專利名稱：背板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及背板的制作方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)代大規(guī)模的集成電路制造エ藝中，磁控濺射以其濺射率高、基片溫升低、 膜-基結(jié)合力好等優(yōu)勢成為了最優(yōu)異的基片鍍膜エ藝。在磁控濺射鍍膜エ藝中，靶材組件由符合濺射性能的靶材和與所述靶材結(jié)合、具有一定強(qiáng)度的背板構(gòu)成。所述背板不僅在所述靶材組件裝配至濺射基臺(tái)中起到支撐作用， 而且其具有傳導(dǎo)熱量的功效，用于磁控濺射エ藝中靶材的散熱。在磁控濺射鍍膜過程中，靶材組件工作環(huán)境較為苛刻。靶材組件處于高溫、高壓電場和磁場強(qiáng)度較大的磁場中，且正面在KT9Pa的高真空環(huán)境下，受到各種高能量離子轟擊，致使靶材發(fā)生濺射，而濺射出的中性的靶材原子或分子沉積在基片上形成薄膜。在濺射的過程中靶材組件的背板由于晶粒漲大和晶粒不均勻，導(dǎo)致背板扭曲變形，一方面直接造成靶材各部分與硅片基底間的偏差，使鍍膜的參數(shù)異常，影響后續(xù)制成的集成電路質(zhì)量，另一方面會(huì)影響濺射靶材的使用壽命。因此，在制作背板時(shí)需要通過鍛打エ藝來均勻細(xì)化背板的晶粒，靶材組件應(yīng)用該背板能夠提高使用效率和使用壽命。但是，目前鍛打エ藝均勻細(xì)化背板的晶粒的方法還不成熟。以黃銅背板為例，黃銅背板中含有一定量的鋅元素，鋅為體心立方金屬，背板在鍛打過程中易出現(xiàn)溫脆性的現(xiàn)象；同吋，由于黃銅背板中還存在微量的鉛、鉍有害雜質(zhì)與背板金屬銅形成低熔點(diǎn)共晶薄膜分布在晶界上，鍛打過程中易產(chǎn)生晶間破裂的現(xiàn)象。因此，有必要提出一種新的背板的制作方法，以克服現(xiàn)有技術(shù)的背板的晶粒不夠均勻和不夠細(xì)化的缺陷。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種背板的制作方法，以得到內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻和足夠細(xì)化的背板，防止背板扭曲變形。為解決上述間題，本發(fā)明ー種背板的制作方法，其特征在干，包括提供背板鑄件；在800°C 1000°C，對所述背板鑄件進(jìn)行鍛打，形成背板坯料；對所述背板坯料進(jìn)行處理，形成背板?？蛇x的，所述鍛打包括五個(gè)階段，分別為第一階段鍛打、第二階段鍛打、第三階段鍛打、第四階段鍛打和第五階段鍛打?？蛇x的，在所述第一階段鍛打之前、所述第一階段鍛打和所述第二階段鍛打之間、 所述第三階段鍛打和所述第四階段鍛打之間、所述第四階段鍛打和所述第五階段鍛打之間進(jìn)行熱處理?？蛇x的，所述熱處理的溫度為800°C 1000°C?？蛇x的，所述第一階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，所述第一階段鍛打后的尺寸為第一階段鍛打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第一階段鍛打中間體；所述第二階段鍛打?yàn)槔戾懘?，所述第二階段鍛打前的尺寸為第二階段鍛打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第二階段鍛打中間體；所述第三階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，所述第三階段鍛打后的尺寸為第三階段鍛打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第三階段鍛打中間體；所述第四階段鍛打?yàn)槔戾懘颍龅谒碾A段鍛打前的尺寸為第四階段鍛打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第四階段鍛打中間體；所述第五階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，所述第五階段鍛打后的尺寸為第五階段鍛打前尺寸的三分之一至二分之一，形成背板坯料?？