專利名稱：未脫氣液體的過濾方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及各種未脫氣液體的過濾方法，尤其是涉及包含研磨材料等微粒作為分散質(zhì)的研磨用漿料的過濾方法。
背景技術(shù)：
在使用研磨用漿料和研磨墊的拋光加工中，對加工面的表面平滑度和無缺陷性的要求水準(zhǔn)逐年增加。隨之，逐漸開始選擇研磨用漿料所包含的研磨材料等微粒的粒徑更小的研磨用漿料。此處，即使選擇平均粒徑小的研磨材料，通常研磨材料等微粒的粒徑存在粒度分布，有時(shí)也會(huì)包含相對于期望粒徑而言非常大的粗大顆粒。在這種情況下，該粗大顆?？赡軙?huì)引起刮痕等表面缺陷，因此優(yōu)選將其去除。這種在液體介質(zhì)中分散有微粒的研磨用漿料所包含的粗大顆粒通常利用過濾器 去除。工業(yè)上使用的過濾器一般為將樹脂制纖維纏繞在核上而成型的過濾器、使樹脂膜中形成微小的細(xì)孔而成的過濾器。任一種過濾器均可通過使液體通過纖維間形成的間隙、膜中形成的細(xì)孔來去除無法通過的粗大顆粒等。但是，實(shí)際上要對液體進(jìn)行過濾時(shí)，若要直接利用市售的過濾器，則剛開始利用后的過濾效率不高?？紤]這是因?yàn)槭惺鄣倪^濾器通常是干燥的，過濾剛開始后，液體難以滲透過濾器的細(xì)孔等，此外細(xì)孔內(nèi)容易殘存空氣。尤其是，與不具有粘性的液體相比，具有粘性的液體存在過濾剛開始后的過濾效率極差的傾向。因此作為前處理，也可考慮向過濾器壓入水，通過這種方法水滲透至細(xì)孔內(nèi)之后過濾變得容易，但有時(shí)根據(jù)過濾器的材質(zhì)、孔徑而需要較大壓力，根據(jù)情況有時(shí)還需要大于過濾器的破壞壓力的壓力。進(jìn)而，為了獲得這種高壓而需要強(qiáng)力的泵。另外，通常過濾器的孔徑存在孔徑分布，還存在非常小的細(xì)孔，因此即使施加壓力，水也難以滲透至這種小細(xì)孔中。像這樣水未滲透的部分由于對于過濾沒有助益，因此過濾效率進(jìn)一步變低。進(jìn)而，由于有助于過濾的部分變少，因此過濾器發(fā)生堵塞也變早，有時(shí)還會(huì)招致生產(chǎn)率的惡化。在研磨用漿料之類的具有粘性的液體中，具有這種現(xiàn)象更顯著的傾向。因此，在利用過濾器過濾液體的情況下，優(yōu)選的是，在使用過濾器之前將細(xì)孔內(nèi)部全部潤濕，盡可能地去除過濾器內(nèi)的空氣。從這種觀點(diǎn)出發(fā)，研究了過濾前的各種前處理方法。例如已知有以下方法用與過濾器和水兩者均具有親和性的異丙醇(以下有時(shí)稱為IPA)等有機(jī)溶劑潤濕過濾器，然后再過濾水的方法。另外，還公開了向疏水性多孔中空纖維膜加壓導(dǎo)入表面活性劑水溶液等的方法(專利文獻(xiàn)I)。但是，這些方法中，在處理后IPA、表面活性劑等存留于過濾器細(xì)孔內(nèi)，因此為了去除它們而必須用大量的水等清洗液進(jìn)行充分地清洗，在成本、效率方面存在問題。另一方面，公開了將疏水性多孔膜浸潰于脫氣水的方法(專利文獻(xiàn)2)，但根據(jù)本發(fā)明人等的研究得知，僅將過濾器浸潰于脫氣水時(shí)無法獲得充分的效果，作為前處理還存在改良的余地?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)I :日本特開平1-119310號公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開平5-208121號公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本特開昭63-258605號公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題因此，本發(fā)明的目的在于提供一種可滿足過濾效率的改良和過濾器的長壽命化的、各種未脫氣液體的過濾方法。