專利名稱：用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種用于沉積非晶硅薄膜電池的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，屬于太陽電池技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)工藝中，沉積非晶硅層時(shí)需要給陰極板外加一個(gè)射頻電源，在射頻電源作用下在真空室內(nèi)形成等離子體，進(jìn)行均勻放電，實(shí)現(xiàn)低溫沉積， 如專利號(hào)200820152147. 2《雙腔交替式非晶硅光伏薄膜化學(xué)氣相沉積設(shè)備》及專利號(hào) 200610074522. 1《化學(xué)氣相沉積設(shè)備》都公開的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，陰極板安裝在沉積夾具上，沉積夾具可以移動(dòng)，方便放置基片和拿取沉積好的基片。但對(duì)于一次沉積多片的夾具，需要多個(gè)陰極板和射頻電源，形成陰極板組和相應(yīng)的外接射頻電源組，由于夾具是活動(dòng)的，每次沉積時(shí)要將外接射頻電源與陰極板連接，沉積后要將射頻電源與陰極板分開。已有技術(shù)有通過手動(dòng)或自動(dòng)連接，其中手動(dòng)連接是當(dāng)沉積夾具推入真空室固定位置后，手動(dòng)將陰極板接口插入相應(yīng)的射頻電源接口內(nèi)，將接口鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與接口鎖緊螺栓的外螺紋擰緊，接口鎖緊螺母同時(shí)帶動(dòng)拉緊軸套使陰極板接口電纜線與射頻電源接口連接，對(duì)于一次沉積多片的連接機(jī)構(gòu)，需要每個(gè)接口都用手動(dòng)連接，工作效率低，不便于實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)自動(dòng)化。因此如何將外接射頻電源組與陰極板組快速而可靠的對(duì)接成為目前需要解決的問題。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決準(zhǔn)確定位，將射頻電源插接口快速、穩(wěn)固地與陰極板插接口對(duì)接的技術(shù)問題，提供一種快速可靠的化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)。為了實(shí)現(xiàn)以上任務(wù)，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是提供一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，包括射頻電源、安裝在沉積夾具上的陰極板，該陰極板通過連接機(jī)構(gòu)與射頻電源連接，其特征在于所述連接機(jī)構(gòu)包括定位部件、調(diào)整偏差部件、至少兩塊射頻電源接口固定板、陰極板接口固定板，所述調(diào)整偏差部件連接在兩塊射頻電源接口固定板之間，射頻電源接口與陰極板接口由定位部件定位對(duì)接，且由調(diào)整偏差部件調(diào)整對(duì)接偏差。射頻電源接口固定板至少有一塊是可活動(dòng)的。連接機(jī)構(gòu)的定位部件由導(dǎo)套和導(dǎo)柱組成，導(dǎo)柱插接在導(dǎo)套內(nèi)導(dǎo)向定位。導(dǎo)套裝在可活動(dòng)的射頻電源插接口固定板上，導(dǎo)柱裝在陰極板插接口固定板上。調(diào)整偏差部件為彈簧機(jī)構(gòu)，該彈簧機(jī)構(gòu)一端連接射頻電源接口固定板，另一端連接可活動(dòng)的射頻電源接口固定板。陰極板接口固定板裝在沉積夾具的尾部。射頻電源和陰極板的接口上均接有電纜線。本實(shí)用新型的有益效果是結(jié)構(gòu)簡單、能實(shí)現(xiàn)陰極板接口和射頻電源接口準(zhǔn)確定
3位，并快速、穩(wěn)固地實(shí)現(xiàn)接口對(duì)接，還可以通過調(diào)整偏差部件調(diào)整陰極板接口和射頻電源接口對(duì)接的偏差，進(jìn)一步保證對(duì)接的準(zhǔn)確性。

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1中A-A剖視圖。圖3是本實(shí)用新型射頻電源連接機(jī)構(gòu)對(duì)接狀態(tài)示意圖。圖4是實(shí)施例1的示意圖。圖5是實(shí)施例2的示意圖。圖6是實(shí)施例3的示意圖。圖1至圖6中1為沉積夾具，2為陰極板接口固定板，3為陰極板接口電纜線，4為陰極板接口，5為真空室，6為射頻電源引入接頭，7為射頻電源接口固定板，8為可活動(dòng)的射頻電源接口固定板，9為射頻電源接口電纜線，10為射頻電源接口，11為彈簧機(jī)構(gòu)，12為導(dǎo)柱，13為導(dǎo)套。
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做詳細(xì)的說明。射頻電源插接口固定板與可活動(dòng)的射頻電源插接口固定板通過彈簧機(jī)構(gòu)連接，陰極板插接口固定安裝在沉積夾具上的陰極板插接口固定板上，在射頻電源插接口浮動(dòng)固定板上裝有定位用導(dǎo)套，在陰極板插接口固定板上裝有定位用導(dǎo)柱，導(dǎo)柱與導(dǎo)套起定位作用， 彈簧機(jī)構(gòu)調(diào)整各對(duì)陰極板插接口和射頻電源插接口對(duì)位偏差，使其準(zhǔn)確牢固對(duì)接。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1 如圖所示，陰極板接口固定板2通過焊接或螺栓固定在沉積夾具1的尾部，陰極板接口 4固定在陰極板接口固定板2上，陰極板接口電纜線3 —端連接在陰極板接口 4上，另一端連接在陰極板上，射頻電源接口固定板7通過焊接或螺栓固定在真空室5腔壁內(nèi)，可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8通過彈簧機(jī)構(gòu)11與射頻電源接口固定板7相連，射頻電源接口 10固定在可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8上與陰極板接口 4對(duì)應(yīng)位置，射頻電源接口電纜線9 一端與射頻電源接口 10相連，另一端與射頻電源引入接頭6相連，導(dǎo)柱12固定在陰極板接口固定板2上，導(dǎo)套13固定在可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8上，導(dǎo)柱12在沉積夾具 1推入真空室5時(shí)帶動(dòng)陰極板接口固定板2運(yùn)動(dòng)插入導(dǎo)套13內(nèi)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向定位，同時(shí)使射頻電源接口 10與陰極板接口 4對(duì)接，當(dāng)射頻電源接口 10與陰極板接口 4定位時(shí)發(fā)生偏差，通過彈簧機(jī)構(gòu)11使得可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8可以左右上下允許一定范圍的偏移來調(diào)整射頻電源接口 10與陰極板接口 4對(duì)位偏差。