專(zhuān)利名稱(chēng)：鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及鉆石晶圓拋光機(jī)改進(jìn)技術(shù)，具體涉及一種鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置。
背景技術(shù)：
對(duì)鉆石晶圓加工利用中使用的拋光機(jī)，其根據(jù)磨削量，主軸在高速旋轉(zhuǎn)的同時(shí)還要沿軸向磨盤(pán)ー個(gè)推力，以確保磨削力度和磨削補(bǔ)償。同時(shí)，還要考慮加力的大小，滿(mǎn)足對(duì)不同鉆石進(jìn)行不同程度的加力要求?，F(xiàn)有的鉆石晶圓拋光機(jī)主軸雖然采用了弾性加力裝置，但是還存在對(duì)所加力的力度調(diào)整問(wèn)題。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型針對(duì)目前現(xiàn)有狀況存在的問(wèn)題和不足，提出一種鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案一種鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置，包括一個(gè)套管式的外売，該外殼內(nèi)腔設(shè)置有臺(tái)階面，臺(tái)階面上側(cè)為軸向螺紋孔，臺(tái)階面下側(cè)為軸向通孔，所述軸向螺紋孔中安裝有調(diào)節(jié)螺桿，軸向通孔內(nèi)套裝有彈簧，彈簧下端連接活動(dòng)桿，該活動(dòng)桿的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動(dòng)，活動(dòng)桿下端與主軸滑動(dòng)配合。調(diào)節(jié)螺桿與彈簧之間可以設(shè)置墊片。彈簧與活動(dòng)桿之間可以設(shè)置墊片。本實(shí)用新型的積極效果在活動(dòng)桿與彈簧上側(cè)設(shè)置調(diào)節(jié)螺桿，通過(guò)選擇調(diào)節(jié)螺桿進(jìn)行加力，其加力的大小可以隨時(shí)調(diào)整，滿(mǎn)足加工需求，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易制造或改造，操作簡(jiǎn)便，控制精度高，非常利于推廣實(shí)施。


圖I是本實(shí)用新型剖面結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標(biāo)號(hào)I為外売，2為調(diào)節(jié)螺桿，3為(外殼內(nèi)腔的)軸向通孔，4為活動(dòng)桿，5為彈簧。
具體實(shí)施方式
參見(jiàn)圖1，該鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置包括一個(gè)套管式的外殼1，該外殼I內(nèi)腔設(shè)置有臺(tái)階面，臺(tái)階面上側(cè)為軸向螺紋孔，軸向螺紋孔中安裝有調(diào)節(jié)螺桿。臺(tái)階面下側(cè)為軸向通孔3，軸向通孔3內(nèi)套裝有彈簧5，彈簧5下端連接活動(dòng)桿4，該活動(dòng)桿4的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動(dòng)，活動(dòng)桿4下端與主軸滑動(dòng)配合。同時(shí)，還可以在調(diào)節(jié)螺桿與彈簧之間設(shè)置墊片，以及在彈簧與活動(dòng)桿之間設(shè)置墊片。
權(quán)利要求1.一種鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置，其特征是包括一個(gè)套管式的外売，該外殼內(nèi)腔設(shè)置有臺(tái)階面，臺(tái)階面上側(cè)為軸向螺紋孔，臺(tái)階面下側(cè)為軸向通孔，所述軸向螺紋孔中安裝有調(diào)節(jié)螺桿，軸向通孔內(nèi)套裝有彈簧，彈簧下端連接活動(dòng)桿，該活動(dòng)桿的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動(dòng)，活動(dòng)桿下端與主軸滑動(dòng)配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置，其特征是調(diào)節(jié)螺桿與彈簧之間設(shè)置有墊片。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置，其特征是彈簧與活動(dòng)桿之間設(shè)置有墊片。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種鉆石晶圓拋光機(jī)加力裝置，包括一個(gè)套管式的外殼，該外殼內(nèi)腔設(shè)置有臺(tái)階面，臺(tái)階面上側(cè)為軸向螺紋孔，臺(tái)階面下側(cè)為軸向通孔，所述軸向螺紋孔中安裝有調(diào)節(jié)螺桿，軸向通孔內(nèi)套裝有彈簧，彈簧下端連接活動(dòng)桿，該活動(dòng)桿的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動(dòng)，活動(dòng)桿下端與主軸滑動(dòng)配合，本實(shí)用新型是在活動(dòng)桿與彈簧上側(cè)設(shè)置調(diào)節(jié)螺桿，通過(guò)選擇調(diào)節(jié)螺桿進(jìn)行加力，其加力的大小可以隨時(shí)調(diào)整，滿(mǎn)足加工需求，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，容易制造或改造，操作簡(jiǎn)便，控制精度高，非常利于推廣實(shí)施。
文檔編號(hào)B24B9/16GK202399110SQ20112048462
公開(kāi)日2012年8月29日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月29日
發(fā)明者廖治國(guó), 溫峰城, 苑執(zhí)中 申請(qǐng)人:臺(tái)鉆科技(鄭州)有限公司