蛇x的，將所述第一階段段打中間體順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第二鍛打中間體，將所述第二階段鍛打中間體順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第三鍛打中間體，將所述第三階段鍛打中間體順時(shí)針翻80度 100度進(jìn)行鍛打形成第四鍛打中間體。可選的，將所述第一階段段打中間體逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第二鍛打中間體，將所述第二階段鍛打中間體逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第三鍛打中間體，將所述第三階段鍛打中間體逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第四鍛打中間體?？蛇x的，每個(gè)階段鍛打的所述鍛打的時(shí)間為aiiin :3min?？蛇x的，每個(gè)階段鍛打的所述鍛打的壓カ為300噸 850噸?？蛇x的，所述對所述背板坯料進(jìn)行處理為固溶時(shí)效處理?？蛇x的，所述固溶時(shí)效處理分兩步驟進(jìn)行，分別為第一步驟和第二步驟，所述第一步驟的溫度為500°C 800°C，并且保溫濁 4h，所述第二步驟的溫度為200°C 500°C，并且保溫Ih 3h?？蛇x的，形成所述背板鑄件的方法為對金屬料件進(jìn)行熔融鑄件處理?？蛇x的，所述金屬料件為銅合金、鋁合金或者為硬度、導(dǎo)電性和銅類似的金屬或合
、 >. ο可選的，所述熔融鑄件處理的溫度為800°C 1000°C。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)(1)800°C 1000°C鍛打可以將背板鑄件的柱狀晶更容易破碎為細(xì)晶粒，能夠更好的修復(fù)上述背板鑄件內(nèi)部的氣孔，進(jìn)而使其內(nèi)部結(jié)構(gòu)由疏松變?yōu)榫o實(shí)，能夠得到內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)更加均勻和足夠細(xì)化的背板(晶粒大小為100 μ m 200 μ m)，防止背板扭曲變形。一方面減小靶材各部分與硅片基底間的偏差，提高鍍膜的質(zhì)量，另ー方面提高濺射靶材組件的使用壽命。(2)鍛打步驟中的第一階段鍛打、第三階段鍛打和第五階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，第二階段鍛打和第四階段鍛打?yàn)槔戾懘?，鍛打過程為壓縮鍛打和拉伸鍛打交替進(jìn)行，可以使背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體變形最大化，還可以最大化的細(xì)化和均勻背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體的晶粒。(3)鍛打步驟中將第一鍛打中間體、第二鍛打中間體、第三鍛打中間體和第四鍛打中間體依次順時(shí)針或者逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度鍛打，可以從各個(gè)方向上都能夠更好的細(xì)
5化背板鑄件和各階段鍛打中間體的晶粒，并且能夠更好的均勻化背板鑄件和各階段鍛打中間體的晶粒。(4)采用兩個(gè)步驟對所述背板坯料進(jìn)行固溶時(shí)效處理，即第一步驟將背板坯料加熱到500°C 800°C，并且保溫池 4h。第二步驟將第一歩驟處理后的背板坯料加熱到 200°C 500°C，并且保溫Ih 池，可以更好的形成單向固溶體從而增加背板的硬度，硬度可以達(dá)到100HV以上，還可以得到晶粒結(jié)構(gòu)較小并且晶粒組織均勻的背板，晶粒尺寸為 ΙΟΟμ200μ ο


圖1為本發(fā)明實(shí)施例的背板制作方法的流程示意圖；圖2至圖8是根據(jù)圖1所示流程的示意圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。正如背景技術(shù)部分所述，現(xiàn)有技術(shù)制作的背板，內(nèi)部組織不均勻和不夠細(xì)化，出現(xiàn)了扭曲變形現(xiàn)象。為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種背板的制作方法，改變了背板的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)，使得背板的組織結(jié)構(gòu)更加細(xì)化和均勻。