專(zhuān)利名稱(chēng)：一種傳動(dòng)加熱系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，具體地講是涉及一種化學(xué)氣相淀積工藝反應(yīng)腔室中的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
光伏應(yīng)用的未來(lái)市場(chǎng)發(fā)展，特別是用于與電網(wǎng)相連的光伏電廠的應(yīng)用，關(guān)鍵取決于降低太陽(yáng)能電池生產(chǎn)成本的潛力。薄膜太陽(yáng)能電池生產(chǎn)過(guò)程能耗低，具備大幅度降低原材料和制造成本的潛力；同時(shí)，薄膜太陽(yáng)能電池在弱光條件下仍可發(fā)電。因此，目前市場(chǎng)對(duì)薄膜太陽(yáng)能電池的需求正逐漸增長(zhǎng)，而制造薄膜太陽(yáng)能電池的技術(shù)更成為近年來(lái)的研究熱點(diǎn)。ZnO是一種N型直接帶隙半導(dǎo)體材料，室溫下禁帶寬度Eg為3. 37eV。由于其原材料豐富且無(wú)毒，具有高電導(dǎo)和高透過(guò)率，并且在H等離子體環(huán)境中性能穩(wěn)定，因此，在太陽(yáng)能電池領(lǐng)域，ZnO作為透明導(dǎo)電氧化物薄膜可進(jìn)一步提高Si薄膜太陽(yáng)能電池的效率和穩(wěn)定性，加快產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程。作為陷光結(jié)構(gòu)的絨面ZnO薄膜前電極和背反射電極顯得尤為重要。ZnO的生長(zhǎng)方法有很多，包括脈沖激光沉積、低壓金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積、射頻/中頻/直流濺射、電子束和熱反應(yīng)蒸發(fā)、等離子體化學(xué)氣相沉積、噴霧熱分解和溶膠-凝膠法等，其中低壓金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積是目前普遍被采用和工業(yè)化的方法。在低壓金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積中，玻璃基板靠傳動(dòng)裝置輸送到金屬氣體反應(yīng)腔內(nèi)，由于該氣體在溫度200°C時(shí)反應(yīng)最強(qiáng)烈，所以在反應(yīng)過(guò)程中，玻璃基板是被放置在加熱板上進(jìn)行沉積的。由滾輪輸送到玻璃基板被放置在加熱板上這一過(guò)程如下當(dāng)玻璃被滾輪輸送到預(yù)定位置后，由位于加熱板下方的頂針系統(tǒng)升起托住玻璃基板從而離開(kāi)滾輪，這時(shí)滾輪系統(tǒng)向兩側(cè)收縮讓開(kāi)玻璃下方所在區(qū)域，之后頂針系統(tǒng)下降將玻璃放置在加熱板表 面，再開(kāi)始進(jìn)行后續(xù)的工藝。由此可以看出，整個(gè)工藝腔室的傳輸系統(tǒng)主要由可升降的頂針系統(tǒng)、可伸縮的玻璃傳送裝置系統(tǒng)等組成?？缮档捻斸樝到y(tǒng)主要由升降氣缸、頂針托盤(pán)、頂針等組成。可伸縮玻璃傳送裝置系統(tǒng)又是主要由傳送滾輪裝置、金屬波紋管、伸縮滑臺(tái)、伸縮滑臺(tái)氣缸組件、伸縮滑臺(tái)滑動(dòng)軌道等組成。如圖1、2所示，具體結(jié)構(gòu)包括玻璃基板的傳送裝置I、傳送裝置的伸縮驅(qū)動(dòng)滑臺(tái)2、金屬波紋管3、工藝反應(yīng)腔室4、真空裝置抽口 5、加熱臺(tái)6、加熱板頂針孔7、金屬波紋管連接法蘭8、傳送裝置滑臺(tái)滑軌9、頂針10、頂針托盤(pán)11和升降氣缸12等。另外還包括傳送裝置伸縮滑臺(tái)的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)等。可以看出，該種傳動(dòng)加熱的整體結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜。同時(shí)，由于傳送物玻璃的性質(zhì)，所以頂針系統(tǒng)在升降的過(guò)程中運(yùn)動(dòng)的速度都是十分緩慢的，否則會(huì)導(dǎo)致玻璃的破碎。另外由于玻璃是和頂針系統(tǒng)托盤(pán)上的頂針接觸的，玻璃是面和點(diǎn)的接觸，在真空及高溫的條件下，由于玻璃基板材質(zhì)的特殊性，這同樣增加了玻璃在真空腔室內(nèi)破碎的風(fēng)險(xiǎn)。對(duì)于玻璃滾動(dòng)傳輸系統(tǒng)而言，由于滾動(dòng)傳輸系統(tǒng)的滑臺(tái)部分與腔室側(cè)壁的連接時(shí)通過(guò)波紋管來(lái)連接的，波紋管是柔性的，這大大增加了滑臺(tái)上的滾動(dòng)傳輸裝置在腔室內(nèi)部傳輸?shù)乃叫哉{(diào)整的難度。