見圖4，本實(shí)施例一次可同時(shí)沉積16片非晶硅電池基片，需要4對(duì)射頻電源接口 10與陰極板接口 4，在陰極板接口固定板2上安裝4個(gè)陰極板接口 4和1個(gè)導(dǎo)柱12，在可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8安裝4個(gè)射頻電源接口 10和1個(gè)導(dǎo)套13，可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8和射頻電源接口固定板7通過2個(gè)彈簧機(jī)構(gòu)11連接，可保證射頻電源接口 10與陰極板接口 4的不同心的偏差不超過導(dǎo)柱12直徑的一半范圍內(nèi)。實(shí)施例2 [0025]實(shí)施方式同實(shí)施例1，在此不再贅述。見圖5，本實(shí)施例一次可同時(shí)沉積32片非晶硅電池基片，需要8對(duì)射頻電源接口 10與陰極板接口 4，在陰極板接口固定板2上安裝8個(gè)陰極板接口 4和2個(gè)導(dǎo)柱12，在可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8安裝8個(gè)射頻電源接口 10 和2個(gè)導(dǎo)套13，可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8和射頻電源接口固定板7通過4個(gè)彈簧機(jī)構(gòu)11連接，可保證射頻電源接口 10與陰極板接口 4的不同心的偏差不超過導(dǎo)柱12直徑的一半范圍內(nèi)。實(shí)施例3 實(shí)施方式同實(shí)施例1，在此不再贅述。見圖6，本實(shí)施例一次可同時(shí)沉積48片非晶硅電池基片，需要12對(duì)射頻電源接口 10與陰極板接口 4，在陰極板接口固定板2上安裝12 個(gè)陰極板接口 4和2個(gè)導(dǎo)柱12，在可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8安裝12個(gè)射頻電源接口 10和2個(gè)導(dǎo)套13，可活動(dòng)的射頻電源接口固定板8和射頻電源接口固定板7通過9個(gè)彈簧機(jī)構(gòu)11連接，可保證射頻電源接口 10與陰極板接口 4的不同心的偏差不超過導(dǎo)柱12直徑的一半范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，包括射頻電源、安裝在沉積夾具上的陰極板，該陰極板通過連接機(jī)構(gòu)與射頻電源連接，其特征在于所述連接機(jī)構(gòu)包括定位部件、調(diào)整偏差部件、至少兩塊射頻電源接口固定板、陰極板接口固定板，所述調(diào)整偏差部件連接在兩塊射頻電源接口固定板之間，射頻電源接口與陰極板接口由定位部件定位對(duì)接，且由調(diào)整偏差部件調(diào)整對(duì)接偏差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，其特征在于所述射頻電源接口固定板至少有一塊是可活動(dòng)的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，其特征在于所述連接機(jī)構(gòu)的定位部件由導(dǎo)套和導(dǎo)柱組成，導(dǎo)柱插接在導(dǎo)套內(nèi)導(dǎo)向定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，其特征在于所述導(dǎo)套裝在可活動(dòng)的射頻電源插接口固定板上，導(dǎo)柱裝在陰極板插接口固定板上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，其特征在于所述調(diào)整偏差部件為彈簧機(jī)構(gòu)，該彈簧機(jī)構(gòu)一端連接射頻電源接口固定板，另一端連接可活動(dòng)的射頻電源接口固定板。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，其特征在于所述陰極板接口固定板裝在沉積夾具的尾部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，其特征在于所述射頻電源和陰極板的接口上均接有電纜線。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于化學(xué)氣相沉積設(shè)備的射頻電源連接機(jī)構(gòu)，屬于太陽電池技術(shù)領(lǐng)域。射頻電源連接機(jī)構(gòu)，包括射頻電源、安裝在沉積夾具上的陰極板，該陰極板通過連接機(jī)構(gòu)與射頻電源連接，其特征在于所述連接機(jī)構(gòu)包括定位部件、調(diào)整偏差部件、至少兩塊射頻電源接口固定板、陰極板接口固定板，所述調(diào)整偏差部件連接在兩塊射頻電源接口固定板之間，射頻電源接口與陰極板接口由定位部件定位對(duì)接，且由調(diào)整偏差部件調(diào)整對(duì)接偏差。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡單、能實(shí)現(xiàn)陰極板接口和射頻電源接口準(zhǔn)確定位，并快速、穩(wěn)固地實(shí)現(xiàn)接口對(duì)接。
文檔編號(hào)C23C16/44GK201990724SQ201120055640
公開日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2011年3月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月4日
發(fā)明者施澤濤, 李毅 申請(qǐng)人:深圳市創(chuàng)益科技發(fā)展有限公司