專(zhuān)利名稱(chēng)：用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種配電裝置，尤其涉及一種用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置。
背景技術(shù)：
目前生產(chǎn)鍍膜玻璃的設(shè)備中大多采用平面濺射陰極靶材，其工作原理是將需鍍膜的玻璃送入真空鍍膜室內(nèi)，真空鍍膜室內(nèi)通入一定量的高純工藝氣體一如氧氣、氮?dú)饣驓鍤?，在電磁?chǎng)及游離電子的作用下工藝氣體形成帶正電的等離子體，等離子體在載有高負(fù)電壓的陰極的吸引下，在磁場(chǎng)的控制下，按照一定的軌跡和力度轟擊固定安裝在真空鍍膜室內(nèi)的平面陰極靶材上的鍍膜用材料，鍍膜材料被氣體分子碰撞出來(lái)，按照一定方向沉積在玻璃上形成一定厚度的膜層。但是，現(xiàn)有的配電裝置采用了一體式的構(gòu)造無(wú)法進(jìn)行分離，由此導(dǎo)致了后續(xù)維護(hù)困難，提升了制造與維護(hù)成本。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的以上問(wèn)題，提供一種用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置。為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的目的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭，其中所述的導(dǎo)電桿頭頂端設(shè)置有容納槽，所述的容納槽內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。進(jìn)一步地，上述的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，其中，所述的電極碳刷組件包括有電極環(huán)，所述的電極環(huán)外圓周上分布有石墨片。采用本實(shí)用新型技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)了分離式的構(gòu)造，便于后續(xù)的維護(hù)與替換。同時(shí)，能夠有效適應(yīng)旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動(dòng)為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型的目的、優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)，將通過(guò)下面優(yōu)先實(shí)施例的非限制性說(shuō)明進(jìn)行圖示和解釋?zhuān)@些實(shí)施例是參照附圖僅作為例子給出的。

圖I是導(dǎo)電桿頭的構(gòu)造示意圖；圖2是電極環(huán)的構(gòu)造示意圖；圖3是旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置的構(gòu)造示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I 3所示的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭1，其特別之處在于本實(shí)用新型所采用的導(dǎo)電桿頭I頂端設(shè)置有容納槽2。同時(shí)，在容納槽2內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。結(jié)合本實(shí)用新型一較佳的實(shí)施方式來(lái)看，為了便于實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)靶后續(xù)的順暢運(yùn)轉(zhuǎn)，同時(shí)也為了滿足配電過(guò)程中的電流穩(wěn)定，在電極碳刷組件包括有電極環(huán)3，所述的電極環(huán)3外圓周上分布有石墨片4。進(jìn)一步來(lái)看，通過(guò)多次對(duì)比試驗(yàn)后發(fā)現(xiàn)石墨片4之間等距離分布后能夠?qū)⒄w的配電效果維持在較為優(yōu)化的狀態(tài)，有利于鍍膜中靶材組件的運(yùn)作。通過(guò)上述的文字表述并結(jié)合附圖可以看出，采用本實(shí)用新型后，實(shí)現(xiàn)了分離式的構(gòu)造，便于后續(xù)的維護(hù)與替換。同時(shí)，能夠有效適應(yīng)旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動(dòng)為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉(zhuǎn)。當(dāng)然，以上僅是本實(shí)用新型的具體應(yīng)用范例，對(duì)本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不構(gòu)成任何限制。除上述實(shí)施例外，本實(shí)用新型還可以有其它實(shí)施方式。凡采用等同替換或等效變換形成的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)?！?br> 權(quán)利要求1.用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭，其特征在于所述的導(dǎo)電桿頭頂端設(shè)置有容納槽，所述的容納槽內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，其特征在于所述的電極碳刷組件包括有電極環(huán)，所述的電極環(huán)外圓周上分布有石墨片。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于旋轉(zhuǎn)靶的配電裝置，包括有導(dǎo)電桿頭，特點(diǎn)是導(dǎo)電桿頭頂端設(shè)置有容納槽，容納槽內(nèi)設(shè)置有電極碳刷組件。由此，實(shí)現(xiàn)了分離式的構(gòu)造，便于后續(xù)的維護(hù)與替換。同時(shí)，能夠有效適應(yīng)旋轉(zhuǎn)式驅(qū)動(dòng)為主的鍍膜裝置使用需求，能夠順暢旋轉(zhuǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/34GK202595256SQ201120222610
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2011年6月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月28日
發(fā)明者黃峰 申請(qǐng)人:黃峰