專(zhuān)利名稱(chēng)：新型研磨機(jī)夾具組件及研磨機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種夾具組件及研磨機(jī)，尤指一種新型研磨機(jī)夾具組件及使用該夾具組件的研磨機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，研磨機(jī)主要用于減薄或拋光等加工過(guò)程，在該加工過(guò)程中，研磨機(jī)的研磨盤(pán)表面平整度會(huì)影響被研磨制件的表面平整度。此外，影響被研磨制件表面平整度的因素還包括夾具的表面平整度、夾具壓力的施加方式和研磨液的選取。這里，只考慮降低夾具和夾具所受壓力對(duì)被研磨制件表面平整度造成的影響。圖1至圖3示出了現(xiàn)有技術(shù)中主要采用金屬夾具的設(shè)計(jì)及受力方式。其中，圖1 示出了現(xiàn)有技術(shù)中金屬夾具、固定墊片與被研磨制件的組合示意圖；圖2示出了現(xiàn)有技術(shù)中由重物提供壓力的金屬夾具與固定墊片的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3示出了現(xiàn)有技術(shù)中由氣缸提供壓力的金屬夾具與固定墊片的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，金屬夾具10、固定墊片11以及被研磨制件12依次緊鄰設(shè)置。實(shí)際加工過(guò)程中，該金屬夾具存在以下不足首先，由于金屬夾具10是由金屬(如鋼、鋁或合金制品等)制成，前述金屬由于加工工藝而具有較差的表面平整度，進(jìn)而造成被研磨制件12的平整度變差。具體地直徑 400mm金屬夾具的平整度在20微米以上，且隨著夾具的增大而增加。其次，現(xiàn)有技術(shù)是通過(guò)膠水將固定墊片11粘貼到金屬夾具10的表面，容易造成粘接不均勻，產(chǎn)生雜質(zhì)和氣泡，進(jìn)而造成被研磨制件12的平整度變差。再次，加工后的被研磨制件12的尺寸較小，在取下該被研磨制件12時(shí)，報(bào)廢率較尚ο此外，現(xiàn)有技術(shù)的固定墊片11是整片的(即與金屬夾具10的底部大小相同)，造成被研磨制件12減薄后邊緣區(qū)域小于中央?yún)^(qū)域。最后，金屬夾具10在壓力的作用下會(huì)發(fā)生形變，如圖2及圖3所示，該壓力由重物 13或氣缸14提供，并且，金屬夾具10的形變隨著壓力的增大而變大，進(jìn)而造成被研磨制件 12的平整度變差。

實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此，本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種新型研磨機(jī)夾具組件及研磨機(jī)， 提高被研磨制件表面平整度和平行度，從而提高光學(xué)效果。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種新型研磨機(jī)夾具組件，包括夾具，上端部設(shè)置有呈開(kāi)口狀的容置空間，下端部設(shè)置有一組或多組氣孔組，所述氣孔組中的氣孔的一端貫通所述夾具的下表面，所述氣孔的另一端向上延伸與氣道相連通，所述氣道設(shè)置于所述夾具內(nèi)部，所述氣道的氣道口貫通所述夾具的側(cè)表面；固定墊片， 上表面通過(guò)所述氣孔內(nèi)部壓力的作用與所述夾具的下表面抵接，下表面與被研磨制件的上表面抵接。[0011]進(jìn)--步地，所述夾具為大理石夾具、花崗巖夾具或陶瓷夾具。[0012]進(jìn)--步地，所述多組氣孔組在所述夾具的下表面上均勻分布。[0013]進(jìn)--步地，所述氣孔組為三組。[0014]進(jìn)--步地，所述固定墊片為真空膠墊。[0015]進(jìn)--步地，真空膠墊的厚度為5mm以上。[0016]進(jìn)--步地，所述固定墊片的尺寸比所述被研磨制件的尺寸小。[0017]進(jìn)--步地，所述固定墊片的長(zhǎng)度、寬度比所述被研磨制件的長(zhǎng)度、寬度小1-1. 5mm。[0018]進(jìn)--步地，該新型研磨機(jī)夾具組件還包括厚度調(diào)節(jié)件，設(shè)置于所述夾具的側(cè)表