用于解決問題的方案 本發(fā)明的未脫氣液體的過濾方法的特征在于，其為利用過濾器過濾未脫氣液體的過濾方法，所述方法包括在用所述過濾器過濾所述未脫氣液體之前對所述過濾器通入脫氣液體，所述脫氣液體是對與作為所述未脫氣液體的主要成分的溶劑相同種類的溶劑進(jìn)行脫氣而成的。發(fā)明的效果根據(jù)本發(fā)明，通過改善過濾器剛開始使用后或過濾器剛更換后的過濾效率，進(jìn)而減少對于過濾器的過濾沒有助益的部分，來改良長期的過濾效率，進(jìn)而使堵塞不易發(fā)生，從而可以滿足過濾器的長壽命化，即過濾器更換間隔的長期化或過濾器通液量的增加。其結(jié)果，過濾工序的效率化和成本降低均可實(shí)現(xiàn)。由此，能夠以高效率且低成本制造例如包含研磨粒作為分散質(zhì)的研磨用漿料。
具體實(shí)施例方式以下，說明本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式。作為過濾對象的未脫氣液體在本發(fā)明的過濾方法中，作為進(jìn)行過濾的對象的液體，只要是未進(jìn)行脫氣處理的液體則無特別限定。在本發(fā)明中，將這樣的液體稱為未脫氣液體。即，按照未脫氣液體所包含的成分以及應(yīng)該從該未脫氣液體中去除的成分來選擇后述的過濾器，從而可以對任意未脫氣液體適用本發(fā)明的過濾方法。尤其是，從溶劑中分散有不溶的微粒成分的分散液或分散物中去除雜質(zhì)、粗大顆粒等時(shí)，可以適合地使用本發(fā)明的過濾方法。此處所述的分散有不溶的微粒成分的分散液或分散物是指例如顯示丁達(dá)爾現(xiàn)象的膠體溶液、漿料溶液，研磨用漿料、顏料分散型光致抗蝕劑、飲料、藥品、涂料或化妝品等屬于該范疇。通常，在這些制品的制造工序中，為了去除前述粗大顆?；螂s質(zhì)而利用過濾器進(jìn)行過濾，但由于短時(shí)間內(nèi)的堵塞、干燥而需要頻繁地更換過濾器，因此強(qiáng)烈要求提高過濾效率。將本發(fā)明的過濾方法適用于這樣的膠體、漿料溶液時(shí)，可以提高過濾效率并可延長過濾器壽命，因此是優(yōu)選的。即，優(yōu)選的是，出于以下目的而使用本發(fā)明的方法使溶劑或分散介質(zhì)以及分散于未脫氣液體的顆粒中的、具有期望粒徑的顆粒通過，而去除大于期望范圍的顆粒、其它相對較大的雜質(zhì)成分?？梢允褂帽景l(fā)明的過濾方法進(jìn)行過濾的未脫氣液體的具體實(shí)例之一，為研磨用漿料。研磨用漿料是用于研磨例如硅基板、碳化硅基板、金屬氧化物、半導(dǎo)體設(shè)備基板、硬盤用基板、玻璃或塑料等的漿料。該研磨用漿料是分散介質(zhì)中包含氧化物、氮化物、碳化物等的物質(zhì)，更具體而言，包含氧化鋁、二氧化硅、氧化鈰、二氧化鈦、氧化鋯、金剛石、氮化硅、氮化硼等研磨材料顆粒。本發(fā)明的過濾方法優(yōu)選用于從這樣的研磨用漿料中去除原料所包含的粗大顆粒等雜質(zhì)和配制時(shí)提純的凝結(jié)物、異物。使用本發(fā)明的過濾方法過濾研磨用漿料等包含微粒的分散液時(shí)，分散液所包含的微粒的平均粒徑優(yōu)選為l(T5000nm，更優(yōu)選為2(T300nm。需要說明的是，本發(fā)明中的平均粒徑在無特別說明的情況下是指通過BET法測定的粒徑。需要說明的是，平均粒徑的測定方法另外還有光散射法、激光衍射法等，但通過這些方法測定的平均粒徑難以與通過BET法測定的粒徑直接進(jìn)行比較?？紤]測定方法的原理等，有時(shí)也可將通過BET法以外的方法測定的平均粒徑換算成通過BET法測定的平均粒徑，但原則上優(yōu)選直接通過BET法測定。另外，本發(fā)明的過濾方法不僅可以適用于研磨用漿料本身，還可以適用于其原料。即，為了從作為研磨用漿料的原料的包含研磨材料顆粒的分散液中去除粗大顆粒、凝膠、異物等，可以使用本發(fā)明的過濾方法?；蛘邽榱巳コ艘酝獾?、各種添加劑溶液中包含的未溶解物、異物等，也可以使用本發(fā)明的過濾方法。
