專利名稱：鉆石晶圓拋光機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及ー種鉆石晶圓拋光機(jī)。
背景技術(shù)：
目前，鉆石晶圓拋光機(jī)的各個(gè)主軸都為聯(lián)動(dòng)狀態(tài)，動(dòng)カ部分同時(shí)驅(qū)動(dòng)各主軸進(jìn)行聯(lián)動(dòng)工作，實(shí)際上由于不同鉆石晶圓需要加工的程度不同，現(xiàn)有拋光機(jī)同步加工的方式存在ー些弊端，即不能根據(jù)需要加工的鉆石情況選擇適當(dāng)?shù)募庸こ潭绒D(zhuǎn)速、正方轉(zhuǎn)、研磨時(shí)間等。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)目前現(xiàn)有狀況存在的問(wèn)題和不足，提出一種鉆石晶圓拋光機(jī)。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案一種鉆石晶圓拋光機(jī)，包括支架，磨盤，主軸機(jī)構(gòu)， 以及主軸機(jī)構(gòu)的動(dòng)カ系統(tǒng)和磨盤的動(dòng)カ系統(tǒng)，每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)獨(dú)立固定在支架上側(cè)，且每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)有獨(dú)立的動(dòng)カ系統(tǒng)；每個(gè)主軸的動(dòng)カ系統(tǒng)包括電機(jī)和減速機(jī)，電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)連接，減速機(jī)輸出軸上安裝的主動(dòng)齒輪與主軸上固定的從動(dòng)齒輪匹配嚙合。主軸動(dòng)カ系統(tǒng)的電機(jī)設(shè)置有正轉(zhuǎn)開關(guān)和反轉(zhuǎn)開關(guān)。主軸機(jī)構(gòu)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)部分和軸向頂緊部分，旋轉(zhuǎn)部分包括支撐外殼和軸承套，主軸中部匹配套裝于軸承套內(nèi)，主軸上端安裝有從動(dòng)齒輪，主軸下端連接有載物座；軸向頂緊部分的外殼固定在旋轉(zhuǎn)部分的外殼上端，軸向頂緊部分包括彈簧和活動(dòng)桿，活動(dòng)桿與主軸連接并摩擦配合。主軸機(jī)構(gòu)還包括鎖緊機(jī)構(gòu)，該鎖緊機(jī)構(gòu)是在旋轉(zhuǎn)部分的支撐外殼側(cè)面橫向安裝有旋緊螺栓，該旋緊螺栓的內(nèi)端頂壓在活動(dòng)桿上。主軸機(jī)構(gòu)的軸向頂緊部分還設(shè)置有加力裝置，該加カ裝置是在其外殼上端設(shè)置有軸向螺紋孔并匹配安裝有調(diào)節(jié)螺栓，該調(diào)節(jié)螺栓內(nèi)側(cè)與彈簧連接。本實(shí)用新型的積極效果本實(shí)用新型將主軸機(jī)構(gòu)設(shè)置為彼此獨(dú)立工作的方式，可以根據(jù)需要控制不同的主軸機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)時(shí)間，以及可以單獨(dú)調(diào)節(jié)每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)的加力程度，解決了不同鉆石晶圓實(shí)施不同加工程度的問(wèn)題，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用效果好，容易生產(chǎn)制造或改造，容易操作控制，非常利于推廣實(shí)施。


圖I是本實(shí)用新型側(cè)面結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)號(hào)I為支架，2為主軸機(jī)構(gòu)的動(dòng)力系統(tǒng)，3為主動(dòng)輪，4為旋轉(zhuǎn)部分的支撐外売，5為鎖緊機(jī)構(gòu)的旋鈕，6為軸向頂緊部分的外売，7為調(diào)節(jié)螺栓，8為加カ裝置的調(diào)節(jié)旋鈕,9為主軸，10為載物座，11為磨盤。
具體實(shí)施方式
參見圖，該鉆石晶圓拋光機(jī)包括支架1，磨盤11。每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)獨(dú)立固定在支架I 上側(cè)，且每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)有獨(dú)立的動(dòng)カ系統(tǒng)2。每個(gè)主軸的動(dòng)カ系統(tǒng)2包括電機(jī)和減速機(jī)，電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)連接，減速機(jī)輸出軸上安裝的主動(dòng)齒輪3與主軸9上固定的從動(dòng)齒輪匹配嚙合，從動(dòng)齒輪位于外殼內(nèi)，圖中未iU>/jN。主軸動(dòng)カ系統(tǒng)2的電機(jī)可以僅設(shè)置單向旋轉(zhuǎn)的開關(guān)，也可以設(shè)置有正轉(zhuǎn)開關(guān)和反轉(zhuǎn)開關(guān)。本實(shí)施例中，主軸機(jī)構(gòu)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)部分和軸向頂緊部分。其中，旋轉(zhuǎn)部分包括支撐外殼4和軸承套(位于支撐外殼4內(nèi)側(cè))，主軸9的中部匹配套裝于軸承套內(nèi)，主軸9上端安裝有從動(dòng)齒輪，主軸9下端連接有載物座10。軸向頂緊部分的外殼6固定在旋轉(zhuǎn)部分的外殼4上端，軸向頂緊部分包括彈簧和活動(dòng)桿(均位于其外殼內(nèi))，并且軸向頂緊部分還設(shè)置有加力裝置，該加カ裝置是在其外殼6上端設(shè)置有軸向螺紋孔并匹配安裝有調(diào)節(jié)螺栓7，該調(diào)節(jié)螺栓7內(nèi)側(cè)與彈簧連接，調(diào)節(jié)螺桿7上端安裝有旋鈕8?；顒?dòng)桿與主軸9連接并摩擦配
