專利名稱：多槍頭電子槍的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及電子束蒸發(fā)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種多槍頭電子槍。
背景技術(shù)：
電子槍是產(chǎn)生電子束的部件，由直線狀螺旋鎢陰極、柵極和陽(yáng)極組成。其原理是陰極和柵極處于相同的負(fù)電位，陽(yáng)極接地電位。陰極由交流供電加熱，使之發(fā)射電子，電子受柵極電位的影響，在陽(yáng)極電壓加速下形成會(huì)聚的電子束。在磁場(chǎng)的作用下，電子束得到進(jìn)一步聚焦并偏轉(zhuǎn)270°或180°射入裝有被鍍膜料的坩堝中，其動(dòng)能變成熱能使材料蒸發(fā)沉積于基片上，達(dá)到所需膜層的要求。目前常用的電子槍都是由一個(gè)坩堝和一個(gè)電子槍頭組成的，該結(jié)構(gòu)的電子槍使用時(shí)，其鍍膜效率較低；尤其是當(dāng)工件的膜層較為復(fù)雜或者所需鍍膜材料較多時(shí)，該結(jié)構(gòu)的電子槍無(wú)法適用于其鍍膜工藝。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種鍍膜效率較高、適用范圍較廣的多槍頭電子槍。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種多槍頭電子槍，包括坩堝、坩堝擋板和多個(gè)電子槍頭，坩堝擋板設(shè)于坩堝上方，多個(gè)電子槍頭均勻分布于坩堝的圓周方向上，坩堝中心外接坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件。作為一種優(yōu)選技術(shù)方案，所述電子槍頭有4個(gè)，各電子槍頭分別設(shè)于坩堝的圓周邊緣上。所述坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括電機(jī)和轉(zhuǎn)動(dòng)軸，轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與坩堝底部連接，轉(zhuǎn)動(dòng)軸另一端通過(guò)齒輪組與電機(jī)的輸出端連接。所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與坩堝底部的相接處還設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)密封座。本多槍頭電子槍使用時(shí)，其原理是電機(jī)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)，多個(gè)電子槍頭同時(shí)發(fā)射電子束，各電子束分別射入坩堝上相應(yīng)的部分，使鍍膜材料蒸發(fā)沉積于工件上。該過(guò)程由于多個(gè)電子槍頭同時(shí)工作，可提高鍍膜效率，同時(shí)可在坩堝中設(shè)置不同的鍍膜材料，以適應(yīng)所需膜層較為復(fù)雜或鍍膜材料較多的工件。根據(jù)坩堝的實(shí)際大小或所設(shè)鍍膜材料的種類，電子槍頭的個(gè)數(shù)可進(jìn)行調(diào)整。多個(gè)電子槍頭同時(shí)工作時(shí)，為避免各電子槍頭的磁場(chǎng)之間相互干擾，可通過(guò)調(diào)節(jié)各電子槍頭所對(duì)應(yīng)的電源，以屏蔽各電子槍頭的磁場(chǎng)之間所產(chǎn)生的干擾。本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果本多槍頭電子槍結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在傳統(tǒng)電子槍的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，在同一坩堝上設(shè)置多個(gè)電子槍頭，可有效提高鍍膜效率，同時(shí)，電子槍頭的個(gè)數(shù)也可根據(jù)坩堝的實(shí)際尺寸進(jìn)行設(shè)置，使用靈活方便。另外，當(dāng)工件的膜層較為復(fù)雜或者所需鍍膜材料較多時(shí)，本多槍頭電子槍由于其電子槍頭的個(gè)數(shù)可進(jìn)行調(diào)整，因此可較好的適用于各種工件鍍膜，其適用范圍較廣。
