專利名稱：旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種驅(qū)動端頭裝置，尤其涉及一種旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置。
背景技術(shù)：
目前生產(chǎn)鍍膜玻璃的設(shè)備中大多采用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內(nèi)，真空鍍膜室內(nèi)通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮氣或氬氣，在電磁場及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負電壓的陰極的吸引下，在磁場的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內(nèi)的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現(xiàn)有的設(shè)備驅(qū)動端頭構(gòu)造復(fù)雜，在需要替換靶材的時候往往會導(dǎo)致銜接出現(xiàn)縫隙，影響后續(xù)的使用。并且，現(xiàn)有的設(shè)備驅(qū)動端頭固定不可旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，不能適應(yīng)不同型號的靶材，提高了生產(chǎn)成本。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問題，提供一種旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置。為實現(xiàn)本實用新型的目的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，包括有基座，其中所述的基座上安裝有十字軸，所述的十字軸頂端設(shè)置有小齒輪，所述小齒輪的驅(qū)動端連接有轉(zhuǎn)接套，所述的轉(zhuǎn)接套外圍設(shè)置有六角軸套，所述的六角軸套上安裝有大齒輪；所述的轉(zhuǎn)接套內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動組件。進一步地，上述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其中，所述的驅(qū)動組件包括有封頭螺母，所述封頭螺母的頂端設(shè)置有過渡軸，所述的過渡軸頂端設(shè)置有軸頭，所述的軸頭外圍分布有六角主軸。更進一步地，上述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其中，所述的過渡軸外圍設(shè)置有銅套。更進一步地，上述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其中，所述的十字軸底部與基座的接觸部分設(shè)置有調(diào)整墊片。更進一步地，上述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其中，所述的十字軸外圍設(shè)置有0型圈。更進一步地，上述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其中，所述的0型圈頂端設(shè)置有骨架式油封組件。再進一步地，上述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其中，所述的轉(zhuǎn)接套外圍夾設(shè)有軸承。采用本實用新型技術(shù)方案，在靶材替換的時候，能夠有效減少拆裝步驟。更為重要的是，通過十字軸與轉(zhuǎn)接套的相互配合，可以有效傳遞驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)力，有利于靶材的順利工作。本實用 新型的目的、優(yōu)點和特點，將通過下面優(yōu)先實施例的非限制性說明進行圖示和解釋，這些實施例是參照附圖僅作為例子給出的。

圖1是旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置的構(gòu)造示意圖。
具體實施方式
如圖1所示的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，包括有基座1，其與眾不同之處在于本實用新型所采用的基座1上安裝有十字軸2，在十字軸2頂端設(shè)置有小齒輪3。并且，為了提升小齒輪3的順暢運轉(zhuǎn)，在小齒輪3的驅(qū)動端連接有轉(zhuǎn)接套4，該轉(zhuǎn)接套4外圍設(shè)置有六角軸套5，在六角軸套5上安裝有大齒輪6。并且，在轉(zhuǎn)接套4內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動組件。結(jié)合本實用新型一較佳的實施方式來看，為了便于驅(qū)動運轉(zhuǎn)的正確傳到，本實用新型采用的驅(qū)動組件包括有封頭螺母7，該封頭螺母7的頂端設(shè)置有過渡軸8。同時，在過渡軸8頂端設(shè)置有軸頭9，軸頭9外圍分布有六角主軸10。進一步來看，為了提升運轉(zhuǎn)的順暢程度，在過渡軸8外圍設(shè)置有銅套11。并且，考慮到適應(yīng)不同靶材加裝的需要，十字軸2底部與基座1的接觸部分設(shè)置有調(diào)整墊片12。再進一步來看，為了提升整體的密封效果，在十字軸2外圍設(shè)置有0型圈13。同時，在0型圈13頂端設(shè)置有骨架式油封組件14。當(dāng)然，考慮到各個零部件之間的順暢運轉(zhuǎn)， 在轉(zhuǎn)接套4外圍夾設(shè)有軸承15。通過上述的文字表述并結(jié)合附圖可以看出，采用本實用新型后，在靶材替換的時候，能夠有效減少拆裝步驟。更為重要的是，通過十字軸與轉(zhuǎn)接套的相互配合，可以有效傳遞驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)力，有利于靶材的順利工作。當(dāng)然，以上僅是本實用新型的具體應(yīng)用范例，對本實用新型的保護范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實施例外，本實用新型還可以有其它實施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實用新型所要求保護的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，包括有基座，其特征在于所述的基座上安裝有十字軸，所述的十字軸頂端設(shè)置有小齒輪，所述小齒輪的驅(qū)動端連接有轉(zhuǎn)接套，所述的轉(zhuǎn)接套外圍設(shè)置有六角軸套，所述的六角軸套上安裝有大齒輪；所述的轉(zhuǎn)接套內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其特征在于所述的驅(qū)動組件包括有封頭螺母，所述封頭螺母的頂端設(shè)置有過渡軸，所述的過渡軸頂端設(shè)置有軸頭，所述的軸頭外圍分布有六角主軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其特征在于所述的過渡軸外圍設(shè)置有銅套。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其特征在于所述的十字軸底部與基座的接觸部分設(shè)置有調(diào)整墊片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其特征在于所述的十字軸外圍設(shè)置有O型圈。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其特征在于所述的O型圈頂端設(shè)置有骨架式油封組件。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，其特征在于所述的轉(zhuǎn)接套外圍夾設(shè)有軸承。
專利摘要本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)靶用驅(qū)動端頭裝置，包括有基座，特點是基座上安裝有十字軸，十字軸頂端設(shè)置有小齒輪，該小齒輪的驅(qū)動端連接有轉(zhuǎn)接套，轉(zhuǎn)接套外圍設(shè)置有六角軸套，六角軸套上安裝有大齒輪；轉(zhuǎn)接套內(nèi)設(shè)置有驅(qū)動組件。由此，在靶材替換的時候，能夠有效減少拆裝步驟。更為重要的是，通過十字軸與轉(zhuǎn)接套的相互配合，可以有效傳遞驅(qū)動的旋轉(zhuǎn)力，有利于靶材的順利工作。
文檔編號C23C14/35GK202208756SQ20112022259
公開日2012年5月2日 申請日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月28日
發(fā)明者黃峰 申請人:黃峰