對通過本發(fā)明的過濾方法過濾未脫氣液體的時(shí)期沒有特別限定。例如，在將研磨用漿料填充至容器中而進(jìn)行銷售的情況下，不僅在將研磨用漿料以制品的形式填充至容器之前進(jìn)行過濾時(shí)，可以使用本發(fā)明的方法；另外，用戶從容器中取出研磨用漿料而用于研磨之前，也可以使用本發(fā)明的方法。進(jìn)而，在將使用過一次的研磨用漿料再生而再利用的情況下，也可以使用本發(fā)明的過濾方法。過濾方法本發(fā)明的過濾方法包括使用過濾器過濾前述未脫氣液體。此處，本發(fā)明的過濾方法中，優(yōu)選使用樹脂制或玻璃纖維制介質(zhì)過濾器(media filter)。樹脂制或玻璃纖維制介質(zhì)過濾器是指未脫氣液體要通過的過濾器部分由樹脂或玻璃纖維構(gòu)成的過濾器。此處，過濾器部分不需要全部由樹脂或玻璃纖維構(gòu)成，例如為了改良過濾器的機(jī)械強(qiáng)度，還可以包含纖維、金屬等來作為芯材。其中，即使在這種情況下，也優(yōu)選通過樹脂或玻璃纖維包覆芯材，從而使其不與要過濾的未脫氣液體直接接觸。這是因?yàn)?，芯材為金屬等時(shí)，可能會(huì)向未脫氣液體中溶出不優(yōu)選的金屬離子等。本發(fā)明的過濾方法中，優(yōu)選使用樹脂制或玻璃纖維制介質(zhì)過濾器僅包含用樹脂或玻璃纖維制成的過濾器部分的過濾器。在組裝入制造工序等的配管內(nèi)部的情況下，特別優(yōu)選這種僅包含過濾器部分的過濾器。另外，還可以使用由過濾器部分和內(nèi)包過濾器部分的盒構(gòu)成的盒狀過濾器。這種盒狀過濾器的過濾器構(gòu)件為前述的樹脂制或玻璃纖維制，該過濾器構(gòu)件被固定在殼體的內(nèi)部。使用這種盒狀過濾器時(shí)，優(yōu)選的是，設(shè)置于殼體內(nèi)側(cè)面、與配管接觸的接觸部的密封墊等接觸未脫氣液體的部分用樹脂、橡膠包覆或由樹脂、橡膠形成，接觸未脫氣液體的部分完全不使用金屬。關(guān)于這樣的樹脂制或玻璃纖維制介質(zhì)過濾器，除了市售有上述那樣的結(jié)構(gòu)不同的過濾器之外，還市售有用途不同的過濾器，例如微粒分離用、微生物分離用等各種過濾器，可以根據(jù)需要使用任意過濾器。對過濾器構(gòu)件所使用的樹脂或玻璃纖維的種類沒有特別限定，優(yōu)選相對于要過濾的未脫氣液體為非活性。未脫氣液體為水性時(shí)，即作為未脫氣液體的主要成分的溶劑為水時(shí)，可以使用由一般的樹脂或玻璃纖維構(gòu)成的過濾器。具體而言，作為過濾器構(gòu)件中使用的優(yōu)選材料，可列舉出尼龍、聚碳酸酯、聚四氟乙烯(以下有時(shí)稱為PTFE)、聚砜、聚醚砜、纖維素及其衍生物、聚丙烯以及玻璃纖維。作為尼龍的具體實(shí)例，可列舉出尼龍6和尼龍66。另夕卜，作為纖維素的衍生物，包含羥基被取代了的衍生物，作為具體實(shí)例，可列舉出纖維素乙酸酯以及纖維素酯。另外，過濾器構(gòu)件有親水性構(gòu)件和疏水性構(gòu)件。此處，在過濾器構(gòu)件為疏水性時(shí)，利用本發(fā)明改善過濾器剛開始使用時(shí)的過濾效率的效果更大，因此是優(yōu)選的。在本發(fā)明中，將包含這種疏水性的過濾器構(gòu)件的過濾器稱為疏水性過濾器。過濾器構(gòu)件是否為疏水性可以通過過濾器構(gòu)件是否會(huì)透過水來判斷。過濾器構(gòu)件為疏水性時(shí)，水滴在過濾器構(gòu)件的表面被排斥或?yàn)榱耸顾高^而需要加壓。作為這樣的疏水性過濾器，可列舉出聚丙烯和聚四氟乙烯(PTFE)等?？紤]這樣使用疏水性過濾器構(gòu)件時(shí)本發(fā)明的效果大是因?yàn)?，與過濾器構(gòu)件的材質(zhì)為親水性的情況相比，過濾器細(xì)孔內(nèi)的空氣在過濾器構(gòu)件的材質(zhì)為疏水性的情況下更易滯留，并難以去除。
