專利名稱:一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī), 它是在半導(dǎo)體晶片上面噴涂上一層鎳的裝置。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體晶片安裝在陶瓷板上制成致冷致熱器件,在現(xiàn)有技術(shù)中,所使用的半導(dǎo)體晶片外部沒有保護(hù)層,具有容易變質(zhì)的缺點(diǎn),時間一長,會影響器件的使用性能,在器件上面涂刷一層保護(hù)層具有容易污染、操作麻煩的缺點(diǎn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的就是針對上述缺點(diǎn),提供一種操作簡單、沒有污染的半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī),其特征是包括機(jī)架、高壓氣倉、輸送裝置、火花產(chǎn)生器、噴涂出口,所述的高壓氣倉是一個腔狀的結(jié)構(gòu)、接有進(jìn)氣管安裝在機(jī)架上;所述的輸送裝置中間是中空結(jié)構(gòu),中空結(jié)構(gòu)內(nèi)具有風(fēng)輪,風(fēng)輪向外接有兩個齒輪,兩個齒輪嚙合部位具有轄著鎳絲的結(jié)構(gòu),輸送裝置安裝在高壓氣倉的出口 ; 在輸送裝置的下面具有火花產(chǎn)生器,所述的火花產(chǎn)生器接鎳絲;所述的噴涂出口在輸送裝置的下面。進(jìn)一步的講,所述的風(fēng)輪的兩側(cè)各接有兩個齒輪。本實(shí)用新型的有益效果是這樣結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī)具有操作簡單、沒有污染、噴涂均勻的優(yōu)點(diǎn)。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。其中1、機(jī)架 2、高壓氣倉 3、輸送裝置 4、火花產(chǎn)生器 5、噴涂出口 6、進(jìn)氣管 7、齒輪 8、鎳絲。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的描述。如圖1所示,一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī),其特征是包括機(jī)架1、高壓氣倉2、輸送裝置 3、火花產(chǎn)生器4、噴涂出口 5,所述的高壓氣倉2是一個腔狀的結(jié)構(gòu)、接有進(jìn)氣管6安裝在機(jī)架1上;所述的輸送裝置3中間是中空結(jié)構(gòu),中空結(jié)構(gòu)內(nèi)具有風(fēng)輪,風(fēng)輪向外接有兩個齒輪 7,兩個齒輪7嚙合部位具有轄著鎳絲8的結(jié)構(gòu),輸送裝置3安裝在高壓氣倉2的出口 ;在輸送裝置3的下面具有火花產(chǎn)生器4,所述的火花產(chǎn)生器4接鎳絲8 ;所述的噴涂出口 5在輸送裝置3的下面。進(jìn)一步的講,所述的風(fēng)輪的兩側(cè)各接有兩個齒輪7,這樣就可以在輸送裝置的兩側(cè)同時輸進(jìn)鎳絲了。
權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī),其特征是包括機(jī)架、高壓氣倉、輸送裝置、火花產(chǎn)生器、噴涂出口,所述的高壓氣倉是一個腔狀的結(jié)構(gòu)、接有進(jìn)氣管安裝在機(jī)架上;所述的輸送裝置中間是中空結(jié)構(gòu),中空結(jié)構(gòu)內(nèi)具有風(fēng)輪,風(fēng)輪向外接有兩個齒輪,兩個齒輪嚙合部位具有轄著鎳絲的結(jié)構(gòu),輸送裝置安裝在高壓氣倉的出口 ;在輸送裝置的下面具有火花產(chǎn)生器,所述的火花產(chǎn)生器接鎳絲;所述的噴涂出口在輸送裝置的下面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī),其特征是所述的風(fēng)輪的兩側(cè)各接有兩個齒輪。
專利摘要本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī),一種半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī),它包括機(jī)架、高壓氣倉、輸送裝置、火花產(chǎn)生器、噴涂出口,所述的高壓氣倉是一個腔狀的結(jié)構(gòu)、接有進(jìn)氣管安裝在機(jī)架上;所述的輸送裝置中間是中空結(jié)構(gòu),中空結(jié)構(gòu)內(nèi)具有風(fēng)輪,風(fēng)輪向外接有兩個齒輪,兩個齒輪嚙合部位具有轄著鎳絲的結(jié)構(gòu),輸送裝置安裝在高壓氣倉的出口;在輸送裝置的下面具有火花產(chǎn)生器,所述的火花產(chǎn)生器接鎳絲;所述的噴涂出口在輸送裝置的下面,所述的風(fēng)輪的兩側(cè)各接有兩個齒輪,這樣結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體晶片噴涂機(jī)具有操作簡單、沒有污染、噴涂均勻的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號C23C4/12GK202246825SQ201120295949
公開日2012年5月30日 申請日期2011年8月16日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月16日
發(fā)明者劉寶成 申請人:河南恒昌電子有限公司