專利名稱：大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔，特別涉及一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
非晶硅太陽能電池是20多年來國際上新發(fā)展起來的一項太陽能電池新技術(shù)。非晶硅薄膜太陽能電池的硅材料厚度只有1微米左右，是單晶硅太陽能電池硅材料厚度的 1/200-1/300，與單晶硅太陽能電池相比，制備這種薄膜所用硅原料很少，薄膜生長時間較短，設(shè)備制造簡單，容易大批量連續(xù)生產(chǎn)，根據(jù)國際上有關(guān)專家的估計，非晶硅薄膜太陽能電池是目前能大幅度降低成本的最有前途的太陽能電池。現(xiàn)有技術(shù)中，用于光伏組件規(guī)模制造的等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔，包括真空腔以及電極盒等主要部件。在制造光伏組件時，反應(yīng)腔需要在工藝真空與高真空狀態(tài)切換， 需要對反應(yīng)腔多次抽真空。當(dāng)反應(yīng)腔為大容積時，抽真空難度加大，并且抽高真空的分子泵在非真空環(huán)境中難以啟動到最高轉(zhuǎn)速，延長了抽真空的時間，降低了生產(chǎn)效率，對分子泵本身也造成損害。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的問題是提供一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。本實用新型一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，包括反應(yīng)腔和分子泵，所述分子泵與緩沖腔相連，緩沖腔通過連接管路與所述反應(yīng)腔相連，并在連接管路上設(shè)有開關(guān)閥，緩沖腔還與前級真空泵相連。本實用新型所述分子泵為四個。本實用新型所述連接管路連接在緩沖腔頂部。本實用新型所述分子泵與所述緩沖腔的底部相連通。本實用新型所述前級真空泵為羅茨泵。通過以上技術(shù)方案，本實用新型大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，通過在反應(yīng)腔與分子泵間加緩沖腔，使緩沖腔處于真空狀態(tài)，可以使分子泵很快達到最大轉(zhuǎn)速，節(jié)省對反應(yīng)腔進行抽高真空的時間；并且反應(yīng)腔不需高真空狀態(tài)只需真空狀態(tài)時， 可以不開啟或少開啟幾個分子泵，減少分子泵的開啟次數(shù)，延長分子泵的使用壽命。

圖1本實用新型抽真空系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，包括反應(yīng)腔和分子泵2，還包括緩沖腔，所述分子泵2與緩沖腔1相連，緩沖腔1通過連接管路5與反應(yīng)腔相連，并在連接管路5上設(shè)有開關(guān)閥4，緩沖腔1還與前級真空泵3相連。首先通過前級真空泵3將緩沖腔抽真空，緩沖腔真空后再開啟分子泵，此時分子泵在很短時間內(nèi)達到最大抽氣速度，打開開關(guān)閥4對反應(yīng)腔進行抽真空，本實用新型的抽真空系統(tǒng)滿足分子泵的開啟條件，節(jié)省對反應(yīng)腔進行抽真空的時間。上述分子泵2為四個，每個分子泵均與緩沖腔1的底部相連通；連接管路與緩沖腔1的頂部相連通，這樣從上往下可以加快氣體的流通，也增大抽真空的速度節(jié)省抽真空時間。前級真空泵可選用為羅茨泵等前級泵。在工藝過程中，通過在緩沖腔預(yù)抽高真空方式，靈活實現(xiàn)反應(yīng)腔工藝真空與高真空切換，縮短了工藝時間，并取得良好工藝重復(fù)性。緩沖腔頂部通過開關(guān)閥與反應(yīng)腔連接， 底部通過分子泵獲得高真空，控制開關(guān)開啟或關(guān)閉就可開始或結(jié)束對反應(yīng)腔進行抽真空， 很好的縮短了工藝時間。
權(quán)利要求1.一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，包括反應(yīng)腔和分子泵0)， 其特征在于，還包括緩沖腔(1)，所述分子泵( 與緩沖腔(1)相連，緩沖腔通過一連接管路 (5)與所述反應(yīng)腔相連，并在所述連接管路( 上設(shè)有開關(guān)閥G)，緩沖腔(1)還與前級真空泵⑶相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述分子泵(2)為四個。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述連接管路(5)連接在緩沖腔頂部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述分子泵(2)與所述緩沖腔的底部相連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述前級真空泵(3)為羅茨泵。
專利摘要本實用新型一種大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，包括反應(yīng)腔和分子泵，還包括緩沖腔，所述分子泵與緩沖腔相連，緩沖腔通過連接管路與所述反應(yīng)腔相連，并在連接管路上設(shè)有開關(guān)閥，緩沖腔還與前級真空泵相連。本實用新型大容積等離子化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔的抽真空系統(tǒng)，通過在反應(yīng)腔與分子泵間加緩沖腔，使緩沖腔處于真空狀態(tài)，可以使分子泵很快達到最大轉(zhuǎn)速，節(jié)省對反應(yīng)腔抽高真空的時間。
文檔編號C23C16/44GK202201970SQ20112028490
公開日2012年4月25日 申請日期2011年8月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月5日
發(fā)明者郭鋒 申請人:上海曙海太陽能有限公司