專利名稱：一種蝕刻機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特指一種蝕刻機。
背景技術(shù)：
隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展，印刷電路板集成度越來越高，印刷電路板的導電線路制作得越來越精細，這要求生產(chǎn)制作印刷電路板時要保證控制嚴格，減少公差，均勻性要好?，F(xiàn)有的濕式印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備的成本較低、操作簡單，在印刷電路板的生產(chǎn)中得以廣泛使用。印刷電路板生產(chǎn)的基本工序一般包括顯影過程、蝕刻過程和退膜過程，顯影過程是指采用顯影液將膜上未經(jīng)紫外線輻射的部分溶解，已經(jīng)紫外線輻射而發(fā)生聚合反應(yīng)的部分保留；蝕刻過程是指采用蝕刻液將印刷電路板上未被保護膜保護而露出的銅蝕刻掉；退膜過程是指將印刷電路板上的保護膜去掉，露出已加工好的線路。然而，在制作印刷電路板的過程中，往往會發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有的印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備存在以下的不足。1、顯影、蝕刻和退膜等工藝不能同時集中在同一臺設(shè)備上，不能達到一次完成的生產(chǎn)要求，同時自動化程度低，生產(chǎn)設(shè)備上缺乏控制系統(tǒng)，導致設(shè)備上的諸多調(diào)整需要人工操作，使工作效率降低。2、印刷電路板傳送的過程中，容易發(fā)生打滑、偏移等問題，導致傳輸?shù)男Ч档停?影響顯影、蝕刻和退膜效果。3、在蝕刻的過程中由于設(shè)備的結(jié)構(gòu)設(shè)計不合理，使蝕刻液自電路板的邊緣區(qū)流出板外，而電路板的中央?yún)^(qū)域積留，形成水池，產(chǎn)生水池效應(yīng)。4、隨著印刷電路板生產(chǎn)規(guī)模不斷擴大，從中自然會產(chǎn)生諸多廢棄物，由于現(xiàn)有的印刷電路板生產(chǎn)設(shè)備的過濾回收效果差和設(shè)計不合理，該廢棄物對室內(nèi)和室外環(huán)境的污染已經(jīng)嚴重影響工作和生活環(huán)境，同時廢棄物中具有諸多可循環(huán)利用的原料，造成了浪費和生產(chǎn)成本的升高。因此，有必要設(shè)計一種集顯影、蝕刻和退膜等工藝為一體、設(shè)計合理、制板和過濾回收效果良好的自動化蝕刻機。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足提供一種蝕刻機，它結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，集顯影、蝕刻和退膜等工藝為一體，制板和過濾回收效果良好，自動化程度高。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的。一種蝕刻機，其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進板機構(gòu)、顯影機構(gòu)、蝕刻機構(gòu)、退膜機構(gòu)、脫水烘干機構(gòu)和出板機構(gòu)，所述進板機構(gòu)、所述顯影機構(gòu)、所述蝕刻機構(gòu)、所述退膜機構(gòu)、所述脫水烘干機構(gòu)和所述出板機構(gòu)通過獨立設(shè)置的傳動裝置連接，所述顯影機構(gòu)、所述蝕刻機構(gòu)和所述退膜機構(gòu)分別連接有分段式排氣裝置、過濾裝置以及泵裝置。進一步的，所述顯影機構(gòu)包括依次設(shè)置的顯影室和第一清洗室，所述顯影室內(nèi)設(shè)置有儲存顯影液體的顯影槽和搖擺架噴淋裝置；所述第一清洗室內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽和復數(shù)個位于傳動裝置上下方的清洗噴嘴。進一步的，所述蝕刻機構(gòu)包括依次設(shè)置的蝕刻室、補償室和第二清洗室，所述蝕刻室與所述補償室通過液體管道連接，所述蝕刻室設(shè)置有儲存蝕刻液體的蝕刻槽和搖擺架噴淋裝置；所述補償室設(shè)置有補償裝置，補償裝置由復數(shù)根上噴管和復數(shù)根下噴管構(gòu)成，上噴管和下噴管分別通過氣閥與進水管連接，上噴管和下噴管分別設(shè)置有復數(shù)個補償噴嘴，相鄰的上噴管之間的噴嘴交錯排布，復數(shù)根所述上噴管的噴嘴形成三角型排布，氣閥與進水管之間連接有壓力表；所述第二清洗室設(shè)置有第二清洗槽和復數(shù)個位于傳動裝置上下方的清洗噴嘴。