面，且該厚度調(diào)節(jié)件的下表面與所述被研磨制件研磨后的下表面相齊。進(jìn)一步地，所述厚度調(diào)節(jié)件螺接于所述夾具的所述側(cè)表面。進(jìn)一步地，所述厚度調(diào)節(jié)件為陶瓷調(diào)節(jié)件。本實(shí)用新型還提供一種使用上述新型研磨機(jī)夾具組件的研磨機(jī)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件及研磨機(jī)具有以下優(yōu)點(diǎn)1、由于夾具采用大理石、或花崗巖、或陶瓷材質(zhì)，大理石夾具、花崗巖夾具或陶瓷夾具的受壓形變很小，上下表面平整度和平行度能夠達(dá)到5微米以?xún)?nèi)，與金屬夾具的最佳平整度在10-20微米相比，其改進(jìn)效果顯著。2、本實(shí)用新型向桶狀?yuàn)A具的容置空間內(nèi)放入不同粘度、重量的液體時(shí)，可使被研磨制件在研磨過(guò)程中受力更均勻，減薄或拋光得到的下表面更加光滑、平整。3、本實(shí)用新型的夾具上設(shè)置了氣孔和氣道，能夠?qū)⒐潭▔|片均勻吸附在夾具表面，便于取/放被研磨制件，大大降低了報(bào)廢率。4、本實(shí)用新型中的厚度調(diào)節(jié)件有助于調(diào)整被研磨制件的厚度，防止產(chǎn)生斜面，提高減薄平整度。5、本實(shí)用新型的固定墊片的形狀和尺寸，避免了被研磨制件被整塊固定墊片壓至邊緣變形而造成的平整度降低現(xiàn)象。

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中金屬夾具、固定墊片與被研磨制件的組合示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)中由重物提供壓力的金屬夾具與固定墊片的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為現(xiàn)有技術(shù)中由氣缸提供壓力的金屬夾具與固定墊片的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖5為本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件的另一結(jié)構(gòu)示意圖；圖6為本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件與被研磨制件的組合示意圖；圖7為本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件的另一實(shí)施例示意圖。
具體實(shí)施方式
有關(guān)本實(shí)用新型的技術(shù)內(nèi)容及詳細(xì)說(shuō)明，現(xiàn)結(jié)合附圖說(shuō)明如下。如圖4及圖5所示，本實(shí)用新型提供了一種新型研磨機(jī)夾具組件，包括夾具20以及固定墊片21。其中夾具20的上端部設(shè)置有呈開(kāi)口狀的容置空間，該容置空間用于盛放不同粘度、重量的液體。其中，桶狀的夾具20可使其上下表面平整度和平行度能夠達(dá)到5微米以?xún)?nèi)，甚至可為3微米(D = 400mm)。當(dāng)放入不同粘度、重量的研磨液，可使被研磨制件24(詳見(jiàn)圖 6)在研磨過(guò)程中受力更均勻，減薄或拋光得到的下表面更加光滑、平整。夾具20的下端部設(shè)置有一組或多組的氣孔組22，氣孔組22中的氣孔的一端貫通夾具20的下表面，另一端向上延伸與氣道23相連通，氣道23設(shè)置于夾具20內(nèi)部，并且氣道23的氣道口貫通夾具20的側(cè)表面，詳見(jiàn)圖5，示出了夾具20內(nèi)部的容置空間、氣孔組22 及氣道23。固定墊片21的上表面通過(guò)氣孔內(nèi)部壓力的作用與夾具20的下表面抵接，固定墊片21的下表面與被研磨制件M的上表面抵接，被研磨制件M的下表面用于與研磨機(jī)的研磨盤(pán)抵接。具體地，將固定墊片21貼合放置于氣孔組22外圍，在對(duì)氣道23的氣道口進(jìn)行抽真空處理(即抽氣操作)時(shí)，固定墊片21在壓力作用下能夠緊密吸附于氣孔組22外圍， 從而使固定墊片21均勻貼附在夾具20的下表面；在對(duì)氣道23的氣道口進(jìn)行進(jìn)氣操作時(shí)， 固定墊片21在壓力作用下能夠脫離夾具20的下表面。