ム
ロ o同時(shí)，主軸機(jī)構(gòu)還包括鎖緊機(jī)構(gòu)，該鎖緊機(jī)構(gòu)是在旋轉(zhuǎn)部分的支撐外殼4的側(cè)面橫向安裝有旋緊螺栓，該旋緊螺栓的內(nèi)端頂壓在活動(dòng)桿上，其外側(cè)設(shè)置為旋鈕5。
權(quán)利要求1.一種鉆石晶圓拋光機(jī)，包括支架，磨盤，主軸機(jī)構(gòu)，以及主軸機(jī)構(gòu)的動(dòng)カ系統(tǒng)和磨盤的動(dòng)カ系統(tǒng)，其特征是每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)獨(dú)立固定在支架上側(cè)，且每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)有獨(dú)立的動(dòng)カ 系統(tǒng)；每個(gè)主軸的動(dòng)カ系統(tǒng)包括電機(jī)和減速機(jī)，電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)連接，減速機(jī)輸出軸上安裝的主動(dòng)齒輪與主軸上固定的從動(dòng)齒輪匹配嚙合。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鉆石晶圓拋光機(jī)，其特征是主軸動(dòng)カ系統(tǒng)的電機(jī)設(shè)置有正轉(zhuǎn)開關(guān)和反轉(zhuǎn)開關(guān)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鉆石晶圓拋光機(jī)，其特征是主軸機(jī)構(gòu)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)部分和軸向頂緊部分，旋轉(zhuǎn)部分包括支撐外殼和軸承套，主軸中部匹配套裝于軸承套內(nèi)，主軸上端安裝有從動(dòng)齒輪，主軸下端連接有載物座；軸向頂緊部分的外殼固定在旋轉(zhuǎn)部分的外殼上端， 軸向頂緊部分包括彈簧和活動(dòng)桿，活動(dòng)桿與主軸連接并摩擦配合。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鉆石晶圓拋光機(jī)，其特征是主軸機(jī)構(gòu)還包括鎖緊機(jī)構(gòu)，該鎖緊機(jī)構(gòu)是在旋轉(zhuǎn)部分的支撐外殼側(cè)面橫向安裝有旋緊螺栓，該旋緊螺栓的內(nèi)端頂壓在活動(dòng)桿上。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的鉆石晶圓拋光機(jī)，其特征是主軸機(jī)構(gòu)的軸向頂緊部分還設(shè)置有加力裝置，該加カ裝置是在其外殼上端設(shè)置有軸向螺紋孔并匹配安裝有調(diào)節(jié)螺栓，該調(diào)節(jié)螺栓內(nèi)側(cè)與彈簧連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種鉆石晶圓拋光機(jī)，包括支架，磨盤，主軸機(jī)構(gòu)，以及主軸機(jī)構(gòu)的動(dòng)力系統(tǒng)和磨盤的動(dòng)力系統(tǒng)，每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)獨(dú)立固定在支架上側(cè)，且每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)有獨(dú)立的動(dòng)力系統(tǒng)；每個(gè)主軸的動(dòng)力系統(tǒng)包括電機(jī)和減速機(jī)，電機(jī)與減速機(jī)傳動(dòng)連接，減速機(jī)輸出軸上安裝的主動(dòng)齒輪與主軸上固定的從動(dòng)齒輪匹配嚙合。本實(shí)用新型將主軸機(jī)構(gòu)設(shè)置為彼此獨(dú)立工作的方式，可以根據(jù)需要控制不同的主軸機(jī)構(gòu)的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)方向和旋轉(zhuǎn)時(shí)間，以及可以單獨(dú)調(diào)節(jié)每個(gè)主軸機(jī)構(gòu)的加力程度，解決了不同鉆石晶圓實(shí)施不同加工程度的問(wèn)題，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用效果好，容易生產(chǎn)制造或改造，容易操作控制，非常利于推廣實(shí)施。
文檔編號(hào)B24B29/02GK202336791SQ20112048460
公開日2012年7月18日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月29日
發(fā)明者廖治國(guó), 溫峰城, 苑執(zhí)中 申請(qǐng)人:臺(tái)鉆科技(鄭州)有限公司