進一步的，所述搖擺架噴淋裝置由搖擺架和壓力控制裝置構(gòu)成，搖擺架通過上接軟管和下接軟管與壓力控制裝置相連接，所述搖擺架包括上噴架和下噴架，所述上噴架和所述下噴架通過搖臂連接，上噴架的板面和下噴架的板面上分別設(shè)置有復數(shù)個出水口，所述出水口是均勻分布的，出水口上設(shè)置有噴嘴，上噴架固定連接有拉臂，拉臂設(shè)置有偏心塊，偏心塊與馬達連接軸連接，搖臂中部設(shè)置有固定銷；所述壓力控制裝置包括壓力表和球閥。進一步的，所述退膜機構(gòu)包括依次設(shè)置的退膜室和第三清洗室，所述退膜室設(shè)置有儲存退膜液體的退膜槽和噴灑裝置，所述噴灑裝置設(shè)置有噴管和噴嘴，噴嘴由噴嘴座、噴頭和噴嘴蓋組成，噴頭設(shè)置于噴嘴座內(nèi)，噴嘴蓋連接于噴嘴座，噴嘴座通過前夾扣和后夾扣固定在噴管沿長度方向設(shè)置的出水孔上，前夾扣和后夾扣通過螺栓連接；所述第三清洗室內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽和復數(shù)個位于傳動裝置上下方的清洗噴嘴。進一步的，所述脫水烘干機構(gòu)包括依次設(shè)置的冷風吹干裝置和熱風烘干裝置，所述熱風烘干裝置設(shè)置有鼓風機、熱風分支器和熱風管，鼓風機和熱風分支器位于傳送裝置的下方，所述傳送裝置的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風刀裝置。進一步的，所述傳動裝置包括安裝架，在安裝架上設(shè)置有復數(shù)條上傳送軸和復數(shù)條下傳送軸，上傳送軸位于下傳送軸正上方，上傳送軸上設(shè)置有復數(shù)個上傳送輪，下傳送軸上設(shè)置有復數(shù)個與上傳送輪相對應(yīng)的下傳送輪，上傳送軸和下傳送軸通過上傳送齒輪和下傳送齒輪嚙合，安裝架一側(cè)的第一傳送主軸上設(shè)置有主傳送齒輪，下傳送齒輪與主傳送齒輪嚙合連接，第一傳送主軸與電機相鏈接，所述安裝架另一側(cè)還設(shè)置有第二傳送主軸，第二傳送主軸設(shè)置有主傳送齒輪，主傳送齒輪與下傳送軸另一側(cè)的下傳送齒輪嚙合。進一步的，所述排氣裝置包括排氣管、排氣管調(diào)節(jié)裝置、支撐架和至少一個冷凝回收裝置，所述排氣管調(diào)節(jié)裝置設(shè)置有連接管，連接管上設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕，調(diào)節(jié)旋鈕穿過連接管中部的通孔并且與設(shè)置于連接管內(nèi)部的調(diào)節(jié)擋板連接，所述調(diào)節(jié)擋板的另一端與導向柱連接；所述冷凝回收裝置包括箱體，箱體的底板設(shè)置有進氣管和進水口，箱體的頂板設(shè)置有排氣管和排水口，設(shè)置于箱體內(nèi)的中間筒體與進氣管連接，箱體設(shè)置有分流腔和冷凝腔，分流腔和冷凝腔通過進氣管上的分流口相連通，排氣管與中間筒體連接并伸入中間筒體內(nèi)， 排氣管與進氣管不相通，排氣管上設(shè)置有排氣孔，冷凝腔內(nèi)設(shè)置有冷凝管，冷凝管的進水管設(shè)置于進水口，冷凝管的出水管設(shè)置于排水口，箱體的底板上還設(shè)置有回流管。
進一步的，所述過濾裝置包括棉芯過濾器、藍色過濾器和位于退膜機構(gòu)的滾筒式過濾膜渣裝置，所述滾筒式過濾膜渣裝置設(shè)置有液體缸、匯流入口、滾筒過濾裝置、噴管、接渣盒、排渣道、二次過濾槽和收集框，噴管位于滾筒過濾裝置和接渣盒的上方，接渣盒和匯流入口分別接于滾筒過濾裝置內(nèi)，接渣盒設(shè)置于匯流入口的上方，并且接渣盒是傾斜設(shè)置的，接渣盒的出口通過排渣道與二次過濾槽的入口相連通，收集框安放于二次過濾槽的出口下方。進一步的，所述泵裝置包括立式泵和高壓泵，所述立式泵分別與棉芯過濾器、藍色過濾器連接；所述高壓泵與滾筒式過濾膜渣裝置連接。本發(fā)明由于采用上述技術(shù)方案而具有的有益效果。1、本發(fā)明在控制系統(tǒng)的控制下，將顯影、蝕刻、退膜等工序有機地結(jié)合為一體，在一臺設(shè)備中自動完成整個生產(chǎn)制造過程，自動化程度高。2、本發(fā)明采用雙傳送主軸設(shè)計的傳動裝置，減少蝕刻機的故障率增加等缺點，能夠平穩(wěn)可靠地輸送電路板，防止電路板在輸送過程中的偏移、打滑。3、本發(fā)明采用了搖擺架噴淋裝置、壓力控制裝置、補償裝置等結(jié)構(gòu)，設(shè)計不合理， 防止了水池效應(yīng)產(chǎn)生，顯影、蝕刻、退膜等工藝的制板效果大大提高。4、本發(fā)明采用了設(shè)計合理的過濾裝置和排氣裝置，有效避免了對環(huán)境的污染，同時能夠徹底的對可循環(huán)利用的物質(zhì)進行過慮回收，節(jié)省了生產(chǎn)成本，符合節(jié)能生產(chǎn)的目的。


