機構(gòu)位于機架的一側(cè)，所述的電機和磨輪固 定在機架另一側(cè)的支撐結(jié)構(gòu)上，所述的磨輪設(shè)在電機的正下方。
所述的靠模機構(gòu)包括靠模、靠模滑板、靠模滑軌，所述的靠?；壈惭b于機架的一 側(cè)，所述的靠?；蹇苫瑒拥乃桨惭b在靠?；壣?，所述的靠模安裝在靠模滑板上。
所述的靠模為90°靠模。
所述的支撐結(jié)構(gòu)包括滑板和滑軌，所述的滑板與滑軌水平滑動連接，所述的電機 和磨輪安裝在滑板上。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明通過靠模的方式來實現(xiàn)對產(chǎn)品的加工，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)備成 本低，操作簡單，產(chǎn)品加工精度高。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細說明。
如圖1所不,一種光掩膜板拋邊裝置,包括機座1、機架2、電機3、磨輪4、靠模機構(gòu) 5和支撐結(jié)構(gòu)6。機架2固定在機座I上；靠模機構(gòu)5位于機架2的一側(cè),包括靠模7、靠模 滑板8、靠?；?，靠模滑軌9，靠模滑板8可滑動的水平安裝在靠?；?上，靠模7為 90°靠模，安裝在靠模滑板8上；支撐結(jié)構(gòu)6位于機架2的另一側(cè),包括滑板10和滑軌11, 滑板10與滑軌11水平滑動連接，電機3和磨輪4安裝在滑板10上，所述的磨輪4在電機 3的正下方。
權(quán)利要求
1.一種光掩膜板拋邊裝置，其特征在于，包括電機、機座、機架、磨輪、靠模機構(gòu)和支撐結(jié)構(gòu)，所述的機架固定在機座上，所述的靠模機構(gòu)位于機架的一側(cè)，所述的電機和磨輪固定在機架另一側(cè)的支撐結(jié)構(gòu)上，所述的磨輪設(shè)在電機的正下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光掩膜板拋邊裝置，其特征在于，所述的靠模機構(gòu)包括靠模、靠?；濉⒖磕；墸龅目磕；壈惭b于機架的一側(cè)，所述的靠?；蹇苫瑒拥乃桨惭b在靠模滑軌上，所述的靠模安裝在靠?；迳稀?br> 3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光掩膜板拋邊裝置，其特征在于，所述的靠模為90°靠模。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種光掩膜板拋邊裝置，其特征在于，所述的支撐結(jié)構(gòu)包括滑板和滑軌，所述的滑板與滑軌水平滑動連接，所述的電機和磨輪安裝在滑板上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種光掩膜板拋邊裝置，包括電機、機座、機架、磨輪、靠模機構(gòu)和支撐結(jié)構(gòu)，所述的機架固定在機座上，所述的靠模機構(gòu)位于機架的一側(cè)，所述的電機和磨輪固定在機架另一側(cè)的支撐結(jié)構(gòu)上，所述的磨輪設(shè)在電機的正下方；所述的靠模機構(gòu)包括靠模、靠?；?、靠?；?，所述的靠模滑軌安裝于機架的一側(cè)，所述的靠?；蹇苫瑒拥乃桨惭b在靠模滑軌上，所述的靠模安裝在靠?；迳?。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)備成本低等優(yōu)點。
文檔編號B24B9/06GK103009205SQ20111030126
公開日2013年4月3日 申請日期2011年9月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月28日
發(fā)明者姚建明 申請人:上海雙明光學(xué)科技有限公司