專利名稱：蒸鍍裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種蒸鍍裝置，更詳細(xì)地涉及一種在真空腔室內(nèi)使蒸鍍源相對于基板進(jìn)行線性移動，并在基板的表面蒸鍍蒸鍍物質(zhì)的蒸鍍裝置(Deposition apparatus)。
背景技術(shù)：
作為平板顯示器件(Flat Panel Display)，具有代表意義的包括以下幾種，液晶顯不器件(Liquid Crystal Display)、等離子顯不器件(Plasma Display Panel)及有機(jī)發(fā)光顯示器件(Organic Light Emitting Diodes)等。其中，有機(jī)發(fā)光顯示器件具有迅速的回應(yīng)速度、低于以往液晶顯示器件的耗電量、高亮度以及輕量性等的特性，由于因不需要單獨(dú)的背光燈(背光照明)裝置而具有能夠制造成超薄型等的優(yōu)點(diǎn)，因而，受人矚目為下一代
的顯示器件。另一方面，在平板顯示器件的基板形成薄膜的一般的方法可以指出像真空蒸鍍法(Evaporation)、離子電鍍法(Ion-plation)及派射(Sputtering) —樣的物理氣相沉積法(PVD)和基于氣體反應(yīng)的化學(xué)氣相沉積法(CVD)等。其中，真空蒸鍍法可以在像有機(jī)發(fā)光顯示器件的有機(jī)物層、無機(jī)物層等一樣的薄膜形成中使用。真空蒸鍍法是指在真空腔室內(nèi)使被蒸鍍源收納的有機(jī)物或者無機(jī)物蒸發(fā)或升華之后蒸鍍在基板的表面的方法。這種真空蒸鍍法中，蒸鍍源可以從真空腔室的外部接收電、控制信號、冷卻氣體等，以便控制蒸鍍工序。蒸鍍源通過配線、配管等的動力管線與真空腔室的外部的供給單元連接。但是，由于真空腔室的內(nèi)部在工序中維持真空狀態(tài)，因而，如果將動力管線露出于真空，則存在使動力管線迅速陳舊化或者線路中斷的問題。并且，近來的趁勢為平板顯示器件漸漸成大面積化。由此，在平板顯示器件制造中所使用的基板也漸漸成大面積化。對于這種向大面積基板蒸鍍蒸鍍物質(zhì)的方式來說，可以使用在真空腔室內(nèi)使蒸鍍源相對于基板線性移動的同時在基板的表面蒸鍍蒸鍍物質(zhì)的方式。在這種情況下，為了在蒸鍍源的線性移動時使蒸鍍源順暢地移動，應(yīng)在動力管線也真空腔室內(nèi)進(jìn)行移動。因此，為了防止動力管線的陳舊化或者線路中斷現(xiàn)象，而具有以在真空腔室內(nèi)向動力管線提供與真空腔室的外部的大氣壓狀態(tài)相同的狀態(tài)的同時可移動的方式進(jìn)行配線處理的必要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于提供一種能夠使蒸鍍源順暢地線性移動的同時防止動力管線(或設(shè)備管線=Utility Line)的陳舊化或線路中斷等現(xiàn)象，并能夠在蒸鍍源的線性移動時在導(dǎo)向臂內(nèi)使動力管線的動作最小化，從而能夠防止動力管線的纏絞現(xiàn)象的蒸鍍裝置。用于達(dá)成上述課題的本發(fā)明的蒸鍍裝置，包括真空腔室；蒸鍍源，其設(shè)置在上述真空腔室的內(nèi)部；蒸鍍源驅(qū)動部，其使上述蒸鍍源相對于上述真空腔室的內(nèi)部的基板進(jìn)行線性移動；導(dǎo)向臂，其導(dǎo)向臂的一端部引出到上述真空腔室的外部，該導(dǎo)向臂的另一端部收容與上述蒸鍍源連接的動力管線，并通過該導(dǎo)向臂的一端部來使上述動力管線引出到上述真空腔室的外部，該導(dǎo)向臂的另一端部能夠與上述蒸鍍源樞軸結(jié)合，并且該導(dǎo)線臂跟隨上述蒸鍍源的線性移動進(jìn)行轉(zhuǎn)動動作的同時向長度方向滑動；以及滑動引導(dǎo)部，其以維持密封的狀態(tài)設(shè)置在上述真空腔室和上述導(dǎo)向臂上，用于引導(dǎo)導(dǎo)向臂的滑動。根據(jù)本發(fā)明，因動力管線不向真空腔室的真空狀態(tài)露出并收容在臂部的內(nèi)部，而能夠處于與真空腔室的外部的狀態(tài)相同的狀態(tài)，從而能夠防止動力管線的陳舊化或者線路中斷等現(xiàn)象，并能夠使蒸鍍源利用臂部而順暢地線性移動。根據(jù)本發(fā)明，因?qū)虮鄣膬?nèi)部具有直線型的空間而能夠容易設(shè)置動力管線。并且，因能夠使被導(dǎo)向臂收容的動力管線的動作最小化而能夠在導(dǎo)向臂的軸轉(zhuǎn)動作時防止動力管線的纏絞現(xiàn)象。