圖1為本發(fā)明的布局框圖。圖2為本發(fā)明出紙機構(gòu)和顯影機構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3為本發(fā)明出紙機構(gòu)和顯影機構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡圖。圖4為本發(fā)明蝕刻機構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖5為本發(fā)明蝕刻機構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡圖。圖6為本發(fā)明退膜機構(gòu)和出板機構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。圖7為本發(fā)明退膜機構(gòu)和出板機構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡圖。圖8為本發(fā)明傳動裝置的部分結(jié)構(gòu)示意圖。圖9為本發(fā)明補償裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖10為本發(fā)明搖擺架噴淋裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11為本發(fā)明搖擺架的結(jié)構(gòu)示意圖。圖12為本發(fā)明噴灑裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖13為本發(fā)明脫水烘干裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖14為本發(fā)明風刀裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖15為本發(fā)明排氣管調(diào)節(jié)裝置的局部剖視圖。圖16為本發(fā)明冷凝回收裝置隱去冷凝管的剖視圖。圖17為本發(fā)明冷凝回收裝置的半剖視圖。圖18為本發(fā)明滾筒式過濾膜渣裝置的局部剖視圖。
具體實施方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明進行詳細說明。如圖1至圖18所示，一種蝕刻機，其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接并依次設(shè)置的進板機構(gòu)1、顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3、退膜機構(gòu)4、脫水烘干機構(gòu)5和出板機構(gòu)6，進板機構(gòu)1、顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3、退膜機構(gòu)4、脫水烘干機構(gòu)5和出板機構(gòu)6通過獨立設(shè)置的傳動裝置7連接，顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3和退膜機構(gòu)4分別連接有分段式排氣裝置8、過濾裝置以及泵裝置，蝕刻機的機體外還設(shè)置有控制系統(tǒng)的操作面板，工作時，在操作面板上打開各種裝置的開關(guān)并輸入各種參數(shù)，譬如速度參數(shù)、時間參數(shù)等。本實施例中，顯影機構(gòu)2采用顯影液將印刷電路板膜上未經(jīng)紫外線輻射的部分溶解，已經(jīng)紫外線輻射而發(fā)生聚合反應(yīng)的部分保留。具體而言，顯影機構(gòu)2包括依次設(shè)置的顯影室20和第一清洗室21，顯影室20內(nèi)設(shè)置有儲存顯影液的顯影槽200和搖擺架噴淋裝置 201 ；第一清洗室21內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽210和復數(shù)個位于傳動裝置7上下方的清洗噴嘴。