專利名稱：一種制備薄膜電極的輔助裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及薄膜電極的制備工藝，具體涉及一種可以調(diào)節(jié)掩膜板和襯底緊密接觸程度的輔助裝置。
背景技術(shù)：
目前，公知的薄膜電極制備方法是將掩膜板直接放置在襯底上，然后通過薄膜制備工藝得到實驗所需要的薄膜電極。這種方法雖然簡潔易行，但是由于掩膜板與襯底的接觸并不緊密，在薄膜電極的生長過程中會出現(xiàn)電極點粘連，薄膜電極厚度不均勻的情況，這樣的結(jié)果將嚴重的影響薄膜器件性能的穩(wěn)定性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種制備薄膜電極的輔助裝置，用以解決現(xiàn)有薄膜電極制備工藝過程中，掩膜板和襯底之 間的接觸不緊密造成制備出來的薄膜電極不均勻的問題。本發(fā)明采用如下技術(shù)方案一種制備薄膜電極的輔助裝置，包括底盤，底盤具有用于支撐上下疊加設置的掩膜板和襯底的支撐端面，底盤上還設置有用于對掩膜板施加朝向襯底壓緊的壓緊力的壓緊機構(gòu)，所述壓緊機構(gòu)包括用于壓裝在掩膜板上的壓片夾以及向下穿過壓片夾后螺紋旋入底盤內(nèi)的將壓片夾與底盤固連的控位螺釘，所述底盤具有供所述控位螺釘旋入的控位螺孔，所述壓片夾具有供所述控位螺釘穿過的導向孔
所述壓片夾為對稱布置在支撐端面中心兩側(cè)的至少一對，所述控位螺釘為與所述壓片夾--對應設置的至少兩個。所述每個控位螺釘對應的控位螺孔均為沿以支撐端面中心為圓心所在圓周的徑向方向間隔布置的至少兩個，每個控位螺釘對應的各控位螺孔為一組，所述導向孔為沿每組控位螺孔布置方向延伸的長孔。所述每組控位螺孔沿以所述支撐端面中心為圓心所在圓周方向均布。采用上述結(jié)構(gòu)的薄膜電極的輔助裝置，由于制備薄膜電極的掩膜板和襯底上下疊放放置在底盤上，壓緊機構(gòu)具有壓裝在掩膜板上的壓片夾以及螺紋旋入底盤內(nèi)的將壓片夾與底盤固連的控位螺釘，通過旋擰控位螺釘就能使壓片夾壓緊掩膜板，進而控制掩膜板與襯底的壓緊程度，使掩膜板與襯底充分緊密接觸，從而避免了薄膜電極在制備過程中電極點粘接和薄膜電極厚度不均現(xiàn)象的發(fā)生，為制備出高質(zhì)量的薄膜電極提供了有力的保證。


圖I為本發(fā)明的實施例結(jié)構(gòu)示意圖2為圖I的斜下視圖。
具體實施例方式本發(fā)明制備薄膜電極的輔助裝置的實施例如圖I、圖2所示，該輔助裝置的底盤I為具有一定厚度的圓形結(jié)構(gòu)，制備薄膜電極用的掩膜板5和襯底6上下疊加放置在底盤I 上端面的圓心位置處，底盤I的放置掩膜板5和襯底6的區(qū)域為支撐端面，底盤I的圓心為支撐端面的中心，在底盤I上還安裝有壓緊機構(gòu)。壓緊機構(gòu)包括四個壓片夾4和四個控位螺釘3，壓片夾4的一端放置在底盤I上、另一端壓裝在掩膜板5上，四個控位螺釘3分別一一對應穿過四個壓片夾4并最終螺紋旋入底盤I內(nèi)，壓片夾4上分別開設有供各自對應的控位螺釘穿過的導向孔，底盤I的上端面上開設有供控位螺釘3旋入的控位螺孔2，通過旋擰位螺釘3，可以調(diào)節(jié)壓片夾4對掩膜板5的壓緊力，最終可以調(diào)節(jié)掩膜板5與襯底6的壓緊程度。為了使掩膜板5受力均勻，兩兩壓片夾4對稱布置在底盤圓心的兩側(cè)，同時控位螺釘3也對稱布置在底盤圓心的兩側(cè)。