圖I是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)圖。圖2是表示圖I中，蒸鍍源的線性移動狀態(tài)的側(cè)視圖。圖3是表示圖I中，在導(dǎo)向臂設(shè)置有長度可變部的例的附圖。圖4是表示圖I中，在導(dǎo)向臂設(shè)置有關(guān)節(jié)的例的附圖。圖5是表示圖4中，蒸鍍源向基板側(cè)移動的狀態(tài)的附圖。圖6是表示圖4中，在導(dǎo)向臂設(shè)置有旋轉(zhuǎn)部件的例的附圖。圖7是表示圖I中，導(dǎo)向臂以可分離成兩個部分的方式結(jié)合的結(jié)構(gòu)的剖視圖。(附圖標(biāo)記說明)110:真空腔室120:蒸鍍源130:蒸鍍源驅(qū)動部140:導(dǎo)向臂142、143:關(guān)節(jié)146 :旋轉(zhuǎn)部件150:動力管線160:滑動引導(dǎo)部161 :外部管162 :第一密封部件163 :伸縮部件170:導(dǎo)向機(jī)構(gòu)
具體實(shí)施例方式下面，通過參照附圖對根據(jù)優(yōu)選實(shí)施例的本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。圖I是表示根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的蒸鍍裝置的結(jié)構(gòu)圖，圖2是表示圖I中，蒸鍍源的線性移動狀態(tài)的側(cè)視圖。參照圖I及圖2，蒸鍍裝置包括真空腔室110、蒸鍍源120、蒸鍍源驅(qū)動部130、導(dǎo)向臂140以及滑動引導(dǎo)部160。真空腔室110的內(nèi)部空間在對基板10進(jìn)行薄膜蒸鍍工序時維持真空狀態(tài)。對于基板10的蒸鍍工序可由多種方式構(gòu)成。例如，基板10在真空腔室110的內(nèi)部以垂直的方式立起的狀態(tài)下，蒸鍍源120以水平或者垂直的方式進(jìn)行線性移動，并向基板10的表面供給蒸鍍物質(zhì)，從而可以在基板10的表面蒸鍍薄膜。此時，在基板10的表面形成預(yù)定模式的薄膜時，可以在基板10的被蒸鍍一面配置圖像掩模20。并且，圖像掩模20和基板10之間，可借助定位裝置30進(jìn)行定位。例如，在基板10被位置固定的狀態(tài)下，利用定位裝置30來使圖像掩模20并進(jìn)/旋轉(zhuǎn)，從而使圖像掩模20對基板10以設(shè)定位置的方式定位。蒸鍍源120因?qū)⒄翦兾镔|(zhì)向基板10供給而可相當(dāng)于蒸發(fā)源或者濺射槍。蒸發(fā)源收納蒸鍍物質(zhì)，并使被收納的蒸鍍物質(zhì)蒸發(fā)或者升華，來使蒸鍍物質(zhì)蒸鍍在基板10的表面。濺射槍收納蒸鍍物質(zhì)的對象，并利用濺射的方式來使被收納的對象蒸發(fā)之后蒸鍍在基板10。蒸鍍源驅(qū)動部130使蒸鍍源120相對于基板10進(jìn)行線性移動。一例為，蒸鍍源驅(qū)動部130能夠包括線性促動器131和線性導(dǎo)向器132，所述線性促動器131提供用于使蒸鍍源120線性移動的驅(qū)動力，所述線性導(dǎo)向器132引導(dǎo)蒸鍍源120的線性移動。線性促動器131可包括球形螺旋和馬達(dá)等。導(dǎo)向臂140跟隨蒸鍍源120的線性移動而進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作的同時，向長度方向滑動。導(dǎo)向臂140的一端部根據(jù)滑動引導(dǎo)部160的滑動，另一端部與蒸鍍源120可樞軸結(jié)合。因