本發(fā)明實(shí)施例提供一種背板的制作方法，如圖1所示，包括步驟Sl 1，提供金屬料件；步驟S12，對所述金屬料件進(jìn)行熔融鑄件處理，形成背板鑄件；步驟S13，對所述背板鑄件進(jìn)行鍛打，形成背板坯料；步驟S14，對所述背板坯料進(jìn)行固溶時(shí)效處理，形成背板。下面結(jié)合附圖對上述圖1中所示的方法進(jìn)行詳細(xì)說明。首先執(zhí)行步驟S11，提供金屬料件。本實(shí)施例中所述金屬料件可以為銅合金或鋁合金。在其他實(shí)施例中，所述金屬料件還可以為鎢合金、鈦合金，或者還可以為硬度、導(dǎo)電性和銅類似的合金。在實(shí)際應(yīng)用中，金屬料件可以是從金屬錠中經(jīng)切斷后的一部分，金屬料件的形狀， 根據(jù)應(yīng)用環(huán)境、濺射設(shè)備的實(shí)際要求，可以為圓柱體、長方體、環(huán)形、圓錐體或其他類似形狀 (包括規(guī)則形狀和不規(guī)則形狀)中的任ー種。接著執(zhí)行步驟S12，對所述金屬料件進(jìn)行熔融鑄件處理，形成背板鑄件。以銅合金為例，將所述金屬料件放置在真空熔煉爐中進(jìn)行熔融，熔融溫度為 800°C 1000°C。溫度如果小于800°C，金屬料件不能熔融；溫度如果大于1000°C，易造成能量的浪費(fèi)。并且在熔融金屬料件的過程中，還需要對所述真空熔煉爐進(jìn)行抽氣，以降低所述真空熔煉爐中的氣體與黃銅熔融液發(fā)生反應(yīng)的幾率，因此在熔融的同時(shí)進(jìn)行抽氣，使得所述真空熔煉爐中的氫氣和/或氧氣控制在可允許的范圍內(nèi)。
另外，如果金屬料件為鋁合金，為確保熔融的質(zhì)量，在所述真空熔煉爐內(nèi)添加氫元素和硼元素。其中，硼元素(例如三氯化硼)可用于從熔融的鋁液中除去氮化物、碳化物和氧化物，提高鋁背板鑄件品質(zhì)。然后將熔融金屬料件液流入鑄模后被冷卻并初步凝固成一定厚度的背板鑄件，再通過例如噴水或噴蒸汽等冷卻方式予以冷卻，使得背板鑄件完全凝固并成型。本實(shí)施例中，如圖2所示，所述背板鑄件A為圓柱體，其直徑范圍為170mm 210mm，高度Ha范圍為 300mm 400mm，較佳直徑為200mm，較佳高度Ha為300mm。步驟S13，對所述背板鑄件進(jìn)行鍛打，形成背板坯料；本實(shí)施例中的鍛打步驟主要是為了消除背板鑄件內(nèi)部原始鑄造組織疏松等鑄造缺陷，優(yōu)化背板鑄件內(nèi)部的微觀組織結(jié)構(gòu)，將背板鑄件的柱狀晶破碎為細(xì)晶粒，修復(fù)上述背板鑄件內(nèi)部的氣孔，進(jìn)而使其內(nèi)部結(jié)構(gòu)由疏松變?yōu)榫o實(shí)。本實(shí)施例中所述鍛打包括五個(gè)階段的鍛打，分別為第一階段鍛打至第五階段鍛打，其中，在每階段所述鍛打之前都進(jìn)行熱處理。具體為對背板鑄件進(jìn)行第一次熱處理后進(jìn)行第一階段鍛打，形成第一階段鍛打中間體。所述進(jìn)行第一次熱處理包括將所述背板鑄件A置于熱處理裝置中，在所述熱處理裝置中可充入可控氣氛或保護(hù)氣氛，例如惰性氣體，溫度加熱至800°C 1000°C，并保溫至其內(nèi)部受熱均勻。如果加熱溫度小于800°C，背板鑄件A沒有充分的受熱，硬度比較大而無法進(jìn)行鍛打エ藝或者對其進(jìn)行鍛打時(shí)容易產(chǎn)生裂紋，如果加熱溫度大于1000で，一方面會(huì)造成熱能的浪費(fèi)，另一方面背板鑄件太軟，也不容易進(jìn)行鍛打エ藝。結(jié)合圖2和圖3，將第一次熱處理后的背板鑄件A進(jìn)行第一階段鍛打，形成第一階段鍛打中間體B。所述第一階段鍛打?yàn)殄懘虮嘲彖T件A的頂面Al，即第一階段鍛打?yàn)閴嚎s背板鑄件A的高度Ha，當(dāng)其減少三分之一或二分之一吋，第一階段鍛打過程結(jié)束，上述階段的鍛打壓カ為300噸 750噸，鍛打時(shí)間一般為aiiin 3min，形成第一階段鍛打中間體B。 鍛打壓力太大，易超出背板鑄件的彈性極限；鍛打壓カ太小，使得鍛打次數(shù)增多，降低效率， 使得鍛打時(shí)間變長，則背板鑄件A冷卻而不易鍛打；鍛打時(shí)間太短，則背板鑄件A的變形量不夠。本實(shí)施例中，第一階段鍛打中間體B同樣為圓柱體，其高度Hb為背板鑄件高度Ha的三分之一至二分之一，較佳為三分之一。