專利名稱：一種石英管鎖套的保護裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及太陽能電池制造技術領域，尤其涉及一種石英管鎖套的保護裝置。
背景技術：
PECVD，即等離子增強化學氣相沉積，是太陽能電池生產中一個必不可少的工序。而PECVD工序具體是指通過等離子增強化學氣相沉積在硅片表面形成一層起到減反射和鈍化效果的氮化硅薄膜。在太陽能電池生產過程中，需要使用到石英管，而且石英管的兩端通過鎖套固定在生產設備的內部。其中，鎖套上均勻分布有六個圓孔，便于扳手鎖緊鎖套，使其穩(wěn)定固定在生產設備的內部。在太陽能電池生產過程中，受生產工藝的要求，氮化硅會時刻產生，若鎖套沒有任何保護裝置，直接裸露在設備內部，會導致大量氮化硅附著在鎖套上，從而堵塞鎖套上的鎖孔，造成設備維護時專用維護工具的磨損，而且使得不能準確地取出鎖套?，F有技術中起先經常采用電鉆鋼銼打磨或氫氟酸清洗的方法來處理鎖套表面的氮化硅，但是這種方法會給鎖套造成嚴重的損壞。后來，采用在鎖套外圍安裝一種半月形保護擋板，這種保護擋板上面有兩個橢圓形圓孔，通過懸掛在特氣管路的兩個固定螺絲上進行緊固。雖然這種方法在一定程度上解決了鎖孔堵塞的問題，但是，由于這種半月形的保護擋板只能遮擋住鎖套的上半部分，而生產過程中產生的氮化硅會從下面裸露的部分進入上半部分，最終仍導致整個鎖套堵塞，而且由于擋板本身較薄容易變形，從而導致卡點錯位無法安裝，而且由于卡點是安裝在特氣管路上的，更換卡點時需要拆卸特氣管路，操作起來很復雜，而且需要很長時間。

實用新型內容為解決上述技術問題，本實用新型實施例提供了一種石英管鎖套的保護裝置，該保護裝置能夠完全將鎖套遮擋住，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側面的附著，避免了鎖套被堵塞的現象，而且該保護裝置的固定方式操作簡單，便于安裝，從而減少了維護時間。為解決上述問題，本實用新型實施例提供了如下技術方案一種石英管鎖套的保護裝置，該保護裝置包括空心圓柱形側壁以及與所述側壁相連的圓環(huán)形頂蓋；其中，所述側壁與所述頂蓋為一整體結構，且所述側壁上具有貫穿所述側壁的固位孔。優(yōu)選的，所述側壁內半徑為34. 5mm ;所述頂蓋的內半徑為28mm ;所述頂蓋的外半徑為37. 5mm ;其中，所述頂蓋的外半徑包括側壁的厚度，所述側壁的厚度為3mm。優(yōu)選的，所述保護裝置整體的高度為25. 5_，其中包括頂蓋的高度，所述頂蓋的高度為4. 5_。優(yōu)選的，所述固位孔為空心圓柱形。優(yōu)選的，所述固位孔的內側壁表面具有螺紋，且所述保護裝置通過螺母固定在所述鎖套上。優(yōu)選的,所述固位孔的內徑為5mm。優(yōu)選的，所述固位孔距離所述側壁底端5mm。優(yōu)選的，所述保護裝置的材質為不銹鋼。與現有技術相比，上述技術方案具有以下優(yōu)點本實用新型實施例所提供的石英管鎖套的保護裝置，采用空心圓柱形側壁和圓環(huán)形頂蓋可將石英管鎖套包裹起來，且鎖套的側壁被所述空心圓柱形側壁完全包覆，因此能夠有效地阻擋氮化硅對鎖套側面的附著，避免了鎖孔被堵塞的現象。而且該保護裝置側壁上設有貫穿所述側壁的固位孔，在安裝時只要將所述保護裝置套在石英管上，在鎖死鎖套后利用所述側壁上的固位孔將所述保護裝置固定在所述鎖套上，操作簡單，便于安裝，從而減少了維護時間。

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實用新型實施例所提供的保護裝置的結構示意圖；圖2為本實用新型實施例所提供的保護裝置的結構的俯視圖；圖3為本實用新型實施例所提供的保護裝置的結構的側視圖。圖I 3中示出了 頂蓋I、側壁2以及固位孔3。
