專利名稱：板式pecvd設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽能硅片PECVD加工設(shè)備領(lǐng)域，具體為板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺。
背景技術(shù)：
板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口與出料口分別位于設(shè)備的兩端，以往分別需要在進(jìn)料口側(cè)與出料口側(cè)設(shè)置相應(yīng)的硅片上料機(jī)構(gòu)和硅片下料機(jī)構(gòu)，其設(shè)備占用空間大、設(shè)備成本高， 且硅片的上下料效率低，為此目前的自動上下料系統(tǒng)為了能達(dá)到縮小設(shè)備占用空間、降低設(shè)備成本、并提高硅片上下料效率將整個硅片上料機(jī)構(gòu)與下料機(jī)構(gòu)集成設(shè)置于PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)，因此在PECVD設(shè)備的出料口與進(jìn)料口之間、在PECVD設(shè)備與自動上下料系統(tǒng)的底部設(shè)置有水平輸送線以便將出料口已經(jīng)PECVD處理好的硅片輸送至設(shè)備進(jìn)料口側(cè)的自動上下料系統(tǒng)上，但是，由于PECVD設(shè)備的進(jìn)料口與出料口均離設(shè)備地面一定高度，因此還需要設(shè)置垂直升降裝置來完成硅片在出料口(或進(jìn)料口)與底部水平輸送線之間的垂直輸送。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明提供了板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺，其能完成硅片輸送碳板在設(shè)備出料口(或進(jìn)料口)與底部水平輸送線之間的垂直輸送，保證硅片上下料的全自動操作。其技術(shù)方案是這樣的，其包括機(jī)架，其特征在于其還包括豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，所述豎向平移機(jī)構(gòu)通過固定板安裝于所述機(jī)架的縱向一側(cè)機(jī)架壁，所述水平輸送機(jī)構(gòu)通過連接板安裝于所述豎向平移機(jī)構(gòu)。其進(jìn)一步特征在于所述豎向平移機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、直線模組，所述直線模組通過所述固定板固定于所述機(jī)架的縱向一側(cè)壁的豎向支架上，所述直線模組通過聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)連接，所述固定板的縱向兩端安裝有直線導(dǎo)軌；所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)與輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)機(jī)架固定于所述連接板，所述連接板安裝于所述直線模組，且所述連接板背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述直線導(dǎo)軌；所述輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機(jī)通過電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動軸的橫向兩端通過軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架，所述電機(jī)與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的橫向兩端均通過軸承座一安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側(cè)縱向支架上均分別通過軸承座二安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側(cè)所述縱向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接。使用本發(fā)明的碳板升降臺裝置，其有益效果在于其水平輸送機(jī)構(gòu)可以將平穩(wěn)地接收從PECVD設(shè)備出料口輸送帶送出的載有硅片的碳板，而水平輸送機(jī)構(gòu)整體通過連接板安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)，豎向平移機(jī)構(gòu)的伺服電機(jī)、直線模組工作帶動連接板及安裝于連接板的水平輸送機(jī)構(gòu)沿直線導(dǎo)軌作豎向的升降，將放置于水平輸送機(jī)構(gòu)表面的載有硅片的碳板垂直運送。