過濾器有各種市售品，例如可列舉出CHISSO FILTER CO.，LTD.制造的CP FILTER(商品名)、Sumitomo 3M Limited 制造的 Polypro-Klean (商品名)、Pall Corporation 制造的 Profile II (商品名)或 ADVANTEC MFS, INC 制造的 Depth Cartridge Filter (商品名)
坐寸ο過濾器構(gòu)件包括使由聚丙烯等樹脂形成的纖維無序且均勻地具有一定厚度而成型的無紡布類型的深度過濾器；對樹脂膜開0. Of數(shù)μ m左右的孔而成型的膜類型的膜濾器等。本發(fā)明可以使用任一類型的過濾器，但由于更容易顯著地體現(xiàn)出本發(fā)明的效果，優(yōu)選使用無紡布類型，特別優(yōu)選使用無紡布類型的深度過濾器?？紤]其理由是，深度過濾中，細(xì)孔內(nèi)的空氣的滯留對過濾效率產(chǎn)生較大影響。然而，即使在篩過濾(sieving filtration)、濾餅過濾的情況下，也有去除細(xì)孔內(nèi)的微粒的效果，因此通過適用本發(fā)明的過濾方法，可以期待過濾效率的改良。進(jìn)而，深度過濾器可大致分為以下兩種形式。一種是作為平面狀的濾紙形狀的平面過濾器。另一種是將無紡布纏繞于圓筒核等而成的管狀過濾器。關(guān)于這樣的管狀過濾器，一般而言，多以一端或兩端不會(huì)漏液的方式施加加工，此外多以容納于盒中的形態(tài)進(jìn)行處理。通常，在工業(yè)使用中，優(yōu)選使用容納于盒中的、盒狀的立體過濾器或管狀過濾器。這是因?yàn)椋溥^濾面積大且操作性也優(yōu)異。本發(fā)明的過濾方法可以使用它們之中的任意形狀的過濾器。關(guān)于本發(fā)明中使用的過濾器的過濾精度，可以按照要過濾的未脫氣液體的種類、所包含的成分、應(yīng)該去除的雜質(zhì)的大小等來使用任意的過濾器。例如，為了高效地去除通常的半導(dǎo)體用研磨用漿料，過濾器的過濾精度優(yōu)選為5 μ m以下，更優(yōu)選為I μ m以下，進(jìn)一步優(yōu)選0. 5 μ m以下,最優(yōu)選為0. 3 μ m以下。此時(shí)的過濾精度0. 3 μ m定義為除去99. 9%以上的平均粒徑0. 3 μ m以上的顆粒。在本發(fā)明的過濾方法中，在過濾目標(biāo)未脫氣液體之前，需要對過濾器進(jìn)行處理。該處理如下進(jìn)行準(zhǔn)備將與作為目標(biāo)未脫氣液體的主要成分的溶劑相同的溶劑進(jìn)行脫氣而制成的脫氣液體，對要用于過濾的過濾器通入該脫氣液體。以下，有時(shí)將該處理稱為“前處理”。此處，在目標(biāo)未脫氣液體不是溶液而是分散液的情況下，通常將介質(zhì)稱為分散介質(zhì)，但此處出于方便而將這樣的分散介質(zhì)也一起稱為溶劑。在未脫氣液體例如為水性的研磨用漿料時(shí)，作為未脫氣液體的主要成分的溶劑為水。因此，在使用本發(fā)明的方法來過濾水性的研磨用漿料時(shí)，準(zhǔn)備將水脫氣而成的脫氣液體，在進(jìn)行過濾之前將其通入過濾器。另外，由于用于脫氣的溶劑根據(jù)要過濾的未脫氣液體來進(jìn)行適當(dāng)?shù)倪x擇，因此沒有特別限定，也可以是有機(jī)溶劑。在作為未脫氣液體的主要成分的溶劑為混合溶劑時(shí)，也可以使用將該混合溶劑脫氣而成的脫氣液體。