具體實施方式
下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。在下面的描述中闡述了很多具體細節(jié)以便于充分理解本實用新型，但是本實用新型還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實施，本領域技術人員可以在不違背本實用新型內涵的情況下做類似推廣，因此本實用新型不受下面公開的具體實施例的限制。其次，本實用新型結合示意圖進行詳細描述，在詳述本實用新型實施例時，為便于說明，表示器件結構的剖面圖會不依一般比例作局部放大，而且所述示意圖只是示例，其在此不應限制本實用新型保護的范圍。此外，在實際制作中應包含長度、寬度及深度的三維空間尺寸。正如背景技術部分所述，現有技術中采用在鎖套外圍安裝一種半月形保護擋板，來阻擋氮化硅對鎖套側面的附著，雖然這種方法在一定程度上解決了鎖孔堵塞的問題，但是，由于這種半月形的保護擋板只能遮擋住鎖套的上半部分，而生產過程中產生的氮化硅會從下面裸露的部分進入上半部分，最終仍導致整個鎖套堵塞，而且該半月形保護擋板的安裝較為復雜，需要很長時間，從而延長了設備的維護時間。[0025]有鑒于此，本實用新型實施例提供了一種石英管鎖套的保護裝置，
以下結合附圖對本實用新型實施例中所提供的保護裝置進行詳細的描述參考圖1，圖I為本實用新型實施例所提供的保護裝置的結構示意圖，該保護裝置包括空心圓柱形側壁2以及與所述側壁2相連的圓環(huán)形頂蓋I ;其中，所述側壁2與所述頂蓋I為一整體結構，且所述側壁2上具有貫穿所述側壁2的固位孔3。由于鎖套包含內徑不同的兩個環(huán)面，因此，本實用新型實施例中所提供的保護裝置的頂蓋I的內半徑與所述側壁2的內半徑也不相同。如圖2所示，本實施例中所述圓環(huán)形頂蓋I的內半徑b為28mm,所述圓環(huán)形頂蓋I的外半徑a為37. 5mm ;而所述空心圓柱形側壁2的內半徑c為34. 5mm,既能使保護裝置在鎖套上來回移動，又能很好的阻擋氮化硅附著在鎖套側面(鎖套上內徑較大的環(huán)面)上；所述空心圓柱形側壁2的外半徑也為37. 5mm, BP所述側壁2的外半徑與所述頂蓋I的外半徑為同一半徑。其中，所述空心圓柱形側壁2內、外半徑間的距離為所述側壁2的厚度，所述側壁2的厚度為3_，從而使得所述保護裝置在拆卸時，經過多次敲打后不易變形。參考圖3，圖3為本實用新型實施例所提供的保護裝置的結構的側視圖。從圖3可以看出，所述保護裝置整體的高度為25. 5_，而所述保護裝置整體的高度d包括所述頂蓋I的高度與所述側壁2的高度兩部分，其中，所述頂蓋I的高度e為4. 5mm，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側面(鎖套上內徑較小的環(huán)面)的附著，則所述側壁2的高度為21_。本實用新型實施例中所提供的保護裝置上的固位孔3位于所述側壁2上，且貫穿所述側壁2。如圖3所示，所述固位孔3為空心圓柱形，其內半徑f為2. 5mm，所述固位孔3與所述側壁2底端間的距離h為5mm。而且，所述固位孔3的內側壁表面具有螺紋，在安裝時，只要將所述保護裝置套在石英管上，在鎖死鎖套后，將所述固位孔3與所述鎖套上的某一個鎖孔對齊，然后利用螺母將所述保護裝置固定在所述鎖套上，操作簡單，便于安裝，從而減少了設備的維護時間。本實用新型實施例所提供的保護裝置，采用空心圓柱形側壁和圓環(huán)形頂蓋可將石英管鎖套包裹起來，且鎖套的側壁被所述空心圓柱形側壁完全包覆，因此能夠完全將鎖套遮擋住，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側面的附著，解決了現有技術中氮化硅從下面裸露的部分進入上半部分，最終仍導致鎖孔被堵塞的現象。