此，導(dǎo)向臂140可通過跟隨蒸鍍源120的線性移動的方式來進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作的同時進(jìn)行滑動，從而引導(dǎo)蒸鍍源120的線性移動。由于導(dǎo)向臂140的軸轉(zhuǎn)動作和滑動接收蒸鍍源驅(qū)動部130的驅(qū)動力而構(gòu)成，因此，在導(dǎo)向臂140中也可不設(shè)置額外的驅(qū)動源。由此，能夠使導(dǎo)向臂140的結(jié)構(gòu)簡單。其結(jié)果，能夠容易進(jìn)行導(dǎo)向臂140的維護(hù)。例如，導(dǎo)向臂140的內(nèi)部可持有與真空腔室110的外部的狀態(tài)相同的狀態(tài)。真空腔室Iio的外部的狀態(tài)為大氣壓狀態(tài)時，導(dǎo)向臂140的內(nèi)部也可持有大氣壓狀態(tài)。因此，動力管線150可經(jīng)過大氣壓狀態(tài)的導(dǎo)向臂140的內(nèi)部而連接在蒸鍍源120。導(dǎo)向臂140可由多種形態(tài)構(gòu)成，作為一例，該導(dǎo)向臂140可由中空的管形態(tài)構(gòu)成。雖然圖示了蒸鍍源120根據(jù)導(dǎo)向臂140并以水平方式進(jìn)行線性移動的例，但是在蒸鍍源120以垂直方式進(jìn)行線性移動的情況下，顯然，導(dǎo)向臂140可通過滑動引導(dǎo)部160設(shè)置在真空腔室110的側(cè)壁，以便能夠引導(dǎo)蒸鍍源120以垂直方式進(jìn)行線性移動。導(dǎo)向臂140收容動力管線150。動力管線150可為用于從真空腔室110的外部向蒸鍍源120供給電、控制信號等的配線、蒸鍍氣體及冷卻氣體等的配管。動力管線150的一端部向真空腔室110的外部引出，另一端部與蒸鍍源120連接。在導(dǎo)向臂140的內(nèi)部和真空腔室110的外部的狀態(tài)相同的情況下，動力管線150不向真空腔室110的真空狀態(tài)露出，而收容在導(dǎo)向臂140的內(nèi)部，從而能夠處于與真空腔室110的外部的狀態(tài)相同的狀態(tài)。由此，可以防止動力管線150的陳舊化或者線路中斷等現(xiàn)象?；瑒右龑?dǎo)部160以維持密封的狀態(tài)設(shè)置在真空腔室110和導(dǎo)向臂140，來引導(dǎo)導(dǎo)向臂140的滑動。通過參照圖2對根據(jù)所述的導(dǎo)向臂140而引導(dǎo)蒸鍍源120的線性移動的過程進(jìn)行說明如下。首先，如果蒸鍍源120在中央位置向右側(cè)水平移動或者向左側(cè)移動，導(dǎo)向臂140則進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作。此時，導(dǎo)向臂140被滑動引導(dǎo)部160引導(dǎo)滑動。即，在導(dǎo)向臂140以維持規(guī)定長度的狀態(tài)下進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作時，通過根據(jù)滑動引導(dǎo)部160進(jìn)行滑動的方式來引導(dǎo)蒸鍍源120的線性移動。因此，導(dǎo)向臂140的內(nèi)部可具有直線性的空間，從而能夠容易設(shè)置動力管線150。并且，能夠使被收容在導(dǎo)向臂140的動力管線150的動作最小化，從而在導(dǎo)向臂140的軸轉(zhuǎn)動作時，防止動力管線150的纏絞現(xiàn)象。另一方面，如圖3中的詳細(xì)所示，滑動引導(dǎo)部160可包括外部管161、第一密封部件162及伸縮部件163。外部管161的一端部與真空腔室110結(jié)合，并該外部管161的另一端部位于真空腔室Iio的內(nèi)部。外部管161通過使導(dǎo)向臂140的一部分貫通的方式來引導(dǎo)導(dǎo)向臂140的滑動。在導(dǎo)向臂140由該圓筒構(gòu)成的情況下，外部管161由圓形形態(tài)構(gòu)成，從而可配置在與導(dǎo)向臂140相同的軸上。在此，外部管161的內(nèi)壁從導(dǎo)向臂140的外壁隔開，以免在導(dǎo)向臂140向長度方向滑動時,在外部管161的內(nèi)壁和導(dǎo)向臂140的外壁之間產(chǎn)生摩擦。
·