其中，作為目標(biāo)未脫氣液體的主要成分的溶劑為水時(shí)，本發(fā)明的效果會(huì)顯著地顯現(xiàn)。進(jìn)而，脫氣液體在不損害本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)還可包含任意的添加劑。例如，還可向脫氣液體中添加各種還原性脫氧劑、防腐劑、醇等。尤其是，優(yōu)選使用有助于向過濾器的細(xì)孔中導(dǎo)入脫氣液體的公知的添加劑。另外，脫氣液體還可以包含要過濾的未脫氣液體中包含的成分。即，要過濾的未脫氣液體例如為水性的研磨用漿料時(shí)，除了主要成分即作為溶劑的水之外，還包含研磨材料顆粒、水溶性高分子化合物、作為PH調(diào)節(jié)劑的酸或堿、防腐劑、表面活性劑等各種主要成分。此時(shí)，本發(fā)明所使用的脫氣液體還可以包含這些成分。因此，可以將研磨用漿料脫氣而成的液體或者使已脫氣的水溶解或分散各主要成分而成的液體作為脫氣液體使用。
像這樣，要過濾的未脫氣液體與前處理所使用的脫氣液體的成分組成相近時(shí)，將脫氣液體通入過濾器后，過濾器中殘存的脫氣液體的置換變得容易，因此是優(yōu)選的。尤其是，若使用已脫氣的溶劑制備要過濾的未脫氣液體，則前處理與未脫氣液體的過濾可連續(xù)地進(jìn)行，在未脫氣液體的過濾開始時(shí)，目標(biāo)未脫氣液體不會(huì)混入成分不同的脫氣液體而成為不同的未脫氣液體，因此過濾開始時(shí)的損失也會(huì)變少，因此是優(yōu)選的。尤其是，在未脫氣液體分批制備并依次過濾的情況下，如果僅用已脫氣的溶劑制備最初的批次，則制造工序上的特殊操作少，是有利的。在本發(fā)明中，對將溶劑脫氣而制成脫氣液體的方法沒有特別限定，有以下方法使原溶劑通過氣體透過膜的一側(cè)而對另一側(cè)進(jìn)行減壓的膜式真空脫氣(專利文獻(xiàn)3等)、真空脫氣、利用加熱溶劑來降低氣體的溶解度的加熱脫氣、超聲波脫氣、使溶解氧與還原性脫氧劑反應(yīng)的方法等，可以采用任意的方法。這些之中，從初期投資、操作性、脫氣效率性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為膜式真空脫氣，接著優(yōu)選真空脫氣。本發(fā)明的前處理所使用的脫氣液體之中溶解的氧濃度優(yōu)選為飽和溶解氧濃度的1/8以下,更優(yōu)選為1/16以下。飽和溶解氧濃度是指與I個(gè)大氣壓的大氣接觸的水中溶解的氧的平衡濃度。飽和溶解氧濃度取決于水溫，但在本發(fā)明中，所使用的溫度通常是指室溫即25°C時(shí)的值。在溶劑為水時(shí)，關(guān)于飽和溶解空氣濃度的值，例如25°C /I個(gè)大氣壓下的水的飽和溶解氧濃度為約8. lmg/L。因此，脫氣液體以水為主要成分時(shí)，優(yōu)選的是，溶解氧濃度為lmg/L以下,優(yōu)選為O. 5mg/L以下。這是由于，當(dāng)溶解氧濃度大于該值時(shí)，過濾器內(nèi)的親水化或空氣去除的效果變得不充分，或者前處理所需的時(shí)間變長。脫氣液體中的溶解氧濃度越低越好，但從獲得本發(fā)明的效果的觀點(diǎn)來看，沒有限定。其中，想過度降低溶解氧時(shí)，脫氣液體的準(zhǔn)備會(huì)過度耗費(fèi)時(shí)間和成本，因此需要注意。需要說明的是，在本發(fā)明中，脫氣液體中的溶解氧濃度可以使用原電池型或極譜型等簡便的氧濃度儀進(jìn)行測定。在本發(fā)明中，前處理是通過對過濾器通入脫氣液體而進(jìn)行的。此時(shí)，應(yīng)該按照對過濾器構(gòu)件的整個(gè)有效面通入脫氣液體的方式進(jìn)行。即，通過使脫氣液體通入過濾器構(gòu)件的更多的部分而非只通入其一部分，可以增加從過濾的初期開始就有效地有助于過濾的部分，可以進(jìn)一步提高過濾效率。