專(zhuān)利名稱(chēng)：一種冷卻擋板裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及到一種鍍膜濺射冷卻系統(tǒng)裝置，尤其涉及到一種冷卻擋板裝置。
背景技術(shù)：
在目前的真空鍍膜設(shè)備中，作為當(dāng)今被廣泛采用的磁控濺射鍍膜工藝，對(duì)其工作環(huán)境要求極為苛刻。冷卻系統(tǒng)卻是影響工作環(huán)境的重要因素，而冷卻擋板裝置是冷卻系統(tǒng)中最重要的一個(gè)裝置。就目前國(guó)內(nèi)真空鍍膜陰極濺射用的冷卻擋板，零部件繁多、冷卻水管排布冗雜，零部件直接與真空箱體連接，存在冷卻效果差，不能有效保護(hù)其他設(shè)備，不易拆卸，同時(shí)給設(shè)備維護(hù)、維修造成極大不便，一旦某個(gè)零部件受損壞，需要在真空箱體里維護(hù)，會(huì)直接影響到其它零部件，甚至箱體的工作環(huán)境。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中冷卻水管排布冗雜，零部件繁多等缺點(diǎn)，而提供的一種新型冷卻擋板裝置。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是提供一種新型冷卻擋板裝置，其包括框架、連接板、支撐件、多排水管、冷卻擋板水頭壓板、托架、KF法蘭，其中，所述多排水管分為內(nèi)循環(huán)水管和外循環(huán)水管，所述內(nèi)循環(huán)水管和外循環(huán)水管均采用U型結(jié)構(gòu)排布。根據(jù)所述的冷卻擋板裝置，其中，所述連接板分為左右連接板，所述左連接板設(shè)置在框架左邊，右連接板設(shè)置在框架右邊。根據(jù)所述的冷卻擋板裝置，其中，所述支撐件為支架。根據(jù)所述的冷卻擋板裝置，其中，所述冷卻擋板水頭壓板外接有真空箱體。根據(jù)所述的冷卻擋板裝置，其中，所述多排水管包括進(jìn)水口，出水口，內(nèi)循環(huán)水管， 外循環(huán)水管，其中進(jìn)水口與內(nèi)循環(huán)水管導(dǎo)通，出水口與外循環(huán)水管導(dǎo)通。根據(jù)所述的冷卻擋板裝置，其中，所述內(nèi)循環(huán)水管為U型，外循環(huán)水管為U型，所述 U型結(jié)構(gòu)排布為內(nèi)循環(huán)水管與外循環(huán)水管首尾相連，并處于導(dǎo)通狀態(tài)。根據(jù)所述的冷卻擋板裝置，其中，所述KF法蘭穿過(guò)冷卻擋板水頭壓板與多排水管進(jìn)出水口相連。本實(shí)用新型采用獨(dú)特的整體框架結(jié)構(gòu)，把各個(gè)零部件有機(jī)結(jié)合為一整體，更加方便拆卸組裝，可直接把冷卻裝置整體吊出箱體外進(jìn)行維護(hù)。同時(shí)更重要根據(jù)濺射時(shí)腔體內(nèi)熱量分布特點(diǎn)，排布了大面積冷卻水路循環(huán)系統(tǒng)，極大提高了冷卻效果和鍍膜質(zhì)量，增強(qiáng)了各配件的使用壽命，減少了各零部件的更換維修次數(shù)。增加了整體鍍膜設(shè)備的綜合性能。

圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；[0014]圖2為本實(shí)用新型多排水管的結(jié)構(gòu)示意圖。1-框架；2-左連接板；3-支腿；4-多排水管；5-冷卻擋板水頭壓板；6_托架；7_右連接板；8-KF法蘭；10-內(nèi)循環(huán)水管；12-進(jìn)水口 ；13-出水口 ；14-外循環(huán)水管。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明保護(hù)的是一種新型冷卻擋板裝置，只要是本領(lǐng)域技術(shù)人員了解本發(fā)明實(shí)施例，不經(jīng)過(guò)創(chuàng)造性的勞動(dòng)，僅是同等技術(shù)的替換，都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。