便于取出被研磨制件M，大大降低了報(bào)廢率，如圖6所示。固定墊片21只要實(shí)現(xiàn)與夾具20下表面的連接以及對(duì)被研磨制件 24的固定即可，優(yōu)選為真空膠墊。其中，夾具20可為大理石夾具，還可以為花崗巖夾具或陶瓷夾具；因此，夾具20的受壓形變很小，上下表面平整度和平行度能夠達(dá)到5微米以?xún)?nèi)，與金屬夾具的最佳平整度在10-20微米相比，其改進(jìn)效果顯著。其中，多組氣孔組22在夾具20的下表面上均勻分布，使被研磨制件M在研磨過(guò)程中受力更均勻。實(shí)際使用時(shí)，多組氣孔組22可以對(duì)應(yīng)一個(gè)固定墊片21，還可以對(duì)應(yīng)多個(gè)固定墊片21，其對(duì)應(yīng)關(guān)系并不進(jìn)行限定，但是，固定墊片21小于夾具20的下表面尺寸。其中，氣孔組22優(yōu)選為三組，三組氣孔組22在夾具20的下表面上均勻分布，即當(dāng)夾具20為圓桶狀時(shí)，三組氣孔組22以?shī)A具20下表面的圓心為中心均勻分布，則每?jī)山M氣孔組22之間到圓心的夾角為120度。氣孔組22并不限定三組，還可以為兩組、四組或其它任意適宜的組數(shù)，在實(shí)際使用時(shí)，可以根據(jù)夾具20下表面的大小、固定墊片21的大小等因素靈活設(shè)定。其中，每組氣孔組22優(yōu)選包含十二個(gè)氣孔，并不以此為限，還可以為十個(gè)、十六個(gè)或其它任意適宜的個(gè)數(shù)，在實(shí)際使用時(shí)，可以根據(jù)固定墊片21的大小等因素靈活設(shè)定。其中，當(dāng)固定墊片21采用真空膠墊時(shí)，真空膠墊的厚度為5mm以上，以保證真空膠墊在上述抽真空處理中不產(chǎn)生形變。在實(shí)際使用時(shí)，可以根據(jù)氣孔的數(shù)量以及大小、固定墊片21的材質(zhì)等因素具體設(shè)定固定墊片21的厚度。其中，固定墊片21的尺寸應(yīng)略小于被研磨制件M的尺寸，如圖6所示，以使被研磨制件M在研磨過(guò)程中受力更均勻。優(yōu)選地，固定墊片21的長(zhǎng)度、寬度比被研磨制件M的長(zhǎng)度、寬度小1-1. 5mm，在實(shí)際使用時(shí)，可以根據(jù)固定墊片21的材質(zhì)及大小、被研磨制件M 的材質(zhì)及大小等因素具體設(shè)定該差值。此外，本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件還可以包括有厚度調(diào)節(jié)件25，厚度調(diào)節(jié)件25設(shè)置于夾具20的側(cè)表面，且厚度調(diào)節(jié)件25的下表面應(yīng)當(dāng)與被研磨制件M研磨后的下表面相齊，如圖7所示。厚度調(diào)節(jié)件25可以通過(guò)螺絲等螺接于夾具20，還可以通過(guò)卡銷(xiāo)固定于夾具20，并不以此為限，其它任何能夠?qū)⒑穸日{(diào)節(jié)件25設(shè)置于夾具20上的方法或零部件均可。厚度調(diào)節(jié)件25有助于調(diào)整被研磨制件M的厚度，防止產(chǎn)生斜面，提高減薄平整度。厚度調(diào)節(jié)件25的形狀、大小、數(shù)量均不限定，可以根據(jù)被研磨制件M的情況進(jìn)行相應(yīng)設(shè)定。厚度調(diào)節(jié)件25應(yīng)由堅(jiān)硬耐磨以及平整度較好的材料制成，如陶瓷、金剛石等，優(yōu)選為陶瓷調(diào)節(jié)件。本實(shí)用新型還提供一種使用上述新型研磨機(jī)夾具組件的研磨機(jī)，可以提高被研磨制件表面平整度和平行度，從而提高光學(xué)效果。其中，該新型研磨機(jī)夾具組件的結(jié)構(gòu)連接、 連接關(guān)系均與上述描述相同，在此不再贅述。并且，新型研磨機(jī)夾具組件與研磨機(jī)其它組件的連接、組合關(guān)系，能夠被本領(lǐng)域的技術(shù)人員通過(guò)上述描述所理解和掌握，在此也不再贅述。以上所述，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，包括夾具，上端部設(shè)置有呈開(kāi)口狀的容置空間，下端部設(shè)置有一組或多組氣孔組，所述氣孔組中的氣孔的一端貫通所述夾具的下表面，所述氣孔的另一端向上延伸與氣道相連通，所述氣道設(shè)置于所述夾具內(nèi)部，所述氣道的氣道口貫通所述夾具的側(cè)表面；固定墊片，上表面通過(guò)所述氣孔內(nèi)部壓力的作用與所述夾具的下表面抵接，下表面與被研磨制件的上表面抵接。