圖I為本多槍頭電子槍的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的A向視圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。實(shí)施例本實(shí)施例一種多槍頭電子槍，其結(jié)構(gòu)如圖I或圖2所示，包括坩堝I、坩堝擋板2和 多個(gè)電子槍頭3，坩堝擋板2設(shè)于坩堝I上方，多個(gè)電子槍頭3均勻分布于坩堝I的圓周方向上，坩堝中心外接坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件。本實(shí)施例中，電子槍頭有4個(gè)，各電子槍頭分別設(shè)于坩堝的圓周邊緣上。如圖I所示，坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括電機(jī)4和轉(zhuǎn)動(dòng)軸5，轉(zhuǎn)動(dòng)軸5 —端與坩堝I底部連接，轉(zhuǎn)動(dòng)軸5另一端通過(guò)齒輪組與電機(jī)4的輸出端連接。轉(zhuǎn)動(dòng)軸5與坩堝I底部的相接處還設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)密封座6。本多槍頭電子槍使用時(shí)，其原理是電機(jī)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)，多個(gè)電子槍頭同時(shí)發(fā)射電子束，各電子束分別射入坩堝上相應(yīng)的部分，使鍍膜材料蒸發(fā)沉積于工件上。該過(guò)程由于多個(gè)電子槍頭同時(shí)工作，可提高鍍膜效率，同時(shí)可在坩堝中設(shè)置不同的鍍膜材料，以適應(yīng)所需膜層較為復(fù)雜或鍍膜材料較多的工件。根據(jù)坩堝的實(shí)際大小或所設(shè)鍍膜材料的種類，電子槍頭的個(gè)數(shù)可進(jìn)行調(diào)整。多個(gè)電子槍頭同時(shí)工作時(shí)，為避免各電子槍頭的磁場(chǎng)之間相互干擾，可通過(guò)調(diào)節(jié)各電子槍頭所對(duì)應(yīng)的電源，以屏蔽各電子槍頭的磁場(chǎng)之間所產(chǎn)生的干擾。如上所述，便可較好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，上述實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來(lái)限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍；即凡依本實(shí)用新型內(nèi)容所作的均等變化與修飾，都為本實(shí)用新型權(quán)利要求所要求保護(hù)的范圍所涵蓋。
權(quán)利要求1.多槍頭電子槍，其特征在于，包括坩堝、坩堝擋板和多個(gè)電子槍頭，坩堝擋板設(shè)于坩堝上方，多個(gè)電子槍頭均勻分布于坩堝的圓周方向上，坩堝中心外接坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多槍頭電子槍，其特征在于，所述電子槍頭有4個(gè)，各電子槍頭分別設(shè)于坩堝的圓周邊緣上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的多槍頭電子槍，其特征在于，所述坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件包括電機(jī)和轉(zhuǎn)動(dòng)軸，轉(zhuǎn)動(dòng)軸一端與坩堝底部連接，轉(zhuǎn)動(dòng)軸另一端通過(guò)齒輪組與電機(jī)的輸 出端連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多槍頭電子槍，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸與坩堝底部的相接處還設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)密封座。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種多槍頭電子槍，包括坩堝、坩堝擋板和多個(gè)電子槍頭，坩堝擋板設(shè)于坩堝上方，多個(gè)電子槍頭均勻分布于坩堝的圓周方向上，坩堝中心外接坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)組件。本多槍頭電子槍結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，在傳統(tǒng)電子槍的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn)，在同一坩堝上設(shè)置多個(gè)電子槍頭，可有效提高鍍膜效率，同時(shí)，電子槍頭的個(gè)數(shù)也可根據(jù)坩堝的實(shí)際尺寸進(jìn)行設(shè)置，使用靈活方便。另外，當(dāng)工件的膜層較為復(fù)雜或者所需鍍膜材料較多時(shí)，本多槍頭電子槍由于其電子槍頭的個(gè)數(shù)可進(jìn)行調(diào)整，因此可較好的適用于各種工件鍍膜，其適用范圍較廣。
文檔編號(hào)C23C14/30GK202465854SQ20112057625
公開(kāi)日2012年10月3日 申請(qǐng)日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者朱剛勁, 朱剛毅, 朱文廓 申請(qǐng)人:肇慶市騰勝真空技術(shù)工程有限公司