專利名稱：有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空熱蒸發(fā)工藝設(shè)備，特別是涉及一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件。
背景技術(shù)：
有機半導(dǎo)體技術(shù)由于其低成本、可柔性、易于大面積成膜等特點而成為當(dāng)前研究開發(fā)的熱點，基于有機半導(dǎo)體材料的有機發(fā)光、有機太陽能、有機薄膜晶體管、有機激光、有機存儲、有機傳感器等近年來都在快速的發(fā)展中。有機半導(dǎo)體材料有小分子和聚合物兩種， 有機小分子器件一般采用真空熱蒸發(fā)技術(shù)制備，而聚合物器件一般采用溶液法制備，由于技術(shù)的相對成熟，基于真空熱蒸發(fā)工藝的有機小分子器件近年來得到了相對較快的發(fā)展。有機小分子器件的制備過程一般是在高真空(10_3Pa I(T7Pa)環(huán)境下，通過加熱石英或陶瓷坩堝內(nèi)的有機材料使其熔化、揮發(fā)，從而沉積到坩堝上方的基片上，對于有機材料的真空熱蒸發(fā)工藝來說，最重要的是在基片上形成均勻分布的有機薄膜，因此，各種提高有機薄膜均勻性的坩堝技術(shù)應(yīng)運而生，包括有線性蒸發(fā)源技術(shù)，以及在坩堝上加上一層具有一定空間分布的出料孔的上蓋等，在充分考慮真空中粒子宏觀運動規(guī)律的基礎(chǔ)上，通過蒸發(fā)源的加長、出料孔的合理空間位置分布，來達(dá)到提高有機薄膜均勻性的目的。然而，在現(xiàn)有的技術(shù)中，缺乏避免坩堝形狀引起的薄膜均勻性變差的合理設(shè)計，研究發(fā)現(xiàn)，真空中粒子的運動與坩堝的形狀、深度、開口大小密切相關(guān)，由于工業(yè)生產(chǎn)中每次加料比較多，坩堝必須具有一定的容量與深度，因此，當(dāng)坩堝深度太深而開口不夠大時所引起的薄膜均勻變差的現(xiàn)象，將隨著基片尺寸、坩堝尺寸的越來越大而更加明顯。鑒于此，實有必要設(shè)計一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，用于解決上述技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本發(fā)明的目的在于提供一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中因坩堝形狀引起的有機薄膜均勻性變差的問題。為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件， 該坩堝組件包括坩堝本體以及三層蓋板；所述三層蓋板包括設(shè)置在坩堝口的底層蓋板、位于底層蓋板上的中層蓋板以及位于中層蓋板上的頂層蓋板；所述底層蓋板上設(shè)有若干通孔；所述中層蓋板上至少設(shè)有一個微腔室；所述頂層蓋板上至少設(shè)有一個出料孔；所述出料孔和通孔均與所述微腔室貫通；所述出料孔和通孔在同一水平面上的投影不重疊。優(yōu)選地，所述通孔1011與出料孔1031在同一水平面上投影的間距d滿足的關(guān)系如下
權(quán)利要求
1.一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于，該坩堝組件包括坩堝本體(100) 以及三層蓋板；所述三層蓋板包括設(shè)置在坩堝口的底層蓋板(101)、位于底層蓋板上的中層蓋板(102)以及位于中層蓋板上的頂層蓋板(10 ；所述底層蓋板上設(shè)有若干通孔 (1011)；所述中層蓋板上至少設(shè)有一個微腔室(1021)；所述頂層蓋板上至少設(shè)有一個出料孔(1031)；所述出料孔(1031)和通孔(1011)均與所述微腔室(1021)貫通；所述出料孔 (1031)和通孔(1011)在同一水平面上的投影不重疊。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于所述通孔(1011) 與出料孔(1031)在同一水平面上投影的間距d滿足的關(guān)系如下
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于所述頂層蓋板厚度為0. 05mm，所述出料孔(1031)的孔徑為0. 3mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于所述中層蓋板的厚度為0. 05mm，所述微腔室為圓柱體，其橫截面的直徑為2. 5mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于所述底層蓋板的厚度為0. Imm,所述通孔大小相等，數(shù)目為四個，呈中心對稱排列。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于所述通孔直徑為 0. 5mmο
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，其特征在于所述頂層蓋板、中層蓋板以及底層蓋板的材料為金屬材料或者具有傳熱性的絕緣材料。
全文摘要
本發(fā)明提供一種有機小分子熱蒸發(fā)坩堝組件，該坩堝組件包括坩堝本體(100)以及三層蓋板；所述三層蓋板包括設(shè)置在坩堝口的底層蓋板(101)、位于底層蓋板上的中層蓋板(102)以及位于中層蓋板上的頂層蓋板(103)；所述底層蓋板上設(shè)有若干通孔(1011)；所述中層蓋板上至少設(shè)有一個微腔室(1021)；所述頂層蓋板上至少設(shè)有一個出料孔(1031)；所述出料孔(1031)和通孔(1011)均與所述微腔室(1021)貫通；所述出料孔(1031)和通孔(1011)在同一水平面上的投影不重疊。本發(fā)明有效的解決了現(xiàn)有技術(shù)中因坩堝形狀引起的有機薄膜均勻性變差的問題。
文檔編號C23C14/24GK102392219SQ20111041716
公開日2012年3月28日 申請日期2011年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月14日
發(fā)明者容佳玲, 張建華, 曹進(jìn), 王立 申請人:上海大學(xué)