本實(shí)施例中，第一階段鍛打中間體B直徑為230mm 280mm,高度Hb為IOOmm 200mm，直徑較佳為觀0讓，高度Hb (下標(biāo))較佳為100mm。接著，將第一階段鍛打中間體B進(jìn)行第二次熱處理，具體可以參考第一次熱處理。 對第二次熱處理后的第一階段鍛打中間體B順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度，本實(shí)施例較佳為90 度，然后，結(jié)合圖3和圖4，對所述第一階段鍛打中間體B的側(cè)面B2進(jìn)行第二階段鍛打，使其拉伸，將第一階段鍛打中間體B的側(cè)面長度(即第一階段鍛打中間體的高度Hb)拉伸至第二階段鍛打中間體C的長度Ca時(shí)結(jié)束，此時(shí)第二階段鍛打中間體C的長度Ca為第一階段鍛打中間體B的高度Hb的兩倍至三倍。上述階段鍛打過程的鍛打的壓カ為300噸 750噸，鍛打時(shí)間為anin :3min。形成第二階段鍛打中間體C。鍛打壓力太大，易超出背板鑄件的彈性極限；鍛打壓カ太小，使得鍛打次數(shù)增多，降低效率，使得鍛打時(shí)間變長，則第一階段鍛打中間體B冷卻而不易鍛打；鍛打時(shí)間太短，則第一階段鍛打中間體B的變形量不夠。所述第 ニ階段鍛打中間體C為長方體。本實(shí)施例中，第二階段鍛打中間體C的長度Ca為200mm 600mm,寬度Cb和高度C。都為130mm 170mm，本實(shí)施例中，第二階段鍛打中間體C的長度Ca為第一階段鍛打中間體B的高度Hb較佳為三倍，第二階段鍛打中間體C的長度Ca較佳為 300mm,寬度Cb和高度C。都較佳為150mm。接著，將第二階段鍛打中間體C進(jìn)行第三次熱處理，具體可以參考第一次熱處理。 對第三次熱處理后的第二階段鍛打中間體C繼續(xù)順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度，本實(shí)施例較佳為90度，結(jié)合圖4和圖5對所述第二階段鍛打中間體C的正方形的面Cl進(jìn)行第三階段鍛打，將第二階段鍛打中間體C的長度Ca壓縮至第三階段鍛打中間體D的高度D。時(shí)結(jié)束，此時(shí)第三階段鍛打中間體D的高度D。是第二階段鍛打中間體C的長度Ca的三分之一至二分之一，上述階段的鍛打壓カ為300噸 750噸，鍛打時(shí)間為aiiin 3min，形成第三階段鍛打中間體D。鍛打壓力太大，易超出背板鑄件的彈性極限；鍛打壓カ太小，使得鍛打次數(shù)增多， 降低效率，使得鍛打時(shí)間變長，則第二階段鍛打中間體C冷卻而不易鍛打；鍛打時(shí)間太短， 則第二階段鍛打中間體C的變形量不夠。所述第三階段鍛打中間體D為正方體(包括第一側(cè)面Dl和第二側(cè)面擬)。本實(shí)施例中，第三階段鍛打中間體D的高度D。，長度Da和寬度Db 都為66mm 300mm。第三階段鍛打中間體D的高度D。較佳為第二階段鍛打中間體C的長度Ca的三分之一，為100_。在其他實(shí)施例中，如圖6所示，第三階段鍛打中間體也可以為長方體D’(包括第一側(cè)面D1’和第二側(cè)面D2’，所述第一側(cè)面D1’為長方形，第二側(cè)面D2’為正方形)。本實(shí)施例中，第三階段鍛打中間體D，的高度D。，為66mm 300mm，長度Da'和寬度Db'為170mm 220mm。第三階段鍛打中間體D’的高度D?！^佳為第二階段鍛打中間體C的長度Ca的三分之一，為100mm，長度Da，和寬度Db，較佳為200mm。接著，將第三階段鍛打中間體D進(jìn)行第四次熱處理，具體可以參考第一次熱處理。 對第四次熱處理后的第三階段鍛打中間體D繼續(xù)順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度，本實(shí)施例較佳為90度，結(jié)合圖5、圖6和圖7，對所述第三階段鍛打中間體D的第一側(cè)面Dl (也可以是 Dl’ )進(jìn)行第四階段鍛打，使正方體D(也可以是長方體D’ )高度D。(或D?！?)方向進(jìn)行拉伸，即第三鍛打中間體的高度D。(或D?！?)拉伸至第四階段鍛打中間體E的長度Ea時(shí)結(jié)束， 上述階段的鍛打壓カ為300噸 750噸，鍛打時(shí)間為aiiin 3min，形成第四階段鍛打中間體E。鍛打壓力太大，易超出背板鑄件的彈性極限；鍛打壓カ太小，使得鍛打次數(shù)增多，降低效率，使得鍛打時(shí)間變長，則第三階段鍛打中間體D冷卻而不易鍛打；鍛打時(shí)間太短，則第三階段鍛打中間體D的變形量不夠。