如圖1、圖2所示，在冷卻擋板裝置的框架1上設(shè)置有支腿3，在框架1的兩邊分別設(shè)置有左右連接板(2，7)，在框架1的上端設(shè)有多排水管4，在框架1的前后端設(shè)置有托架 6，其對(duì)多排水管4起穩(wěn)定作用，在多排水管的進(jìn)出水口(12，13)上端設(shè)有冷卻擋板水頭壓板5和KF法蘭8，所述KF法蘭8穿過(guò)冷卻擋板水頭壓板5與進(jìn)出水端口(12，13)連接。所述冷卻擋板水頭壓板5還與真空箱體(在圖中沒(méi)有顯示出來(lái))連接。所述內(nèi)循環(huán)水管為U型，外循環(huán)水管為U型，所述U型結(jié)構(gòu)排布為內(nèi)循環(huán)水管與外循環(huán)水管首尾相連，并處于導(dǎo)通狀態(tài)。如圖2所示，多排水管4內(nèi)設(shè)置有進(jìn)出水口(12，13)進(jìn)水口 12與內(nèi)循環(huán)水管10 道通，出水口 13與外循環(huán)水管14導(dǎo)通，內(nèi)循環(huán)水管10和外循環(huán)水管14相互之間也處于導(dǎo)通狀態(tài)，當(dāng)冷卻水經(jīng)進(jìn)水口 12進(jìn)入到內(nèi)循環(huán)水管10，再流經(jīng)外循環(huán)通道14，從出水口 13流出，另一實(shí)施例，進(jìn)水口 10也可以與外循環(huán)通道14相連，出水口 13與內(nèi)循環(huán)通道10相連， 內(nèi)循環(huán)水管10和外循環(huán)水管14相互之間處于導(dǎo)通狀態(tài)。
權(quán)利要求1.一種新型冷卻擋板裝置，其包括框架、連接板、支撐件、多排水管、冷卻擋板水頭壓板、托架、KF法蘭，其特征在于，所述多排水管分為內(nèi)循環(huán)水管和外循環(huán)水管，所述內(nèi)循環(huán)水管和外循環(huán)水管均采用U型結(jié)構(gòu)排布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻擋板裝置，其特征在于，所述連接板分為左右連接板，所述左連接板設(shè)置在框架左邊，右連接板設(shè)置在框架右邊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻擋板裝置，其特征在于，所述支撐件為支架。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻擋板裝置，其特征在于，所述冷卻擋板水頭壓板外接有真空箱體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻擋板裝置，其特征在于，所述多排水管包括進(jìn)水口，出水口，內(nèi)循環(huán)水管，外循環(huán)水管，其中進(jìn)水口與內(nèi)循環(huán)水管導(dǎo)通，出水口與外循環(huán)水管導(dǎo)通。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的冷卻擋板裝置，其特征在于，所述內(nèi)循環(huán)水管為U型，外循環(huán)水管為U型，所述U型結(jié)構(gòu)排布為內(nèi)循環(huán)水管與外循環(huán)水管首尾相連，并處于導(dǎo)通狀態(tài)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的冷卻擋板裝置，其特征在于，所述KF法蘭穿過(guò)冷卻擋板水頭壓板與多排水管進(jìn)出水口相連。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及到一種鍍膜濺射冷卻系統(tǒng)裝置,尤其涉及到一種冷卻擋板裝置。其包括框架、連接板、支撐件、多排水管、冷卻擋板水頭壓板、托架、KF法蘭，其中，所述多排水管采用U型結(jié)構(gòu)排布，其極大提高了冷卻效果和鍍膜質(zhì)量，增強(qiáng)了各配件的使用壽命，減少了各零部件的更換維修次數(shù)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK201999987SQ201120023560
公開(kāi)日2011年10月5日 申請(qǐng)日期2011年1月25日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月25日
發(fā)明者張俊峰, 李桂良 申請(qǐng)人:上海子創(chuàng)鍍膜技術(shù)有限公司