同時(shí)金屬波紋管是具有設(shè)計(jì)使用壽命的部件，其設(shè)計(jì)使用壽命遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于玻璃傳送滾動(dòng)裝置與氣體反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì)使用壽命。所以整套傳輸系統(tǒng)既很復(fù)雜且可靠性得不到保證，同時(shí)玻璃基板破碎的風(fēng)險(xiǎn)較大。從另外的角度講，由于頂針系統(tǒng)的存在及這樣的一種玻璃升降的方式，加大了加熱臺(tái)下部的空間的尺寸，從而加大了真空泵的功率及降低了氣體的使用效率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供了一種化學(xué)氣相淀積工藝反應(yīng)腔室中的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，極大地簡(jiǎn)化了傳輸和加熱結(jié)構(gòu)，降低了成本；加強(qiáng)了傳輸穩(wěn)定性，降低了玻璃基板破碎率，易于維護(hù)和調(diào)整。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型技術(shù)方案如下一種傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，包括安裝在反應(yīng)腔室側(cè)壁上的滾輪傳動(dòng)裝置和設(shè)于反應(yīng)腔室 底部的升降支撐裝置，加熱板直接設(shè)在升降支撐裝置上，加熱板靠近傳動(dòng)滾輪的兩側(cè)邊緣設(shè)有使傳動(dòng)滾輪通過(guò)的凹槽。所述滾輪傳動(dòng)裝置包括滾輪、僅支持徑向運(yùn)動(dòng)而不支持軸向運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)軸和帶動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)。所述升降支撐裝置包括加熱板托架和帶動(dòng)加熱板托架上下移動(dòng)的升降氣缸。在反應(yīng)腔室以及加熱板等設(shè)計(jì)時(shí)，可以按照比預(yù)定尺寸或標(biāo)準(zhǔn)尺寸稍大一些的尺寸設(shè)計(jì)，至少保證玻璃基板鍍膜、磨邊完成后其尺寸能夠不小于該預(yù)定尺寸或標(biāo)準(zhǔn)尺寸?；谏鲜龅膫鲃?dòng)加熱系統(tǒng)的傳動(dòng)加熱方法，當(dāng)反應(yīng)物進(jìn)入到反應(yīng)腔室內(nèi)部，滾輪傳動(dòng)裝置將反應(yīng)物傳送到工作位置，升降支撐裝置將加熱板升起，穿過(guò)滾輪，將反應(yīng)物托起并使其離開(kāi)滾輪，開(kāi)始加熱過(guò)程；加熱過(guò)程結(jié)束后，升降支撐裝置帶動(dòng)加熱板及反應(yīng)物下降，加熱板穿過(guò)滾輪回到原位，反應(yīng)物重新落在滾輪上，滾輪傳動(dòng)裝置將反應(yīng)物出送出反應(yīng)腔室。反應(yīng)物為玻璃基板。加熱板與玻璃基板為面-面接觸。玻璃基板被傳送出反應(yīng)腔室后，經(jīng)過(guò)磨邊工藝，將其磨至預(yù)定尺寸或標(biāo)準(zhǔn)尺寸。本實(shí)用新型提供的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，改變了現(xiàn)有技術(shù)中的滾輪傳動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)，省去了金屬波紋管，滾動(dòng)裝置滑臺(tái)，滾動(dòng)裝置滑臺(tái)滑軌，滾動(dòng)裝置伸縮驅(qū)動(dòng)氣缸等裝置；除保留升降氣缸外，將現(xiàn)有技術(shù)中的頂針系統(tǒng)去除，包括頂針托盤(pán)，頂針等；直接降低了設(shè)備成本，更重要的是有效降低了玻璃基板在傳送過(guò)程中破碎的風(fēng)險(xiǎn)，間接降低了生產(chǎn)成本。同時(shí)將加熱板的外形結(jié)構(gòu)做相應(yīng)的改變，以使加熱板在升降的過(guò)程中與滾輪不發(fā)生干涉，極大的提高了傳輸系統(tǒng)的穩(wěn)定性，整個(gè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于調(diào)整和維護(hù)。