所述第四階段鍛打中間體E為長方體，與第二階段鍛打中間體C尺寸相同。所述第四階段鍛打中間體E的長度Ea與第三階段鍛打中間體D的高度D。(或D?！?的比例為3 1 2 1，本實(shí)施例中，第四階段鍛打中間體的長度民為 200mm 600mm，寬度K和高度E。都為130mm 170mm。第四階段鍛打中間體E的長度fe 與第三鍛打中間體D的高度D。(或D。’)的比例較佳為3 1，第四階段鍛打中間體E的長度Ea較佳為300mm，寬度K和高度E。較佳為150mm。接著，將第四階段鍛打中間體E進(jìn)行第五次熱處理，具體可以參考第一次熱處理。 結(jié)合圖7和圖8，對第五次熱處理后的第四階段鍛打中間體E的第一側(cè)面El進(jìn)行鍛打，使第四階段鍛打中間E的高度E。壓縮形成背板坯料F，所述背板坯料為圓柱體，后者的高度Hf 與前者的高度E。之間的比值為1 3 1 2，則第五階段鍛打結(jié)束。上述階段的鍛打壓 カ為300噸 750噸，鍛打時(shí)間為aiiin :3min。鍛打壓力太大，易超出背板鑄件的彈性極限；鍛打壓カ太小，使得鍛打次數(shù)增多，降低效率，使得鍛打時(shí)間變長，則第四階段鍛打中間體E冷卻而不易鍛打；鍛打時(shí)間太短，則第四階段鍛打中間體E的變形量不夠。本實(shí)施例中，背板坯料F的直徑為530mm 580mm，高度Hf為39mm 85mm，背板坯料F的高度Hf與第四階段鍛打中間E的高度E。之間的比值較佳為1 3，直徑較佳為550mm，高度Hf較佳為 50mm,上述尺寸符合背板坯料的生產(chǎn)尺寸要求。通過在每個(gè)階段鍛打前進(jìn)行熱處理步驟，可以改變背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體的內(nèi)部的組織結(jié)構(gòu)，使得背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體消除應(yīng)カ并得到軟化，提高其塑性，最終使得背板坯料的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻。本實(shí)施例中的第二階段鍛打至第四階段鍛打過程中使得背板鑄件依次順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度，分別形成第二階段鍛打中間體、第三階段鍛打中間體和第四階段鍛打中間體，背板鑄件的各個(gè)方向上都進(jìn)行鍛打，能夠更好的細(xì)化背板鑄件的晶粒，并且能夠更好的均勻化背板鑄件的晶粒。在其他實(shí)施例中，也可以對背板鑄件依次逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100 度。本實(shí)施中的鍛打步驟中的第一階段鍛打、第三階段鍛打和第五階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，所述壓縮鍛打后的尺寸為鍛打前尺寸的三分之一至二分之一；第二階段鍛打和第四階段鍛打?yàn)槔戾懘?，所述拉伸鍛打前的尺寸為拉伸鍛打后尺寸的三分之一至二分之一，可以使背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體變形最大化，還可以最大化的細(xì)化和均勻背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體的晶粒。如果變形量太小，則背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體的變形能力不夠，從而達(dá)不到目的；如果變形量太大，則使得鍛打エ藝難以控制。本實(shí)施例中所述鍛打可以采用空氣錘(Air Hammer)完成，其對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員是熟知的，故在此不再贅述。在其他實(shí)施例中，所述鍛打也可以為自由鍛、模鍛、鐓粗、擠壓、模鍛、閉式模鍛和閉式鐓鍛等。接著，執(zhí)行步驟S14，對所述背板坯料進(jìn)行固溶時(shí)效處理，形成背板；固溶時(shí)效處理是將合金加熱到高溫單向區(qū)保溫一定時(shí)間，形成單向固溶體，然后冷卻，以得到飽和固溶體的熱處理工藝。本實(shí)施例中的固溶處理需要分兩個(gè)步驟進(jìn)行。