由于壓片夾4的一端位于底盤I上、另一端位于掩膜板 5上，使壓片夾4的中間部位處于懸空狀態(tài)，控位螺釘3與壓片夾4的距離也就決定了掩膜板5的最大受壓力度，本實施例中，每個控位螺釘3對應的控位螺孔2均為沿底盤I徑向方向均勻間隔布置的多個，兩個對稱的控位螺釘3分別對應的各控位螺孔也一一對稱布置， 以每個控位螺釘對應的各控位螺孔作為一組，所述導向孔為沿各自對應的每組控位螺孔布置方向延伸的長孔，這樣可以根據(jù)實際壓緊情況，調(diào)節(jié)各控位螺釘3的位置。另外，控位螺孔有12組，每組控位螺孔均沿底盤圓周方向均布，這樣可以四個壓片夾4可以在任意兩組相對的控位螺孔位置布置。上述實施例具體應用時，適用于分子束外延、濺射、沉積、熔蒸等薄膜電極制備工藝中，先將襯底6放置在底盤I的支撐端面處，即底盤I的中間位置，然后將掩膜板5覆蓋在襯底6需要覆蓋的位置上，選擇合適的控位螺孔2將 控位螺釘3旋入，從而將壓片夾4固定，進而控制調(diào)節(jié)掩膜板5與襯底6的壓緊程度。在其它實施例中，兩個對稱布置的壓片夾也可以一體設置，這樣通過旋擰兩端的兩個控位螺釘也能實現(xiàn)掩膜板與襯底的壓緊。在其它實施例中，每組控位螺孔的布置數(shù)量、每組控位螺孔中各控位螺孔的布置數(shù)量均以實際情況確定，每組控位螺孔的布置數(shù)量必須為雙數(shù)，這樣才能滿足任意兩個對稱壓片夾的安裝要求，而每組控位螺孔中的各控位螺孔的數(shù)量可以為I個、2個或者更多個。
權(quán)利要求
1.一種制備薄膜電極的輔助裝置，其特征在于包括底盤，底盤具有用于支撐上下疊加設置的掩膜板和襯底的支撐端面，底盤上還設置有用于對掩膜板施加朝向襯底壓緊的壓緊カ的壓緊機構(gòu)，所述壓緊機構(gòu)包括用于壓裝在掩膜板上的壓片夾以及向下穿過壓片夾后螺紋旋入底盤內(nèi)的將壓片夾與底盤固連的控位螺釘，所述底盤具有供所述控位螺釘旋入的控位螺孔，所述壓片夾具有供所述控位螺釘穿過的導向孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的制備薄膜電極的輔助裝置，其特征在于所述壓片夾為對稱布置在支撐端面中心兩側(cè)的至少ー對，所述控位螺釘為與所述壓片夾一一對應設置的至少兩個。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的制備薄膜電極的輔助裝置，其特征在于所述每個控位螺釘對應的控位螺孔均為沿以支撐端面中心為圓心所在圓周的徑向方向間隔布置的至少兩個，每個控位螺釘對應的各控位螺孔為ー組，所述導向孔為沿每組控位螺孔布置方向延伸的長孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的制備薄膜電極的輔助裝置，其特征在于所述每組控位螺孔沿以所述支撐端面中心為圓心所在圓周方向均布。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種制備薄膜電極的輔助裝置，包括底盤，底盤具有用于支撐上下疊加設置的掩膜板和襯底的支撐端面，底盤上還設置有用于對掩膜板施加朝向襯底壓緊的壓緊力的壓緊機構(gòu)，所述壓緊機構(gòu)包括用于壓裝在掩膜板上的壓片夾以及向下穿過壓片夾后螺紋旋入底盤內(nèi)的將壓片夾與底盤固連的控位螺釘，所述底盤具有供所述控位螺釘旋入的控位螺孔，所述壓片夾具有供所述控位螺釘穿過的導向孔。通過旋擰控位螺釘就能使壓片夾壓緊掩膜板，進而控制掩膜板與襯底的壓緊程度，使掩膜板與襯底充分緊密接觸，從而避免了薄膜電極在制備過程中電極點粘接和薄膜電極厚度不均現(xiàn)象的發(fā)生，為制備出高質(zhì)量的薄膜電極提供了有力的保證。
文檔編號C23C16/04GK102703856SQ20121015558
公開日2012年10月3日 申請日期2012年5月18日 優(yōu)先權(quán)日2012年5月18日
發(fā)明者孫健, 張偉風, 張婷, 賈彩虹, 魏凌 申請人:河南大學