這是由于，未通入脫氣液體的部分的過濾效率未得到改良，因此這樣的部分多時(shí),存在整體性的過濾效率的改良變小的傾向。通過這種前處理可改良初期的過濾效率的理由尚未明確，但考慮這是因?yàn)?，通過通入脫氣液體，使用開始前的過濾器構(gòu)件中的細(xì)孔內(nèi)部被高效地潤濕，細(xì)孔內(nèi)的空氣被去除，未脫氣液體與過濾器構(gòu)件的接觸面積增大。在本發(fā)明中，前處理可以用任意的方法在任意的時(shí)間點(diǎn)實(shí)施。例如，向未脫氣液體的制備工序的下游側(cè)配管安裝過濾器，在過濾所制備的未脫氣液體之前，暫時(shí)向配管流通脫氣液體來進(jìn)行前處理時(shí)，不需要未脫氣液體的過濾設(shè)備之外的前處理設(shè)備，前處理之后可連續(xù)地用于未脫氣液體的過濾工序，因此是優(yōu)選的。另外，進(jìn)行了前處理的過濾器，只要不干燥則即使與空氣接觸也可發(fā)揮本發(fā)明的效果。因此，也可以事先準(zhǔn)備使脫氣液體通入過濾器構(gòu)件的專用裝置，并準(zhǔn)備多個(gè)已進(jìn)行前處理的過濾器，根據(jù)需要來更換過濾器。根據(jù)這樣的方法，未脫氣液體的制備工序中不需要向配管流通與目標(biāo)未脫氣液體不同的脫氣液體，可連續(xù)地制備未脫氣液體，因此是優(yōu)選的。另外，在本發(fā)明中，前處理還可與施加超聲波、振動(dòng)等物理沖擊的方法組合。組合這些方法時(shí)，存在進(jìn)一步明顯地顯現(xiàn)本發(fā)明的效果的傾向。考慮這是因?yàn)?，如上所述的?樣，過濾器的細(xì)孔中存在的空氣通過組合這些方法而被更有效地去除。在本發(fā)明的前處理中，更優(yōu)選對過濾器構(gòu)件通入的脫氣液體的量多。具體而言，脫氣液體的通入量X與過濾器構(gòu)件的容量Y的體積比，即過濾器構(gòu)件的單位體積的脫氣液體的通入量之比X/Y優(yōu)選為5以上，更優(yōu)選為10以上。X/Y比過低時(shí)，存在本發(fā)明的效果無法充分顯現(xiàn)的傾向?？紤]這是因?yàn)檫^濾器中的細(xì)孔內(nèi)部的空氣無法高效地去除。另一方面，過濾器構(gòu)件的單位體積的脫氣液體的通入量過多時(shí)本發(fā)明的效果也不會(huì)變小，因此對上限沒有特別限定。但是，從制造效率、成本的觀點(diǎn)來看，應(yīng)該避免過度地增加通入量。另外，此處的過濾器構(gòu)件的容量是指包括過濾器的細(xì)孔等在內(nèi)的宏觀的體積。具體而言，對于深度過濾器而言，表示過濾器介質(zhì)部分整體的體積，即所成型的過濾器構(gòu)件的體積。另外，對于膜形狀的膜濾器而言，表示該膜的體積。進(jìn)而，對于具有折疊(pleat)結(jié)構(gòu)的膜濾器而言，表示筒狀過濾器構(gòu)件的體積，換言之為包括過濾器介質(zhì)部分的最外周到最內(nèi)周的過濾器介質(zhì)部分與折疊間的空間在內(nèi)的全部體積。本發(fā)明的過濾方法可在各種液狀材料的制造中的任意階段使用。進(jìn)而，本發(fā)明所使用的未脫氣液體與要過濾的液體的介質(zhì)除了溶解氣體不同以外成分相同，因此具有混入雜質(zhì)等的可能性低、對所制造的液體的品質(zhì)的影響小的優(yōu)點(diǎn)。這樣的本申請發(fā)明的過濾方法如上所述那樣，優(yōu)選用于制造分散有微粒的液體，尤其是優(yōu)選用于制造研磨用漿料。若使用各例子說明本發(fā)明，則如下所示。[實(shí)施例f 6]作為過濾未脫氣液體的過濾器構(gòu)件，準(zhǔn)備全長約50cm的深度過濾器(過濾器尺寸全長約50cm ;外徑約7cm ;內(nèi)徑約2. 8cm),按照下述所示的前處理?xiàng)l件對其通入脫氣水，實(shí)施了前處理。前處理?xiàng)l件脫氣水通水速度19L/分鐘脫氣水通水時(shí)間0. 25分鐘、O. 5分鐘、I分鐘、2分鐘、5分鐘或30分鐘