本實施例中，蝕刻機構(gòu)3采用蝕刻液將印刷電路板上未被保護膜保護而露出的銅蝕刻掉。具體而言，蝕刻機構(gòu)3包括依次設(shè)置的蝕刻室30、補償室31和第二清洗室32，蝕刻室30與補償室31通過液體管道連接，蝕刻室30設(shè)置有儲存蝕刻液的蝕刻槽300和搖擺架噴淋裝置201 ；第二清洗室32設(shè)置有第二清洗槽320和復數(shù)個位于傳動裝置7上下方的清洗噴嘴。補償室31設(shè)置有補償裝置310，能起到輔助蝕刻的作用。補償裝置310由復數(shù)根上噴管3100和復數(shù)根下噴管3101構(gòu)成，上噴管3100和下噴管3101分別通過氣閥3102與進水管3103連接，上噴管3100和下噴管3101均等間距設(shè)置有復數(shù)個補償噴嘴，相鄰的上噴管3100之間的噴嘴交錯排布，復數(shù)根上噴管3100的噴嘴共同形成三角型排布，氣閥3102 與進水管3103之間連接有壓力表3104，工作時，傳動裝置7將印刷電路板送到上噴管3100 和下噴管3101的中間，依次經(jīng)過第一根上噴管的噴嘴至第五根上噴管的噴嘴，同時使用者根據(jù)印刷電路板的板面情況適當調(diào)節(jié)壓力表3104和氣閥3102控制噴淋，有效解決印刷電路板板面因為銅厚不均和水池效應(yīng)導致蝕刻不干凈導致產(chǎn)品報廢的問題，對印刷電路板的蝕刻效果好，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量及降低生產(chǎn)成本。在顯影機構(gòu)2和蝕刻機構(gòu)3中的搖擺架噴淋裝置201由搖擺架202和壓力控制裝置203構(gòu)成，搖擺架202通過上接軟管204和下接軟管205與壓力控制裝置203相連接，搖擺架202包括上噴架2020和下噴架2021，上噴架2020和下噴架2021通過搖臂2022連接， 上噴架2020的板面和下噴架2021的板面上均勻分布有復數(shù)個出水口 2023，出水口 2023上設(shè)置有噴嘴，上噴架2020的板面和下噴架2021的板面分別為傾斜設(shè)置，上噴架2020的板面和下噴架2021的板面互相平行，上噴架2020固定連接有拉臂20 ，拉臂20 設(shè)置有偏心塊2025，偏心塊2025與馬達連接軸20 連接，搖臂2022中間位置設(shè)置有固定銷2027， 工作時，上噴架2020和下噴架2021能平行擺動，噴淋水形覆蓋面更廣更均勻，避免產(chǎn)生“水池效應(yīng)”。壓力控制裝置203包括壓力表2030和球閥2031，通過調(diào)節(jié)壓力控制裝置203，控制噴嘴出水量，使壓力平均，可根據(jù)生產(chǎn)速度和工藝要求來控制蝕刻速度，提高產(chǎn)品質(zhì)量。本實施例中，退膜機構(gòu)4采用退膜液將印刷電路板上的保護膜去掉，露出已加工好的線路。具體而言，退膜機構(gòu)4包括依次設(shè)置的退膜室40和第三清洗室41，退膜室40設(shè)置有儲存退膜液的退膜槽400和噴灑裝置401，噴灑裝置401設(shè)置有噴管4010和噴嘴4011， 噴嘴4011由噴嘴座4012、噴頭4013和噴嘴蓋4014組成，噴頭4013設(shè)置于噴嘴座4012內(nèi)，噴嘴蓋4014連接于噴嘴座4012，噴嘴座4012通過前夾扣4015和后夾扣4016固定在噴管 4010沿長度方向設(shè)置的出水孔4017上，前夾扣4015和后夾扣4016通過螺栓相連接，噴嘴 4011拆卸安裝方便，可在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)角度，使噴嘴4011始終處在最佳工作狀態(tài)。第三清洗室42內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽420和復數(shù)個位于傳動裝置7上下方的清洗噴嘴。本實施例中，脫水烘干機構(gòu)5用于印刷電路板出板前對其進行脫水烘干，防止氧化。具體而言，脫水烘干機構(gòu)5包括依次設(shè)置的冷風吹干裝置50和熱風烘干裝置51，熱風烘干裝置51設(shè)置有鼓風機510、熱風分支器511和熱風管512，鼓風機510和熱風分支器511 位于傳送裝置7的下方，傳送裝置7的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風刀裝置513，風刀裝置513的數(shù)量為三個。