首先，將背板坯料在加熱裝置中加熱至500°C 800°C，然后保溫池 4h。接著，繼續(xù)將背板坯料在加熱裝置中加熱至200°C 500°C，然后保溫Ih 汕。分兩個(gè)步驟進(jìn)行固溶處理，一方面可以使得背板坯料的晶粒不容易長大，背板坯料晶粒均勻化和細(xì)化的效果更好，可以得到晶粒結(jié)構(gòu)較小并且晶粒組織均勻的背板，晶粒尺寸為100 μ m 200 μ m,另ー個(gè)方面可以更好的形成單向固溶體從而增加背板的硬度，硬度可以達(dá)到100HV以上。需要說明的是如果沒有此操作，或是固溶時(shí)效處理如果不分上述兩個(gè)步驟進(jìn)行則背板的硬度會(huì)在100HV以下。接著，在空氣中對所述背叛坯料進(jìn)行冷卻至常溫，形成背板。采用本發(fā)明的背板的制作方法，有以下優(yōu)點(diǎn)(1)800°C 1000°C鍛打可以將背板鑄件的柱狀晶更容易破碎為細(xì)晶粒，能夠更好的修復(fù)上述背板鑄件內(nèi)部的氣孔，進(jìn)而使其內(nèi)部結(jié)構(gòu)由疏松變?yōu)榫o實(shí)，能夠得到內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)更加均勻和足夠細(xì)化的背板(晶粒大小為100 μ m 200 μ m)，防止背板扭曲變形。一方面減小靶材各部分與硅片基底間的偏差，提高鍍膜的質(zhì)量，另ー方面提高濺射靶材組件的使用壽命。(2)鍛打步驟中的第一階段鍛打、第三階段鍛打和第五階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，第二階段鍛打和第四階段鍛打?yàn)槔戾懘?，鍛打過程為壓縮鍛打和拉伸鍛打交替進(jìn)行，可以使背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體變形最大化，還可以最大化的細(xì)化和均勻背板鑄件和各個(gè)鍛打中間體的晶粒。(3)鍛打步驟中將第一鍛打中間體、第二鍛打中間體、第三鍛打中間體和第四鍛打中間體依次順時(shí)針或者逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度鍛打，可以從各個(gè)方向上都能夠更好的細(xì)化背板鑄件和各階段鍛打中間體的晶粒，并且能夠更好的均勻化背板鑄件和各階段鍛打中間體的晶粒。(4)采用兩個(gè)步驟對所述背板坯料進(jìn)行固溶時(shí)效處理，即第一步驟將背板坯料加熱到500°C 800°C，并且保溫池 4h。第二步驟將第一歩驟處理后的背板坯料加熱到 200°C 500°C，并且保溫Ih 池，可以更好的形成單向固溶體從而增加背板的硬度，硬度可以達(dá)到100HV以上，還可以得到晶粒結(jié)構(gòu)較小并且晶粒組織均勻的背板，晶粒尺寸為 ΙΟΟμ200μ ο雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，但本發(fā)明并非限定于此。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，均可作各種更動(dòng)與修改，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以權(quán)利要求所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種背板的制作方法，其特征在干，包括提供背板鑄件；在800°C 1000°C，對所述背板鑄件進(jìn)行鍛打，形成背板坯料；對所述背板坯料進(jìn)行處理，形成背板。
2.如權(quán)利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，所述鍛打包括五個(gè)階段，分別為第一階段鍛打、第二階段鍛打、第三階段鍛打、第四階段鍛打和第五階段鍛打。
3.如權(quán)利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，在所述第一階段鍛打之前、所述第一階段鍛打和所述第二階段鍛打之間、所述第三階段鍛打和所述第四階段鍛打之間、所述第四階段鍛打和所述第五階段鍛打之間進(jìn)行熱處理。
4.如權(quán)利要求3所述的背板的制作方法，其特征在干，所述熱處理的溫度為800°C IOOO0Co