第一密封部件162密封外部管161和真空腔室110之間的結(jié)合部位。作為一例，第一密封部件162可以為真空波紋管(bellows)。在這種情況下，真空波紋管能夠設(shè)置成在真空腔室110的外部密封外部管161和真空腔室110之間。在外部管161根據(jù)導(dǎo)向臂140的軸轉(zhuǎn)動作動作時，真空波紋管可根據(jù)外部管161的動作而變形，從而可以維持外部管161和真空腔室110之間的密封狀態(tài)。伸縮部件163在真空腔室110內(nèi)密封外部管161和導(dǎo)向臂140之間。伸縮部件163以圍繞外部管161和導(dǎo)向臂140的方式被設(shè)置，該伸縮部件163的一端部固定在外部管161，并該伸縮部件163的另一端部固定在導(dǎo)向臂140，從而密封外部管161和導(dǎo)向臂140之間。伸縮部件163根據(jù)導(dǎo)向臂140的滑動方向進(jìn)行伸縮動作。因此，在導(dǎo)向臂140進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作時，導(dǎo)向臂140可借助伸縮部件163與外部管161維持密封狀態(tài)，并沿外部管161的內(nèi)部在長度方向上進(jìn)行往返運(yùn)動。即使在導(dǎo)向臂140的軸轉(zhuǎn)動作時出現(xiàn)行程的誤差，伸縮部件163也可以應(yīng)對。做為伸縮部件163，可使用真空波紋管。在導(dǎo)向臂140被滑動引導(dǎo)部160引出的情況下，在被引出的端部上可設(shè)置導(dǎo)向機(jī)構(gòu)170。導(dǎo)向機(jī)構(gòu)170在導(dǎo)向臂140的被引出的端部根據(jù)蒸鍍源120的線性移動而動作時引導(dǎo)導(dǎo)向臂140的端部的動作。導(dǎo)向機(jī)構(gòu)170可包括電纜卷筒。如圖2所示，電纜卷筒的一端部連接在導(dǎo)向臂140的被引出的端部。電纜卷筒通過根據(jù)導(dǎo)向臂140的被引出的端部位置而彎曲的方式動作，從而能夠引導(dǎo)出導(dǎo)向臂140的端部的動作。如圖4所示，在導(dǎo)向臂140中可設(shè)置被第二密封部件144密封的至少一個關(guān)節(jié)。在此，導(dǎo)向臂140可形成為利用關(guān)節(jié)向與基板10隔開或鄰接的方向彎曲或展開。例如，導(dǎo)向臂140由第一臂141a、第二臂141b及第三臂141c構(gòu)成，并可在第一臂141a和第二臂141b之間設(shè)置第一關(guān)節(jié)142，可在第二臂141b和第三臂141c之間設(shè)置第二關(guān)節(jié)143。在此，第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143的各個旋轉(zhuǎn)中心軸配置成朝向蒸鍍源120的線性移動的方向，來使導(dǎo)向臂140借助第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143來向與基板10隔開或鄰接的方向彎曲或展開。第二密封部件144在第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143中導(dǎo)向臂140的內(nèi)部被真空腔室110的真空密封。作為第二密封部件144，可使用真空波紋管。所述第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143如圖5所示，即使蒸鍍源120被導(dǎo)向機(jī)構(gòu)引導(dǎo)而向基板10側(cè)移動，也能夠使導(dǎo)向臂140被第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143彎曲。因此，相對于基板10的蒸鍍源120的距離也能夠變化。由于能夠通過改變相對于蒸鍍源120的導(dǎo)向臂140的傾斜角度，從而容易連接導(dǎo)向臂140和蒸鍍源120，因而，能夠防止導(dǎo)向臂140和蒸鍍源120之間的結(jié)合部位破損的現(xiàn)象。并且，在導(dǎo)向臂140具有第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143的狀況下，因容易地組裝和拆卸，所以有利于維護(hù)。關(guān)節(jié)的數(shù)量不局限于如圖所示的關(guān)節(jié)數(shù)量。另一例為，導(dǎo)向臂140也可形成為利用第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143而向蒸鍍源120的線性移動方向彎曲或展開。