風刀裝置513包括對稱相同的上風刀5130和下風刀5131，上風刀5130和下風刀5131內(nèi)部趨近為一密閉空間，上風刀5130 —端和下風刀5131 —端分別設(shè)置有進風口 5132，進風口 5132通過熱風管512與鼓風機510以及熱風分支器511連接，上風刀5130另一端和下風刀5131另一端分別設(shè)有出風導流板5133，出風導流板5133的表面排列分布有出風微孔，出風微孔設(shè)置有傾斜角度并傾向于同一方向，這樣的設(shè)計使風刀的出風微孔與傳送裝置7的電路板形成夾角，夾角以45度為最佳，同時通過出風導流板5133配合風刀的內(nèi)部空間和出風微孔，可使出風微孔壓縮吹出氣體，同時使吹出來的氣體均勻吹向電路板， 避免因為氣體不均勻和熱力不均勻而導致電路板不平整的影響。本實施例中，傳動裝置7用于將印刷電路板進行輸送。具體而言，傳動裝置7包括安裝架70，在安裝架70上設(shè)置有復數(shù)條上傳送軸71和復數(shù)條下傳送軸72，上傳送軸71位于下傳送軸72正上方，上傳送軸71上設(shè)置有復數(shù)個上傳送輪73，下傳送軸72上設(shè)置有復數(shù)個與上傳送輪73相對應(yīng)的下傳送輪74，上傳送軸71和下傳送軸72通過上傳送齒輪75 和下傳送齒輪76嚙合連接，安裝架70 —側(cè)的第一傳送主軸77上設(shè)置有主傳送齒輪78，下傳送齒輪76與主傳送齒輪78嚙合連接，第一傳送主軸77與電機相鏈接，安裝架70另一側(cè)還設(shè)置有第二傳送主軸79，第二傳送主軸79設(shè)置有主傳送齒輪78，主傳送齒輪78與下傳送軸72另一側(cè)的下傳送齒輪76嚙合連接。采用雙傳送主軸設(shè)計，同步帶動下傳送軸72轉(zhuǎn)動，減少因單傳送主軸傳動而造成下傳送軸72的軸頭受力過大導致蝕刻機的故障率增加等缺點，上、下傳送軸受力均勻，能夠平穩(wěn)可靠地輸送電路板，防止電路板在輸送過程中的偏移，上傳送輪73和下傳送輪74可局部拆卸更換，方便維修。本實施例中，排氣裝置8用于排放顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3、退膜機構(gòu)4和脫水烘干機構(gòu)5工作時產(chǎn)生的揮發(fā)物或蒸汽。具體而言，排氣裝置8包括排氣管80、排氣管調(diào)節(jié)裝置 81、支撐架82和至少一個冷凝回收裝置83。排氣管調(diào)節(jié)裝置81設(shè)置有連接管810，連接管810上設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕811，調(diào)節(jié)旋鈕811穿過連接管810中部的通孔并且與設(shè)置在連接管810內(nèi)部的調(diào)節(jié)擋板812連接，調(diào)節(jié)擋板812的另一端與導向柱813連接，排氣管調(diào)節(jié)裝置81 —般根據(jù)需要進行調(diào)整，以達到調(diào)節(jié)排氣量的效果，方便實用，防止當風速較大時，會使藥水的蒸發(fā)加快，同時也防止藥水的熱量過快流失。冷凝回收裝置83與排氣管80連接，藥水的揮發(fā)物或蒸汽經(jīng)過排氣管80后再流入冷凝回收裝置83。冷凝回收裝置83包括箱體830，箱體830的底板設(shè)置有進氣管831和進水口 832，箱體830的頂板設(shè)置有排氣管833和排水口 834，設(shè)置于箱體830內(nèi)的中間筒體835與進氣管831連接，箱體830設(shè)置有分流腔836和冷凝腔837，分流腔836和冷凝腔837 通過進氣管831上的分流口 838相連通，排氣管833與中間筒體835連接并伸入中間筒體 835內(nèi)，排氣管833與進氣管831不相通，排氣管833上設(shè)置有排氣孔839，冷凝腔837內(nèi)設(shè)置有冷凝管840，冷凝管840包括三條盤旋設(shè)置的冷凝管840，冷凝管840互呈同心圓狀分布，冷凝管840之間互有間隔，揮發(fā)物或者蒸汽從三條冷凝管840之間的間隔通過，增大了接觸面積，同時起到阻礙作用，使蒸汽的運動減慢，冷凝效果好，冷凝管840的進水管841設(shè)置于進水口 832，冷凝管840的出水管842設(shè)置于排水口 834，箱體830的底板上還設(shè)置有回流管843，冷凝后的液體從回流管843回流到藥水槽中，繼續(xù)循環(huán)利用，降低化學藥水的使用成本，節(jié)約資源，也防止環(huán)境污染。