并且，本實用新型實施例中所提供的保護裝置的材質為不銹鋼，表面光滑不易附著氮化硅，避免了在維護時由于鎖套堵塞，不易拆卸而造成的人員傷害，同時延長了石英管鎖套的使用壽命。此外，本公司使用的是R0TH&RAU公司為我公司定制的SINA 2XXL設備，這種設備包含兩個工藝腔室，即PCl和PC2，故這種設備的所需要的石英管相較于其他型號的設備要多出5根，從而使得鎖套的需求量要多出10個。由于鎖套的使用量大大增加，從而使得維護的時間相較于以前增加了 2個小時。因此，利用本實用新型實施例所提供的保護裝置，可以在進行設備維護時，大大縮短設備的維護時間。本說明書中各個部分采用遞進的方式描述，每個部分重點說明的都是與其他部分的不同之處，各個部分之間相同相似部分互相參見即可。對所公開的實施例的上述說明，使本領域專業(yè)技術人員能夠實現或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領域的專業(yè)技術人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬 的范圍。
權利要求1.一種石英管鎖套的保護裝置，其特征在于，該保護裝置包括 空心圓柱形側壁以及與所述側壁相連的圓環(huán)形頂蓋； 其中，所述側壁與所述頂蓋為一整體結構，且所述側壁上具有貫穿所述側壁的固位孔。
2.根據權利要求I所述的裝置，其特征在于，所述側壁內半徑為34.5mm;所述頂蓋的內半徑為28mm ;所述頂蓋的外半徑為37. 5mm ； 其中，所述頂蓋的外半徑包括側壁的厚度，所述側壁的厚度為3mm。
3.根據權利要求I所述的裝置，其特征在于，所述保護裝置整體的高度為25.5_，其中包括頂蓋的高度，所述頂蓋的高度為4. 5mm。
4.根據權利要求I所述的裝置，其特征在于，所述固位孔為空心圓柱形。
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述固位孔的內側壁表面具有螺紋，且所述保護裝置通過螺母固定在所述鎖套上。
6.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述固位孔的內徑為5mm。
7.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述固位孔距離所述側壁底端5_。
8.根據權利要求1-7任一項所述的裝置，其特征在于，所述保護裝置的材質為不銹鋼。
專利摘要本實用新型實施例公開了一種石英管鎖套的保護裝置，該保護裝置包括空心圓柱形側壁以及與所述側壁相連的圓環(huán)形頂蓋；其中，所述側壁與所述頂蓋為一整體結構，且所述側壁上具有貫穿所述側壁的固位孔。本實用新型所提供的保護裝置，采用空心圓柱形側壁和圓環(huán)形頂蓋可將石英管鎖套包裹起來，且鎖套的側壁被所述空心圓柱形側壁完全包覆，因此能夠完全將鎖套遮擋住，有效地阻擋了氮化硅對鎖套側面的附著，避免了鎖孔被堵塞的現象。而且該保護裝置側壁上設有貫穿所述側壁的固位孔，在安裝時只要將所述保護裝置套在石英管上，在鎖死鎖套后利用所述側壁上的固位孔將所述保護裝置固定在所述鎖套上，操作簡單，便于安裝，從而減少了維護時間。
文檔編號C23C16/44GK202373620SQ20112057448
公開日2012年8月8日 申請日期2011年12月31日 優(yōu)先權日2011年12月31日
發(fā)明者張杜超, 張自成 申請人:英利能源(中國)有限公司