圖1為本發(fā)明碳板升降臺裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式見圖1，本發(fā)明包括機(jī)架8、豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，豎向平移機(jī)構(gòu)通過固定板9安裝于機(jī)架的8縱向一側(cè)機(jī)架壁，水平輸送機(jī)構(gòu)通過連接板5安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)。 豎向平移機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)1、直線模組2，直線模組2通過固定板9固定于機(jī)架8的縱向一側(cè)壁的豎向支架上，直線模組2通過聯(lián)軸器與伺服電機(jī)1連接，固定板9的縱向兩端安裝有直線導(dǎo)軌3 ；水平輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)與輸送機(jī)機(jī)架6，輸送機(jī)安裝于輸送機(jī)機(jī)架6，輸送機(jī)機(jī)架6固定于連接板5，連接板5安裝于直線模組2，且連接板5背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊4，滑塊4卡裝于直線導(dǎo)軌3 ；水平輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)10、傳動軸11、主動輸送輪12和從動輸送輪13，電機(jī)10通過電機(jī)支架14固定于輸送機(jī)機(jī)架6下部，傳動軸11的橫向兩端通過軸承座一 15固定于輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架18，電機(jī)10與傳動軸11通過同步帶輪16、 20傳動連接，傳動軸11的橫向兩端均通過軸承座一 15安裝有一個主動輸送輪12，兩側(cè)縱向支架18上均分別通過軸承座二 19安裝有兩個主動輸送輪12與兩個從動輸送輪13，主動輸送輪12與從動輸送輪13均勻、間隔分布安裝于縱向支架18，單側(cè)縱向支架18上、相鄰兩個主動輸送輪12之間通過傳送帶17傳動連接。圖1中，7為輸送機(jī)機(jī)架6的橫向支架。下面具體描述一下本發(fā)明的工作過程當(dāng)承載已處理完的硅片的出片碳板從 PECVD設(shè)備出料口運出時，伺服電機(jī)1與直線模組2動作，驅(qū)動連接板5以及固定于連接板 5上的水平輸送機(jī)構(gòu)整體沿直線導(dǎo)軌3向上移動，直至PECVD設(shè)備出料口輸送線等高的位置后，伺服電機(jī)1與直線模組2停止工作，水平輸送機(jī)構(gòu)的電機(jī)10轉(zhuǎn)動，通過同步帶輪16、20 帶動傳動軸11以及主動輸送輪12轉(zhuǎn)動，待出片碳板由PECVD設(shè)備出料輸送線輸送至水平輸送機(jī)構(gòu)上后，電機(jī)10停止轉(zhuǎn)動，連接板5、以及承載出片碳板的水平輸送機(jī)構(gòu)受伺服電機(jī) 1與直線模組的驅(qū)動沿直線導(dǎo)軌3下降至底部水平輸送線高度，電機(jī)10繼續(xù)工作將出片碳板輸送入底部水平輸送線。
權(quán)利要求
1.板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺，其包括機(jī)架，其特征在于其還包括豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，所述豎向平移機(jī)構(gòu)通過固定板安裝于所述機(jī)架的縱向一側(cè)機(jī)架壁，所述水平輸送機(jī)構(gòu)通過連接板安裝于所述豎向平移機(jī)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺，其特征在于 所述豎向平移機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、直線模組，所述直線模組通過所述固定板固定于所述機(jī)架的縱向一側(cè)壁的豎向支架上，所述直線模組通過聯(lián)軸器與所述伺服電機(jī)連接，所述固定板的縱向兩端安裝有直線導(dǎo)軌。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺，其特征在于所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括輸送機(jī)與輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架，所述輸送機(jī)機(jī)架固定于所述連接板，所述連接板安裝于所述直線模組，且所述連接板背面的縱向兩側(cè)安裝有滑塊，所述滑塊卡裝于所述直線導(dǎo)軌。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺，其特征在于所述輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動軸、主動輸送輪和從動輸送輪，所述電機(jī)通過電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動軸的橫向兩端通過軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的縱向支架，所述電機(jī)與所述傳動軸通過同步帶輪傳動連接，所述傳動軸的橫向兩端均通過軸承座一安裝有一個所述主動輸送輪，所述兩側(cè)縱向支架上均分別通過軸承座二安裝有兩個所述主動輸送輪與兩個從動輸送輪，所述主動輸送輪與從動輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述縱向支架，單側(cè)所述縱向支架上、相鄰兩個所述主動輸送輪之間通過傳送帶傳動連接。
全文摘要
本發(fā)明提供了板式PECVD設(shè)備自動上下料系統(tǒng)的碳板升降臺，其能完成硅片輸送碳板在設(shè)備出料口(或進(jìn)料口)與底部水平輸送線之間的垂直輸送，保證硅片上下料的全自動操作。其包括機(jī)架，其特征在于其還包括豎向平移機(jī)構(gòu)和水平輸送機(jī)構(gòu)，豎向平移機(jī)構(gòu)通過固定板安裝于機(jī)架的縱向一側(cè)機(jī)架壁，水平輸送機(jī)構(gòu)通過連接板安裝于豎向平移機(jī)構(gòu)。
文檔編號C23C16/44GK102560423SQ201110458758
公開日2012年7月11日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者劉曉平, 陳平 申請人:無錫市奧曼特科技有限公司