專利名稱：用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種端頭連接裝置，尤其涉及一種用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置。
背景技術(shù)：
目前生產(chǎn)鍍膜玻璃的設(shè)備中大多采用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內(nèi)，真空鍍膜室內(nèi)通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮?dú)饣驓鍤?，在電磁?chǎng)及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高 負(fù)電壓的陰極的吸引下，在磁場(chǎng)的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內(nèi)的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來(lái)，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現(xiàn)有的水電端頭結(jié)構(gòu)復(fù)雜，無(wú)法適應(yīng)不同靶材替換需要，不能進(jìn)行有效的旋轉(zhuǎn)調(diào)整。這樣，一旦替換靶材后容易出現(xiàn)銜接不穩(wěn)定，影響后期的維護(hù)與產(chǎn)品的鍍膜質(zhì)量。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問(wèn)題，提供一種用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置。為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，包括有座芯，其中所述的座芯上分別安裝有水管與導(dǎo)電桿；所述的座芯連接有殼體組件；所述的殼體組件一端設(shè)置有軸用擋圈，所述的殼體組件另一端設(shè)置有封蓋；所述的軸用擋圈尾端設(shè)置有骨架式油封組件；所述骨架式油封組件外圍套設(shè)有導(dǎo)電桿頭。進(jìn)一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其中，所述的座芯外圍設(shè)置有基座合件。更進(jìn)一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其中，所述的導(dǎo)電桿頂端設(shè)置有線卡。更進(jìn)一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其中，所述的導(dǎo)電桿外圍分布有套管，所述導(dǎo)電桿與套管之間設(shè)置有彈性緩沖組件。更進(jìn)一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其中，所述的彈性緩沖組件為彈黃。再進(jìn)一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其中，所述的軸用擋圈外圍設(shè)置有軸承。采用本實(shí)用新型技術(shù)方案，在靶材替換的時(shí)候，能夠有效減少拆裝步驟。更為重要的是，通過(guò)軸用擋圈與基座合件的相互配合，可以有效傳遞驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)力，有利于靶材的順利工作。本實(shí)用新型的目的、優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)，將通過(guò)下面優(yōu)先實(shí)施例的非限制性說(shuō)明進(jìn)行圖示和解釋，這些實(shí)施例是參照附圖僅作為例子給出的。
圖I是用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置的構(gòu)造示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I所示的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，包括有座芯1，其與眾不同之處本實(shí)用新型所采用的座芯I上分別安裝有水管2與導(dǎo)電桿3。同時(shí)，在座芯I連接有殼體組件4，該殼體組件4 一端設(shè)置有軸用擋圈5，并且殼體組件4另一端設(shè)置有封蓋6。并且，在軸用擋圈5尾端設(shè)置有骨架式油封組件7，骨架式油封組件7外圍套設(shè)有導(dǎo)電桿頭8。結(jié)合本實(shí)用新型一較佳的實(shí)施方式來(lái)看，為了提升整體的牢固程度，在座芯I外圍設(shè)置有基座合件9。并且，為了便于對(duì)電線線束的有效梳理，便于導(dǎo)電桿3的正常運(yùn)行，在導(dǎo)電桿3頂端設(shè)置有線卡10。進(jìn)一步來(lái)看，考慮到能夠加強(qiáng)導(dǎo)電桿3的整體強(qiáng)度，適應(yīng)后續(xù)靶材的運(yùn)轉(zhuǎn)與替換， 本實(shí)用新型在導(dǎo)電桿3外圍分布有套管11。同時(shí)，在導(dǎo)電桿3與套管11之間設(shè)置有彈性緩沖組件。當(dāng)然，為了加工制造的便捷，彈性緩沖組件為彈簧12。這樣，可以有效提升導(dǎo)電桿3的使用壽命。再者，為了便于水電端頭連接裝置配合靶材的安裝需要進(jìn)行適當(dāng)?shù)奈ㄒ徽{(diào)整，在軸用擋圈5外圍設(shè)置有軸承13。通過(guò)上述的文字表述并結(jié)合附圖可以看出，采用本實(shí)用新型后，在靶材替換的時(shí)候，能夠有效減少拆裝步驟。更為重要的是，通過(guò)軸用擋圈與基座合件的相互配合，可以有效傳遞驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)力，有利于靶材的順利工作。當(dāng)然，以上僅是本實(shí)用新型的具體應(yīng)用范例，對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其它實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，包括有座芯，其特征在于所述的座芯上分別安裝有水管與導(dǎo)電桿；所述的座芯連接有殼體組件；所述的殼體組件一端設(shè)置有軸用擋圈，所述的殼體組件另一端設(shè)置有封蓋；所述的軸用擋圈尾端設(shè)置有骨架式油封組件；所述骨架式油封組件外圍套設(shè)有導(dǎo)電桿頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其特征在于所述的座芯外圍設(shè)置有基座合件。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其特征在于所述的導(dǎo)電桿頂端設(shè)置有線卡。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其特征在于所述的導(dǎo)電桿外圍分布有套管，所述導(dǎo)電桿與套管之間設(shè)置有彈性緩沖組件。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其特征在于所述的彈性緩沖組件為彈簧。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，其特征在于所述的軸用擋圈外圍設(shè)置有軸承。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于旋轉(zhuǎn)靶的水電端頭連接裝置，包括有座芯，特點(diǎn)是座芯上分別安裝有水管與導(dǎo)電桿，座芯連接有殼體組件。并且，殼體組件一端設(shè)置有軸用擋圈，殼體組件另一端設(shè)置有封蓋。在軸用擋圈尾端設(shè)置有骨架式油封組件。同時(shí)，骨架式油封組件外圍套設(shè)有導(dǎo)電桿頭。這樣，在靶材替換的時(shí)候，能夠有效減少拆裝步驟。更為重要的是，通過(guò)軸用擋圈與基座合件的相互配合，可以有效傳遞驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)力，有利于靶材的順利工作。
文檔編號(hào)C23C14/35GK202576552SQ20112022259
公開(kāi)日2012年12月5日 申請(qǐng)日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月28日
發(fā)明者黃峰 申請(qǐng)人:黃峰