在這種情況下，第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143的各個旋轉(zhuǎn)中心軸配置成朝向與基板IO相向的方向，來使導(dǎo)向臂140利用第一關(guān)節(jié)142、第二關(guān)節(jié)143向蒸鍍源120的線性移動方向彎曲或展開。如圖6所示，在導(dǎo)向臂140還能夠設(shè)置旋轉(zhuǎn)部件146。旋轉(zhuǎn)部件146能夠以朝向?qū)虮?40的長度方向的軸為中心使導(dǎo)向臂140和蒸鍍源120進(jìn)行相對旋轉(zhuǎn)。例如，旋轉(zhuǎn)部件146能夠固定在第三臂141c。并且，旋轉(zhuǎn)部件146可旋轉(zhuǎn)的方式支承在連接第三臂141c和蒸鍍源120的連接部121。在此，旋轉(zhuǎn)部件146通過以朝向?qū)虮?40的長度方向的軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的方式支承在連接部121。如果旋轉(zhuǎn)部件146相對于連接部121旋轉(zhuǎn)，則能夠使第三臂141c旋轉(zhuǎn)，從而能夠使整個導(dǎo)向臂140相對于蒸鍍源120旋轉(zhuǎn)。因此，即使在蒸鍍源120線性移動時出現(xiàn)移動
行程的誤差，導(dǎo)向臂140也可相對于蒸鍍源120旋轉(zhuǎn)，從而能夠更正誤差。此時，也可以防止導(dǎo)向臂140的破損。如圖7所示，導(dǎo)向臂140能夠以可分離成至少兩個部分的方式結(jié)合的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。例如，導(dǎo)向臂140能夠包括向長度方向分為兩個部分的第一外殼140a、第二外殼140b。第一外殼140a與第二外殼140b可分離地相結(jié)合，并在相結(jié)合的狀態(tài)下，提供收容動力管線150的空間。第一外殼140a和第二外殼140b之間的結(jié)合部位能夠被O型圈等的密封部件140c密封。由于導(dǎo)向臂140利用第一外殼140a，第二外殼140b來容易進(jìn)行組裝或分解，因而，能夠有利于維護(hù)被收容在該導(dǎo)向臂140的內(nèi)部的動力管線150。另一方面，在導(dǎo)向臂140由第一臂141a、第二臂141b及第三臂141c構(gòu)成的情況下，第一臂141a、第二臂141b及第三臂141c分別能夠由以可分離成兩個部分的方式結(jié)合的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。以上，參照附圖所示出的一實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了說明，但只作為示例性說明，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以根據(jù)本發(fā)明進(jìn)行各種變形及均等的其他實(shí)施例。因此，本發(fā)明的真正的保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求書限定。
權(quán)利要求
1.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括 真空腔室； 蒸鍍源，其設(shè)置在上述真空腔室的內(nèi)部； 蒸鍍源驅(qū)動部，其使上述蒸鍍源相對于上述真空腔室的內(nèi)部的基板進(jìn)行線性移動； 導(dǎo)向臂，其一端部引出到上述真空腔室外部，另一端部收容與上述蒸鍍源連接的動力管線，通過該導(dǎo)向臂的一端部來使上述動力管線引出到上述真空腔室的外部，該導(dǎo)向臂的另一端部能夠與上述蒸鍍源樞軸結(jié)合，并且該導(dǎo)向臂跟隨上述蒸鍍源的線性移動進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作的同時向長度方向滑動；以及 滑動引導(dǎo)部，其以維持密封的狀態(tài)設(shè)置在上述真空腔室和導(dǎo)向臂，用于引導(dǎo)上述導(dǎo)向臂的滑動。