本實施例中，過濾裝置用于對顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3和退膜機構(gòu)4內(nèi)的藥水和廢棄液進行過濾，保持藥水的酸堿濃度、去除廢棄液內(nèi)的有害物質(zhì)和對可循環(huán)利用的物質(zhì)進行回收，保護環(huán)境，節(jié)約成本。具體而言，過濾裝置包括棉芯過濾器91、藍色過濾器92和滾筒式過濾膜渣裝置93。滾筒式過濾膜渣裝置93與退膜機構(gòu)4連接。滾筒式過濾膜渣裝置93設(shè)置有液體缸930、匯流入口 931、滾筒過濾裝置932、噴管933、接渣盒934、排渣道935、二次過濾槽936 和收集框937，噴管933位于滾筒過濾裝置932和接渣盒934的上方，接渣盒934和匯流入口 931分別接于滾筒過濾裝置932內(nèi)，接渣盒9；34設(shè)置于匯流入口 931的上方，并且接渣盒 934是傾斜設(shè)置的，接渣盒934的出口通過排渣道935與二次過濾槽936的入口相連通，收集框937安放于二次過濾槽936的出口下方。采用滾筒過濾裝置932和二次過濾槽936 二者結(jié)合的雙重過濾設(shè)計，過濾膜渣徹底，回收膜渣極其方便，足以滿足印刷電路板退膜工序過濾膜渣的工藝要求。本實施例中，泵裝置用于將顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3和退膜機構(gòu)4內(nèi)的液體送進過濾裝置。具體而言，泵裝置包括立式泵100和高壓泵101，立式泵100分別與棉芯過濾器91、 藍色過濾器92連接；高壓泵101與滾筒式過濾膜渣裝置93連接。蝕刻機的流程工作時，將印刷電路板放置在進板機構(gòu)1，蝕刻機的控制系統(tǒng)內(nèi)的監(jiān)測系統(tǒng)進行進板計數(shù)，傳動裝置7將印刷電路板輸送到顯影機構(gòu)2，依次經(jīng)過顯影室20和第一清洗室21，由搖擺架噴淋裝置201和清洗噴嘴進行噴淋，吹干后輸送到蝕刻機構(gòu)3，依次經(jīng)過蝕刻室30、補償室31和第二清洗室32，接著輸送到退膜機構(gòu)4，依次經(jīng)過退膜室40 和第三清洗室41，最后經(jīng)過脫水烘干機構(gòu)5和出板機構(gòu)6，出板時控制系統(tǒng)內(nèi)的監(jiān)測系統(tǒng)再進行出板計數(shù)。綜上所述，本發(fā)明的進板機構(gòu)1、顯影機構(gòu)2、蝕刻機構(gòu)3、退膜機構(gòu)4、脫水烘干機構(gòu)5和出板機構(gòu)6在控制系統(tǒng)的控制下，將顯影、蝕刻、退膜等工序有機地結(jié)合為一體，在一臺設(shè)備中自動完成整個生產(chǎn)制造過程，自動化程度高，同時設(shè)計合理，制板和過濾回收效果好，給相關(guān)行業(yè)帶來比巨大的益處。以上所述實施例僅表達了本發(fā)明的一種實施方式而已，其描述較為具體和詳細， 但并不能因此而理解為本發(fā)明范圍的限制。應(yīng)當指出的是，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形或改進，這些均屬于本發(fā)明的保護范圍。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準。
權(quán)利要求
1.一種蝕刻機，其特征在于其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進板機構(gòu)(1)、顯影機構(gòu)(2)、蝕刻機構(gòu)(3)、退膜機構(gòu)(4)、脫水烘干機構(gòu)(5)和出板機構(gòu)(6)，所述進板機構(gòu)(1)、所述顯影機構(gòu)(2)、所述蝕刻機構(gòu)(3)、所述退膜機構(gòu)(4)、所述脫水烘干機構(gòu)(5)和所述出板機構(gòu)(6)分別通過獨立設(shè)置的傳動裝置(7)連接，所述顯影機構(gòu) (2 )、所述蝕刻機構(gòu)(3 )和所述退膜機構(gòu)(4 )分別連接有分段式排氣裝置(8 )、過濾裝置以及泵裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述顯影機構(gòu)(2)包括依次設(shè)置的顯影室(20 )和第一清洗室(21)，所述顯影室(20 )內(nèi)設(shè)置有儲存顯影液體的顯影槽(200 ) 