2.如權(quán)利要求1所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述夾具為大理石夾具、花崗巖夾具或陶瓷夾具。
3.如權(quán)利要求1所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述多組氣孔組在所述夾具的下表面上均勻分布。
4.如權(quán)利要求3所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述氣孔組為三組。
5.如權(quán)利要求1所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述固定墊片為真空膠墊。
6.如權(quán)利要求5所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述真空膠墊的厚度為5mm 以上。
7.如權(quán)利要求1所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述固定墊片的尺寸比所述被研磨制件的尺寸小。
8.如權(quán)利要求7所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述固定墊片的長(zhǎng)度、寬度比所述被研磨制件的長(zhǎng)度、寬度小1-1. 5mm。
9.如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，該新型研磨機(jī)夾具組件還包括厚度調(diào)節(jié)件，設(shè)置于所述夾具的側(cè)表面，且該厚度調(diào)節(jié)件的下表面與所述被研磨制件研磨后的下表面相齊。
10.如權(quán)利要求9所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述厚度調(diào)節(jié)件螺接于所述夾具的所述側(cè)表面。
11.如權(quán)利要求9所述的新型研磨機(jī)夾具組件，其特征在于，所述厚度調(diào)節(jié)件為陶瓷調(diào)節(jié)件。
12.—種研磨機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1至11任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的新型研磨機(jī)夾具組件。專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種新型研磨機(jī)夾具組件，包括夾具，上端部設(shè)置有呈開(kāi)口狀的容置空間，下端部設(shè)置有一組或多組氣孔組，所述氣孔組中的氣孔的一端貫通所述夾具的下表面，所述氣孔的另一端向上延伸與氣道相連通，所述氣道設(shè)置于所述夾具內(nèi)部，所述氣道的氣道口貫通所述夾具的側(cè)表面；固定墊片，上表面通過(guò)所述氣孔內(nèi)部壓力的作用與所述夾具的下表面抵接，下表面與被研磨制件的上表面抵接。本實(shí)用新型還公開(kāi)了一種使用上述夾具組件的研磨機(jī)。本實(shí)用新型的新型研磨機(jī)夾具組件及研磨機(jī)，能夠提高被研磨制件表面平整度和平行度，從而提高光學(xué)效果。
文檔編號(hào)B24B37/00GK202045571SQ20112008566
公開(kāi)日2011年11月23日 申請(qǐng)日期2011年3月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月28日
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