專利名稱：一種使器件在手套箱與真空室之間轉(zhuǎn)移的傳遞裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種真空鍍膜領(lǐng)域的真空輔助部件，具體涉及一種使器件在手套箱與真空室之間轉(zhuǎn)移的傳遞裝置。
背景技術(shù)：
當(dāng)前，隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，真空沉積的多層膜器件層出不窮，器件的生產(chǎn)過程中多層膜要求不脫離真空環(huán)境或保護(hù)氣體的環(huán)境進(jìn)行清洗、光刻、檢測和封裝等多種操作；手套箱可以使器件不脫離真空環(huán)境或保護(hù)氣體的環(huán)境進(jìn)行清洗、光刻、檢測和封裝等多種操作；這樣就需要使多層膜器件在真空室與手套箱之間傳遞，手套箱與真空室之間的過渡室·保證了器件在轉(zhuǎn)移過程中不脫離真空環(huán)境?，F(xiàn)有的過渡室大多采用直桿機(jī)械手方式或采用齒輪帶動齒條再帶動載器件的小車的方式，把器件從一個室取出再送人另一個室，這些方式不可避免的使過渡室體積較大，占地面積大；工作時，由于過渡室體積大,導(dǎo)致真空抽氣的時間較長,并且需要充入較大量的保護(hù)氣體，造成資源的浪費(fèi)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提出了一種使器件在手套箱與真空室之間轉(zhuǎn)移的傳遞裝置，解決現(xiàn)有技術(shù)中過渡室體積龐大而導(dǎo)致的抽氣時間較長的問題，并且避免資源的浪費(fèi)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的傳遞裝置包括轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)及托板；所述托板的右端部固定在所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)左端部的連接軸上，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)可帶動托板移動，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)與所述托板整體位于過渡室中，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)右端與過渡室壁的右側(cè)連接，過渡室右端與手套箱連接、左端通過插板閥與真空室接口連接。所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)為X桿機(jī)構(gòu)，所述手套箱箱口處裝有真空夾閥。所述真空室接口內(nèi)裝有前滑道，過渡室內(nèi)裝有后滑道，所述前滑道及所述后滑道在同一條直線上，所述托板可在所述前滑道及所述后滑道上滑動。所述過渡室的前后兩面壁上同軸安有前收放軸座和后收放軸座，在這兩個軸座中安裝有可旋轉(zhuǎn)的收放軸；所述收放軸上套有正螺紋滑塊和反螺紋滑塊，所述正螺紋滑塊與所述反螺紋滑塊與收放軸中部的正反螺紋配合，所述正螺紋滑塊與所述反螺紋滑塊通過支板軸分別與所述X桿機(jī)構(gòu)右端部的兩個交叉的支板連接。所述過渡室壁上裝有排氣口和充氣口。所述真空夾閥包括動緊板、定緊板以及偏心扳手；所述動緊板和所述定緊板的外徑同手套箱箱口的內(nèi)徑間隙配合；所述動緊板中心的軸穿過定緊板，并且與偏心扳手通過拉緊軸相連，旋動所述偏心扳手可以使動緊板和定緊板貼緊和松開；所述動緊板和所述定緊板對應(yīng)邊緣各有一個斜面夾有密封圈，當(dāng)動緊板和定緊板貼緊時，密封圈擠出并與手套箱箱口的壁貼緊實(shí)現(xiàn)真空密封。所述傳遞裝置安裝過程中整體保證真空密封。
本發(fā)明的有益效果本發(fā)明的傳遞裝置通過X桿機(jī)構(gòu)的伸縮實(shí)現(xiàn)器件在真空室與手套箱之間的傳遞，減小了過渡室的體積，縮短了工作時真空抽氣時間，減少了保護(hù)氣體的沖入量，避免了資源的浪費(fèi)。