和搖擺架噴淋裝置(201)；所述第一清洗室(21)內(nèi)設(shè)置有第一清洗槽(210)和復數(shù)個位于傳動裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述蝕刻機構(gòu)(3)包括依次設(shè)置的蝕刻室(30)、補償室(31)和第二清洗室(32)，所述蝕刻室(30)與所述補償室(31)通過液體管道連接，所述蝕刻室(30)設(shè)置有儲存蝕刻液體的蝕刻槽(300)和搖擺架噴淋裝置(201); 所述補償室(31)設(shè)置有補償裝置(310)，補償裝置(310)由復數(shù)根上噴管(3100)和復數(shù)根下噴管(3101)構(gòu)成，上噴管(3100)和下噴管(3101)分別通過氣閥(3102)與進水管(3103) 連接，上噴管(3100)和下噴管(3101)分別設(shè)置有復數(shù)個補償噴嘴，相鄰的上噴管(3100)之間的噴嘴交錯排布，復數(shù)根所述上噴管(3100)的噴嘴形成三角型排布，氣閥(3102)與進水管(3103)之間連接有壓力表(3104)；所述第二清洗室(32)設(shè)置有第二清洗槽(320)和復數(shù)個位于傳動裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的一種蝕刻機，其特征在于所述搖擺架噴淋裝置(201) 由搖擺架(202)和壓力控制裝置(203)構(gòu)成，搖擺架(202)通過上接軟管(204)和下接軟管(205)與壓力控制裝置(203)相連接，所述搖擺架(202)包括上噴架(2020)和下噴架 (2021),所述上噴架(2020)和所述下噴架(2021)通過搖臂(2022)連接，上噴架(2020)的板面和下噴架(2021)的板面上分別設(shè)置有復數(shù)個出水口(2023)，所述出水口(2023)是均勻分布的，出水口(2023)上設(shè)置有噴嘴，上噴架(2020)固定連接有拉臂(2024)，拉臂(2024) 設(shè)置有偏心塊(2025)，偏心塊(2025)與馬達連接軸(2026)連接，搖臂(2022)中間設(shè)置有固定銷(2027)；所述壓力控制裝置(203)包括壓力表(2030)和球閥(2031)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述退膜機構(gòu)(4)包括依次設(shè)置的退膜室(40)和第三清洗室(41)，所述退膜室(40)設(shè)置有儲存退膜液體的退膜槽(400)和噴灑裝置(401)，所述噴灑裝置(401)設(shè)置有噴管(4010)和噴嘴(4011)，噴嘴(4011)由噴嘴座(4012)、噴頭(4013)和噴嘴蓋(4014)組成，噴頭(4013)設(shè)置于噴嘴座(4012)內(nèi)，噴嘴蓋 (4014)連接于噴嘴座(4012)，噴嘴座(4012)通過前夾扣(4015)和后夾扣(4016)固定在噴管(4010)沿長度方向設(shè)置的出水孔(4017)上，前夾扣(4015)和后夾扣(4016)通過螺栓連接；所述第三清洗室(41)內(nèi)設(shè)置有第三清洗槽(410)和復數(shù)個位于傳動裝置(7)上下方的清洗噴嘴。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述脫水烘干機構(gòu)(5)包括依次設(shè)置的冷風吹干裝置(50)和熱風烘干裝置(51)，所述熱風烘干裝置(51)設(shè)置有鼓風機 (510)、熱風分支器(511)和熱風管(512)，鼓風機(510)和熱風分支器(511)位于傳送裝置(7)的下方，所述傳送裝置(7)的上下兩側(cè)分別設(shè)置有風刀裝置(513)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述傳動裝置(7)包括安裝架 (70)，在安裝架(70)上設(shè)置有復數(shù)條上傳送軸(71)和復數(shù)條下傳送軸(72)，上傳送軸(71) 位于下傳送軸(72 )正上方，上傳送軸(71)上設(shè)置有復數(shù)個上傳送輪(73 )，下傳送軸(72 )上設(shè)置有復數(shù)個與上傳送輪(73)相對應(yīng)的下傳送輪(74)，上傳送軸(71)和下傳送軸(72)通過上傳送齒輪(75)和下傳送齒輪(76)嚙合連接，安裝架(70) —側(cè)的第一傳送主軸(77)上設(shè)置有主傳送齒輪(78 )，下傳送齒輪(76 )與主傳送齒輪(78 )嚙合，第一傳送主軸(77 )與電機相鏈接，所述安裝架(70 )另一側(cè)還設(shè)置有第二傳送主軸(79 )，第二傳送主軸(79 )設(shè)置有主傳送齒輪(78)，主傳送齒輪(78)與下傳送軸(72)另一側(cè)的下傳送齒輪(76)嚙合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述排氣裝置(8)包括排氣管 (80)、排氣管調(diào)節(jié)裝置(81)、支撐架(82)和至少一個冷凝回收裝置(83)，所述排氣管調(diào)節(jié)裝置(81)設(shè)置有連接管(810)，連接管(810)上設(shè)置有調(diào)節(jié)旋鈕(811)，調(diào)節(jié)旋鈕(811)穿過連接管(810)中部的通孔并且與設(shè)置在連接管(810)內(nèi)部的調(diào)節(jié)擋板(812)連接，所述調(diào)節(jié)擋板(812)的另一端與設(shè)導向柱(813)連接；所述冷凝回收裝置(83)包括箱體(830)，箱體(830 )的底板設(shè)置有進氣管(831)和進水口( 832 )，箱體(830 )的頂板設(shè)置有排氣管(833 ) 和排水口( 834)，設(shè)置于箱體(830 )內(nèi)的中間筒體(835 )與進氣管(831)連接，箱體(830 )設(shè)置有分流腔(836)和冷凝腔(837)，分流腔(836)和冷凝腔(837)通過進氣管(831)上的分流口(838)相連通，排氣管(833)與中間筒體(835)連接并伸入中間筒體(835)內(nèi)，排氣管 (833)與進氣管(831)不相通，排氣管(833)上設(shè)置有排氣孔(839)，冷凝腔(837)內(nèi)設(shè)置有冷凝管(840 )，冷凝管(840 )的進水管(841)設(shè)置于進水口( 832 )，冷凝管(840 )的出水管 (842 )設(shè)置于排水口( 8；34 )，箱體(830 )的底板上還設(shè)置有回流管(843 )。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種蝕刻機，其特征在于所述過濾裝置包括棉芯過濾器 (91)、藍色過濾器(92)和位于退膜機構(gòu)(4)的滾筒式過濾膜渣裝置(93)，所述滾筒式過濾膜渣裝置(93)設(shè)置有液體缸(930)、匯流入口(931)、滾筒過濾裝置(932)、噴管(933)、接渣盒(9；34)、排渣道(935)、二次過濾槽(936)和收集框(937)，噴管(933)位于滾筒過濾裝置 (932)和接渣盒(9；34)的上方，接渣盒(9；34)和匯流入口(931)分別接于滾筒過濾裝置(932) 內(nèi)，接渣盒(934)設(shè)置于匯流入口(931)的上方，并且接渣盒(934)是傾斜設(shè)置的，接渣盒 (934 )的出口通過排渣道(935 )與二次過濾槽(936 )的入口相連通，收集框(937 )安放于二次過濾槽(936)的出口下方。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種蝕刻機，其特征在于所述泵裝置包括立式泵(100)和高壓泵(101)，所述立式泵(100)分別與棉芯過濾器(91)、藍色過濾器(92)連接；所述高壓泵(101)與滾筒式過濾膜渣裝置(93 )連接。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種蝕刻機，其包括控制系統(tǒng)以及與控制系統(tǒng)電連接的并且依次設(shè)置的進板機構(gòu)、顯影機構(gòu)、蝕刻機構(gòu)、退膜機構(gòu)、脫水烘干機構(gòu)和出板機構(gòu)，所述進板機構(gòu)、所述顯影機構(gòu)、所述蝕刻機構(gòu)、所述退膜機構(gòu)、所述脫水烘干機構(gòu)和所述出板機構(gòu)通過獨立設(shè)置的傳動裝置連接，所述顯影機構(gòu)、所述蝕刻機構(gòu)和所述退膜機構(gòu)分別連接有分段式排氣裝置、過濾裝置以及泵裝置。本發(fā)明能將顯影、蝕刻、退膜等工序有機地結(jié)合為一體，在一臺設(shè)備中自動完成整個生產(chǎn)制造過程，自動化程度高，同時設(shè)計合理，制板和過濾回收效果好，給相關(guān)行業(yè)帶來比巨大的益處。
文檔編號C23F1/08GK102492946SQ201110451370
公開日2012年6月13日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月30日
發(fā)明者梁啟光, 歐陽建英 申請人:特新電路材料(東莞)有限公司