脫氣水中的溶解氧濃度0. 5mg/L脫氣水制造方法膜脫氣方法(向中空纖維膜組件中通入超純水，使其外側(cè)為真空，從而將所溶解的氣體脫除的方法(中空纖維聚-4-甲基戊烯-1，真空壓力2. 7kPa))接著，作為未脫氣液體，準(zhǔn)備未脫氣的超純水，測定使用已實(shí)施前處理的過濾器按照下述所示的條件進(jìn)行過濾時(shí)的過濾剛開始后的過濾效率(通過過濾器的未脫氣液體的流速)，從而進(jìn)行了評價(jià)。討濾備件泵LEVITROPump LEV300 (IffAKI CO. , LTD.制造)通水條件轉(zhuǎn)速2500rpm [比較例Γ3]準(zhǔn)備與實(shí)施例I同樣的過濾器，分別僅對其實(shí)施了在脫氣水、超純水或IPA中浸潰60分鐘的處理。接著，用與實(shí)施例I相同的方法實(shí)施了評價(jià)。另外，在脫氣水或超純水中浸潰的處理是通過將過濾器浸潰在脫氣水或超純水中并靜置60分鐘而進(jìn)行的。另外，在IPA中浸潰的處理是將過濾器以2cm/秒的較慢的速度浸沒于IPA中并靜置60分鐘后，將過濾器用純水洗漆(5L/分鐘,純水500L以上)而進(jìn)行的。[比較例4 6]準(zhǔn)備與實(shí)施例I同樣的過濾器，使用超純水來代替實(shí)施例I的脫氣水，實(shí)施了前處理。接著，用與實(shí)施例I相同的方法實(shí)施了評價(jià)。實(shí)施例f 6和比較例f 6的前處理?xiàng)l件以及所得評價(jià)結(jié)果如表I所示。[表 I]表I
權(quán)利要求
1.ー種未脫氣液體的過濾方法，其特征在于，其為利用過濾器過濾未脫氣液體的過濾方法，所述方法包括在用所述過濾器過濾所述未脫氣液體之前對所述過濾器通入脫氣液體，所述脫氣液體是對與作為所述未脫氣液體的主要成分的溶劑相同種類的溶劑進(jìn)行脫氣而成的。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的過濾方法，其中，通入所述過濾器的所述脫氣液體的體積X與過濾器體積Y之比X/Y為5以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的過濾方法，其中，所述未脫氣液體為研磨用漿料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的過濾方法，其中，所述脫氣液體的溶解氧濃度為所述脫氣液體的飽和溶解氧濃度的1/8以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求廣4中任一項(xiàng)所述的過濾方法，其中，所述過濾器為疏水性過濾器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1飛中任一項(xiàng)所述的過濾方法，其中，所述過濾器為無紡布類型的深度過濾器。
7.ー種研磨用漿料的制造方法，其使用權(quán)利要求1飛中任一項(xiàng)所述的過濾方法。
全文摘要
本發(fā)明提供可實(shí)現(xiàn)過濾器的長壽命化和高過濾效率的過濾方法、以及通過該方法制造的研磨用漿料。在本發(fā)明的過濾方法中，在利用過濾器過濾未脫氣液體之前，對過濾器通入已脫氣的溶劑，然后進(jìn)行過濾。
文檔編號B24B57/02GK102834156SQ20118001149
公開日2012年12月19日 申請日期2011年2月23日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月1日
發(fā)明者森永均, 杉山博保, 三輪直也 申請人:福吉米株式會(huì)社