圖I為本發(fā)明的傳遞裝置收回狀態(tài)時的剖視圖；圖2為本發(fā)明的床底裝置送出狀態(tài)時的剖視圖；其中1、真空室壁，2、真空室接口，3、前滑道，4、插板閥，5、托板，6、排氣口，7、后滑道，8、充氣口，9、連接軸，10、支板軸，11、前收放軸座，12、正螺紋滑塊，13、手套箱，14、收放軸，15、偏心扳手，16、拉緊軸，17、動緊板，18、定緊板，19、彈簧，20、密封圈，21、旋鈕，22、后收放軸座，23、反螺紋滑塊，24、支板。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步描述。實(shí)施例一參見附圖1、2，本發(fā)明的傳遞裝置中插板閥4的一面與真空室接口 2連接，另一面和過渡室的一個口相連接。過渡室的另一個口與手套箱13相連接。所述過渡室的內(nèi)徑100mm，長200mm。在真空室接口 2內(nèi)裝有前滑道3，在過渡室內(nèi)裝有后滑道7，它們共同保證了托板5在其中順利地直線滑動。在過渡室壁上裝有排氣口 6和充氣口 8，用以抽出過渡室的氣體和充入保護(hù)氣體，它們都裝有閥門。同時，在過渡室的前后兩面壁上同軸安有前收放軸座11和后收放軸座22，在這兩個軸座中裝有可旋轉(zhuǎn)的收放軸14，它們要保證真空密封。收放軸14的直徑為8mm。收放軸14的中部有對應(yīng)的正反螺紋，在正反螺紋部分分別裝有可滑動的正螺紋滑塊12和反螺紋滑塊23。本發(fā)明的傳遞裝置中的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)為X桿機(jī)構(gòu)，由6個長為9mm的支板、2個長為5mm支板組成，在X桿機(jī)構(gòu)的最前端裝有托板連接軸9同虛線顯示的托板5相連接；在旋動旋鈕21時，收放軸14帶動正螺紋滑塊12和反螺紋滑塊23離開或靠近，再由支板軸10和支板24組成的菱形機(jī)構(gòu)使托板連接軸9伸出或縮回移動，也就帶動了虛線顯示的托板5伸出或縮回移動。虛線顯示的送出托板5即可帶動其上面的樣品托和樣品伸出真空室壁I。本實(shí)例可以使送出托板5帶動其上面的樣品托和樣品伸出真空室壁I達(dá)140_。在手套箱口裝有真空夾閥，其結(jié)構(gòu)是動緊板17和定緊板18的外徑同手套箱口的內(nèi)徑間隙配合，直徑為100mm。動緊板17和定緊板18對應(yīng)邊緣各有一個斜面夾有一個8mm粗的密封圈20，動緊板17中心有一軸穿過定緊板18，這一軸又由拉緊軸16同偏心扳手15相連，扳動偏心扳手15可以使動緊板17和定緊板18貼緊和放松。在動緊板17和定緊板18貼緊時，它們將密封圈20擠出和手套箱口的壁貼緊來達(dá)到真空密封；而在動緊板17和定緊板18松開時，再加有3個彈簧19的漲力，動緊板17和定緊板18便分開，使將密封圈20回縮不再和手套箱口的壁貼緊了，即可以拿下真空夾閥，在送取托板5上放上或取下樣品托和樣品。其工藝過程是在插板閥4、排氣閥、充氣閥和夾板閥都關(guān)閉的情況下，如要向真空室送入樣品。首先，打開排氣閥對過渡室抽真空，之后關(guān)閉排氣閥，打開充氣閥充入和手套箱內(nèi)同樣的、同壓力的保護(hù)氣體，如氮?dú)?。這時，即可關(guān)閉充氣閥，扳動夾板閥上的偏心扳手15使動緊板17和定緊板18松開，拿下夾板閥。裝入并固定樣品和樣品托在托板5上。裝上夾板閥，推下夾板閥上的偏心扳手15,使動緊板17和定緊板18夾緊，密封圈20擠出和手套箱口的壁貼緊。打開排氣閥對過渡室抽真空，達(dá)到一定真空度時，即可關(guān)閉排氣閥，打開插板閥4。旋動旋鈕21，使收放軸14帶動正螺紋滑塊12和反螺紋滑塊23靠近，支板軸10同支板24組成的X桿機(jī)構(gòu)使托板連接軸9伸出，帶動了虛線顯示的托板5的伸出。虛線顯示的托板5即可帶動其上面的樣品托和樣品伸出真空室壁1，完成了送出傳遞的過程。取出的過程相反，即收回送取托板5和其上面的樣品托和樣品，關(guān)閉插板閥4，打開充氣閥充入和手套箱內(nèi)同樣的同壓力的保護(hù)氣體，這時即可扳動夾板閥上的偏心扳手15使動緊板17和定緊板18松開，拿下夾板閥，取出樣品托和樣品。所述傳遞裝置安裝過程中整體保證真空密封。
實(shí)施例二 本實(shí)施例與實(shí)施例一的區(qū)別在于所述彈簧19的個數(shù)還可以是大于3的整數(shù)。以上為本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，但決非對本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