5.如權(quán)利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，所述第一階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打， 所述第一階段鍛打后的尺寸為第一階段鍛打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第一階段鍛打中間體；所述第二階段鍛打?yàn)槔戾懘?，所述第二階段鍛打前的尺寸為第二階段鍛打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第二階段鍛打中間體；所述第三階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，所述第三階段鍛打后的尺寸為第三階段鍛打前尺寸的三分之一至二分之一，形成第三階段鍛打中間體；所述第四階段鍛打?yàn)槔戾懘?，所述第四階段鍛打前的尺寸為第四階段鍛打后尺寸的三分之一至二分之一，形成第四階段鍛打中間體；所述第五階段鍛打?yàn)閴嚎s鍛打，所述第五階段鍛打后的尺寸為第五階段鍛打前尺寸的三分之一至二分之一，形成背板坯料。
6.如權(quán)利要求5所述的背板的制作方法，其特征在干，將所述第一階段段打中間體順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第二鍛打中間體，將所述第二階段鍛打中間體順時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第三鍛打中間體，將所述第三階段鍛打中間體順時(shí)針翻80 度 100度進(jìn)行鍛打形成第四鍛打中間體。
7.如權(quán)利要求5所述的背板的制作方法，其特征在干，將所述第一階段段打中間體逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第二鍛打中間體，將所述第二階段鍛打中間體逆時(shí)針翻轉(zhuǎn)80度 100度進(jìn)行鍛打形成第三鍛打中間體，將所述第三階段鍛打中間體逆時(shí)針翻轉(zhuǎn) 80度 100度進(jìn)行鍛打形成第四鍛打中間體。
8.如權(quán)利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，每個(gè)階段鍛打的所述鍛打的時(shí)間為2min 3min。
9.如權(quán)利要求2所述的背板的制作方法，其特征在干，每個(gè)階段鍛打的所述鍛打的壓 カ為3OO噸 8δ0噸。
10.如權(quán)利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，所述對所述背板坯料進(jìn)行處理為固溶時(shí)效處理。
11.如權(quán)利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，所述固溶時(shí)效處理分兩步驟進(jìn)行，分別為第一步驟和第二步驟，所述第一步驟的溫度為500°c 800°C，并且保溫池 4h， 所述第二步驟的溫度為200°C 500°C，并且保溫Ih 汕。
12.如權(quán)利要求1所述的背板的制作方法，其特征在干，形成所述背板鑄件的方法為對金屬料件進(jìn)行熔融鑄件處理。
13.如權(quán)利要求12所述的背板的制作方法，其特征在干，所述金屬料件為銅合金、鋁合金或者為硬度、導(dǎo)電性和銅類似的金屬或合金。
14.如權(quán)利要求12所述的背板的制作方法，其特征在干，所述熔融鑄件處理的溫度為 800 IOOO0Co
全文摘要
一種背板的制作方法，包括提供背板鑄件；在800℃～1000℃，對所述背板鑄件進(jìn)行鍛打，形成背板坯料；對所述背板坯料進(jìn)行處理，形成背板。本發(fā)明可以得到內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)更加細(xì)化和更加均勻的背板，防止背板扭曲變形。一方面減小靶材各部分與硅片基底間的偏差，提高鍍膜的質(zhì)量，另一方面提高濺射靶材組件的使用壽命。
文檔編號C23C14/34GK102534518SQ201110452048
公開日2012年7月4日 申請日期2011年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月29日
發(fā)明者周園, 大巖一彥, 姚力軍, 潘杰, 王學(xué)澤, 相原俊夫 申請人:寧波江豐電子材料有限公司