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一種多弧離子鍍用雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)鈦鋁靶材的制作方法

文檔序號:3383959閱讀:417來源:國知局
專利名稱:一種多弧離子鍍用雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)鈦鋁靶材的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型涉及鍍膜靶材領(lǐng)域,尤其是涉及一種用于多弧離子鍍的雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)鈦鋁靶材。
背景技術(shù)
鈦鋁靶材是一種新型的合金靶材,可廣泛用于工具、模具、刀具等物質(zhì)的功能鍍膜和裝飾性鍍膜;通常鈦鋁靶材在真空鍍膜機上使用時,必須要先機械加工出高精度的螺紋、 臺階、凹槽等不同形狀的零件,才能將其固定在真空鍍膜機的靶材基座上進行使用;但是現(xiàn)有鈦鋁合金靶材硬度很高,普通合金鋼甚至是硬質(zhì)合金的刀具都無法進行切削加工;同時,鈦鋁合金靶材很脆,在機械加工過程中如鉆孔、攻絲、車螺紋等工藝時,它很容易崩裂、 碎裂,造成加工的產(chǎn)品報廢,既影響了工作效率,又增加了成本;因而限制了該靶材的應(yīng)用。 此外,多弧離子鍍用鈦鋁靶材在使用過程中,會產(chǎn)生大量的熱量,現(xiàn)有鈦鋁靶材沒有設(shè)導(dǎo)熱層,造成靶材與基座之間散熱不良。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是,提供一種能滿足各種機械加工要求,且能實現(xiàn)靶材與基座之間散熱良好的鈦鋁靶材。本實用新型的鈦鋁靶材為雙層復(fù)合結(jié)構(gòu),其上層是鈦鋁靶材層,下層是鋁層;所述鈦鋁靶材層與鋁層通過鋁粉熱壓燒結(jié)連接。本實用新型的優(yōu)點(1)在鈦鋁靶材層的下方連接有一層鋁層后,由于鋁的機械加工性能良好,可以在該層金屬上加工出合格的螺紋、臺階等各種不同形狀產(chǎn)品;(2)鋁與鈦鋁合金熱膨脹系數(shù)匹配,而且鋁層的導(dǎo)熱性能優(yōu)良,可實現(xiàn)靶材與基座之間散熱良好; (3)鋁層與鈦鋁靶材界面通過熱壓燒結(jié)形成兩層不同材料之間的冶金結(jié)合,在使用過程中可以很好的解決由于熱膨脹不同引起的界面應(yīng)力,不會與鈦鋁合金靶材之間發(fā)生開裂、分離和變形,具有良好的實際應(yīng)用效果。

圖1為本實用新型實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式

以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型作進一步說明。 實施例本實施例之用于多弧離子鍍的鈦鋁靶材結(jié)構(gòu)為雙層復(fù)合結(jié)構(gòu),其上層是鈦鋁靶材層1,下層是鋁層2 ;所述鈦鋁靶材層與鋁層通過鋁粉熱壓燒結(jié)連接。所述雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)鈦鋁靶材加工過程如下
3[0010] 按照需要進行機械加工的厚度計算出所需金屬鋁粉300g,將該金屬鋁粉鋪在事先準備好的模具內(nèi),再將鈦鋁靶材也放入模具中與事先放入模具中的金屬鋁粉接觸;然后對其施加5MPa的壓力,同時將鋁粉和鈦鋁靶材一起加熱到800°C,保溫lOmin,使金屬鋁粉與鈦鋁靶材實現(xiàn)相互擴散,從而在鈦鋁靶材的一端形成一個燒結(jié)好的金屬鋁層,獲得一個雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)的鈦鋁靶材。
權(quán)利要求1. 一種多弧離子鍍的雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)鈦鋁靶材,其特征在于為雙層復(fù)合結(jié)構(gòu),其上層是鈦鋁靶材層,下層是鋁層;所述鈦鋁靶材層與鋁層通過鋁粉熱壓燒結(jié)連接。
專利摘要一種多弧離子鍍用雙層復(fù)合結(jié)構(gòu)鈦鋁靶材,為雙層復(fù)合結(jié)構(gòu),其上層是鈦鋁靶材層,下層是鋁層;所述鈦鋁靶材層與鋁層通過鋁粉熱壓燒結(jié)連接。本實用新型可以使靶材的鋁層滿足各種機械加工要求,且能通過鋁層實現(xiàn)靶材與基座之間散熱良好。
文檔編號C23C14/14GK202193837SQ201120327610
公開日2012年4月18日 申請日期2011年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月2日
發(fā)明者余鵬 申請人:余鵬
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