1.一種使器件在手套箱與真空室之間轉(zhuǎn)移的傳遞裝置，其特征在于，包括轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)及托板(5);所述托板(5)的右端部固定在所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)左端部的連接軸(9)上，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)可帶動托板(5)移動，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)與所述托板(5)整體位于過渡室中，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)右端與過渡室壁的右側(cè)連接，過渡室右端與手套箱(13)連接、左端通過插板閥(4)與真空室接ロ(2)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的傳遞裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)為X桿機(jī)構(gòu)，所述手套箱(13 )箱ロ處裝有真空夾閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的傳遞裝置，其特征在于，所述真空室接ロ(2)內(nèi)裝有前滑道(3)，過渡室內(nèi)裝有后滑道(7)，所述前滑道(3)及所述后滑道(7)在同一條直線上，所述托板(5 )可在所述前滑道(3 )及所述后滑道(7 )上滑動。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳遞裝置，其特征在于，所述過渡室的前后兩面壁上同軸安有前收放軸座(11)和后收放軸座(22)，在這兩個軸座中安裝有可旋轉(zhuǎn)的收放軸(14);所述收放軸(14)上套有正螺紋滑塊(12)和反螺紋滑塊(23)，所述正螺紋滑塊(12)與所述反螺紋滑塊(23)與收放軸(14)中部的正反螺紋配合，所述正螺紋滑塊(12)與所述反螺紋滑塊(23)通過支板軸(10)分別與所述X桿機(jī)構(gòu)右端部的兩個交叉的支板(24)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的傳遞裝置，其特征在于，所述過渡室壁上裝有排氣ロ(6)和充氣ロ(8)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的傳遞裝置，其特征在于，所述真空夾閥包括動緊板(17)、定緊板(18)以及偏心扳手(15);所述動緊板(17)和所述定緊板(18)的外徑同手套箱(13)箱ロ的內(nèi)徑間隙配合；所述動緊板(17)中心的軸穿過定緊板(18)，并且與偏心扳手(15)通過拉緊軸(16)相連，旋動所述偏心扳手(15)可以使動緊板(17)和定緊板(18)貼緊和松開；所述動緊板(17)和所述定緊板(18)對應(yīng)邊緣各有ー個斜面夾有密封圈(20)，當(dāng)動緊板(17)和定緊板(18)貼緊時，密封圈(20)擠出并與手套箱(13)箱ロ的壁貼緊實(shí)現(xiàn)真空密封。
全文摘要
一種使器件在手套箱與真空室之間轉(zhuǎn)移的傳遞裝置，屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種真空鍍膜領(lǐng)域的真空輔助部件，目的在于解決現(xiàn)有技術(shù)中過渡室體積龐大而導(dǎo)致的抽氣時間較長的問題，并且避免了資源的浪費(fèi)。包括轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)及托板；所述托板的右端部固定在所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)左端部的連接軸上，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)可帶動托板伸縮，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)與所述托板整體位于過渡室中，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)右端與過渡室壁的右側(cè)連接，過渡室右端與手套箱連接、左端通過插板閥與真空室接口連接，所述轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)為X桿機(jī)構(gòu)，所述手套箱箱口處裝有真空夾閥。通過X桿機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)器件在真空室與手套箱之間的傳遞，減小了過渡室的體積，縮短了抽氣時間，減少了保護(hù)氣體的沖入量。
文檔編號C23C14/00GK102851637SQ20121037004
公開日2013年1月2日 申請日期2012年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月27日
發(fā)明者劉星元, 林杰, 李會斌 申請人:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所