圖I是傳統(tǒng)傳動(dòng)加熱系統(tǒng)俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是傳統(tǒng)傳動(dòng)加熱系統(tǒng)剖面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)俯視結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本實(shí)用新型的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。實(shí)施例I一種傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，如圖3、4所示，包括安裝在反應(yīng)腔室側(cè)壁上的滾輪傳動(dòng)裝置和設(shè)于反應(yīng)腔室底部的升降支撐裝置，加熱板6直接設(shè)在升降支撐裝置上，加熱板6靠近滾輪13的兩側(cè)邊緣設(shè)有使?jié)L輪13通過(guò)的凹槽14。滾輪傳動(dòng)裝置包括滾輪13、僅支持徑向運(yùn)動(dòng)而不支持軸向運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)軸16和帶動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)15。升降支撐裝置包括加熱板托架17和帶動(dòng)加熱板托架17上下移動(dòng)的升降氣缸12。基于上述的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)的傳動(dòng)加熱方法，當(dāng)玻璃基板進(jìn)入到反應(yīng)腔室內(nèi)部，滾輪傳動(dòng)裝置將玻璃基板傳送到工作位置，升降支撐裝置將加熱板6升起，穿過(guò)滾輪13，將玻璃基板托起并使其離開(kāi)滾輪13，加熱板6與玻璃基板為面-面接觸，然后開(kāi)始加熱過(guò)程；力口熱過(guò)程結(jié)束后，升降支撐裝置帶動(dòng)加熱板6及玻璃基板下降，加熱板6穿過(guò)滾輪13回到原位，玻璃基板重新落在滾輪13上，滾輪傳動(dòng)裝置將玻璃基板出送出反應(yīng)腔室。玻璃基板被傳送出反應(yīng)腔室后，經(jīng)過(guò)磨邊工藝，將其磨至預(yù)定尺寸。
權(quán)利要求1.一種傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，包括安裝在反應(yīng)腔室側(cè)壁上的滾輪傳動(dòng)裝置和設(shè)于反應(yīng)腔室底部的升降支撐裝置，其特征在于加熱板直接設(shè)在升降支撐裝置上，加熱板靠近傳動(dòng)滾輪的兩側(cè)邊緣設(shè)有使傳動(dòng)滾輪通過(guò)的凹槽。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，其特征在于所述滾輪傳動(dòng)裝置包括滾輪、僅支持徑向運(yùn)動(dòng)而不支持軸向運(yùn)動(dòng)的傳動(dòng)軸和帶動(dòng)傳動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的電機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，其特征在于所述升降支撐裝置包括加熱板托架和帶動(dòng)加熱板托架上下移動(dòng)的升降氣缸。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型涉及一種傳動(dòng)加熱系統(tǒng)，具體地講是涉及一種化學(xué)氣相淀積工藝反應(yīng)腔室中的傳動(dòng)加熱系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括安裝在反應(yīng)腔室側(cè)壁上的滾輪傳動(dòng)裝置和設(shè)于反應(yīng)腔室底部的升降支撐裝置，加熱板直接設(shè)在升降支撐裝置上，加熱板靠近傳動(dòng)滾輪的兩側(cè)邊緣設(shè)有使傳動(dòng)滾輪通過(guò)的凹槽。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，極大地簡(jiǎn)化了傳輸和加熱結(jié)構(gòu)，降低了成本；加強(qiáng)了傳輸穩(wěn)定性，降低了玻璃基板破碎率，易于維護(hù)和調(diào)整。
文檔編號(hào)C23C16/46GK202380086SQ20112053422
公開(kāi)日2012年8月15日 申請(qǐng)日期2011年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月19日
發(fā)明者吳國(guó)發(fā), 崔軍, 辛科 申請(qǐng)人:漢能科技有限公司