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述滑動引導(dǎo)部包括 外部管，其一端部與上述真空腔室結(jié)合，另一端部位于上述真空腔室的內(nèi)部，該外部管通過使上述導(dǎo)向臂的一部分貫通的方式來引導(dǎo)上述導(dǎo)向臂的滑動； 第一密封部件，其用于密封上述外部管和真空腔室之間的結(jié)合部位；以及 伸縮部件，其在上述真空腔室內(nèi)密封上述外部管和導(dǎo)向臂之間，并根據(jù)上述導(dǎo)向臂的滑動方向進(jìn)行伸縮動作。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述第一密封部件及伸縮部件分別為真空波紋管。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍裝置，其特征在于，包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，該導(dǎo)向機(jī)構(gòu)用于在上述導(dǎo)向臂的一端部隨著上述蒸鍍源的線性移動而進(jìn)行動作時引導(dǎo)上述導(dǎo)向臂的一端部的動作。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)為電纜卷筒。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述導(dǎo)向臂具有被第二密封部件密封的至少一個關(guān)節(jié)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述第二密封部件為真空波紋管。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述導(dǎo)向臂形成為上述關(guān)節(jié)向與基板隔開或鄰接的方向彎曲或展開。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述導(dǎo)向臂利用上述關(guān)節(jié)向上述蒸鍍源的線性移動的方向彎曲或展開。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍裝置，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)部件，該旋轉(zhuǎn)部件能夠使上述導(dǎo)向臂和蒸鍍源以沿著上述導(dǎo)向臂的長度方向的軸為中心進(jìn)行相對旋轉(zhuǎn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述導(dǎo)向臂由以能夠分離成至少兩個部分的方式結(jié)合的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。
12.根據(jù)權(quán)利要求I所述的蒸鍍裝置，其特征在于，上述導(dǎo)向臂的內(nèi)部具有與上述真空腔室的外部狀態(tài)相同的狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括真空腔室；蒸鍍源，其設(shè)置在上述真空腔室的內(nèi)部；蒸鍍源驅(qū)動部，其使上述蒸鍍源相對于上述真空腔室的內(nèi)部的基板進(jìn)行線性移動；導(dǎo)向臂，其一端部引出到上述真空腔室的外部，另一端部收容與上述蒸鍍源連接的動力管線，通過該導(dǎo)向臂的一端部來使上述動力管線引出到上述真空腔室的外部，該導(dǎo)向臂的另一端部能夠與上述蒸鍍源樞軸結(jié)合，并且該導(dǎo)向臂跟隨上述蒸鍍源的線性移動進(jìn)行軸轉(zhuǎn)動作的同時向長度方向滑動；以及滑動引導(dǎo)部，其以維持密封的狀態(tài)設(shè)置在上述真空腔室和導(dǎo)向臂，用于引導(dǎo)上述導(dǎo)向臂的滑動。
文檔編號C23C14/24GK102877028SQ20121024084
公開日2013年1月16日 申請日期2012年7月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月13日
發(fā)明者柳秉秀, 蔡正在, 安成一 申請人:圓益Ips股份有限公司