專利名稱：一種可加工非標(biāo)硅片的倒角機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種倒角機(jī)，尤其是涉及一種可加工非標(biāo)硅片的倒角機(jī)。
背景技術(shù)：
硅片的加工一般都需要用倒角設(shè)備，隨著非標(biāo)硅片應(yīng)用廣泛的不斷增加，需要現(xiàn)有倒角機(jī)具備一定的加工非標(biāo)硅片的能力，D37-378/YL型國(guó)產(chǎn)倒角機(jī)主要用于半導(dǎo)體硅片的邊緣處理，能自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)精確加工倒角，但存在不具備加工直徑低于73_非標(biāo)硅片能力的技術(shù)問(wèn)題
發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的問(wèn)題是提供一種可加工非標(biāo)硅片的倒角機(jī)。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是一種可加工非標(biāo)硅片的倒角機(jī)，包括規(guī)正系統(tǒng)，所述規(guī)正系統(tǒng)包括送片臂，所述送片臂的一頭設(shè)有圓形吸片頭，所述吸片頭配有兩個(gè)拱形的規(guī)正夾板，每個(gè)所述規(guī)正夾板的兩端各設(shè)有一個(gè)條形定位塊，所述定位塊的一端通過(guò)軸固定在所述規(guī)正夾板上，所述定位塊可根據(jù)實(shí)際加工需要調(diào)節(jié)角度，所述定位塊的另一端設(shè)有定位輪。其中，所述吸片頭直徑為35mm。該倒角機(jī)還包括加工系統(tǒng)，所述加工系統(tǒng)包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有用于夾持工件的上夾片和下夾片，所述上夾片呈圓柱體形，所述下夾片由第一圓柱體和第二圓柱體上下拼接而成，所述第一圓柱體的直徑小于第二圓柱體。其中，所述上夾片直徑為35mm、高為40mm。所述第一圓柱體直徑為35mm、高為7mm ;所述第二圓柱體直徑為68. 4mm,高為35mm0本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是由于采用上述技術(shù)方案，在保持設(shè)備原有加工能力的條件下，增加非標(biāo)硅片加工能力，從而提高該型設(shè)備生產(chǎn)加工能力。


圖I是本發(fā)明的規(guī)正系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意2是本發(fā)明的上下夾片結(jié)構(gòu)示意中I、規(guī)正夾板 2、定位塊 3、定位輪4、吸片頭 5、送片臂 6、上夾片7、下夾片 7. I、圓柱體 7. 2、圓柱體
具體實(shí)施例方式如圖I所示，本發(fā)明包括規(guī)整系統(tǒng)，該規(guī)正系統(tǒng)包括送片臂5，所述送片臂5的一頭設(shè)有圓形吸片頭4，該吸片頭4直徑為35mm ;該吸片頭4還配有兩個(gè)拱形的規(guī)正夾板1，每個(gè)所述規(guī)正夾板I的兩端各設(shè)有一個(gè)條形定位塊2，所述定位塊2的一端通過(guò)軸固定在所述規(guī)正夾板I上，所述定位塊2可根據(jù)實(shí)際加工需要調(diào)節(jié)角度，所述定位塊2的另一端設(shè)有定位輪3。本發(fā)明還包括加工系統(tǒng)，所述加工系統(tǒng)包括工作臺(tái)，如圖2所示，工作臺(tái)上設(shè)有用于夾持工件的上夾片6和下夾片7，所述上夾片6呈圓柱體形，直徑為35mm、高為40mm ;下夾片7由圓柱體7. I和圓柱體7. 2上下拼接而成，圓柱體7. I直徑為35mm、高為7mm，圓柱體 7. 2 為 68. 4mm,高為 35mm。本實(shí)例的工作過(guò)程硅片經(jīng)規(guī)正系統(tǒng)的送片臂5吸附在吸片頭4上，定位塊2和定位輪3根據(jù)實(shí)際加工硅片直徑調(diào)節(jié)角度，經(jīng)規(guī)正夾板I規(guī)正位置后，送入加工系統(tǒng)的工作臺(tái)，由工作臺(tái)上下夾片6、7夾持固定，開始倒角加工。以上對(duì)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn) 等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種可加工非標(biāo)硅片的倒角機(jī)，其特征在于包括規(guī)正系統(tǒng)，所述規(guī)正系統(tǒng)包括送片臂，所述送片臂的一頭設(shè)有圓形吸片頭，所述吸片頭配有兩個(gè)拱形的規(guī)正夾板，每個(gè)所述規(guī)正夾板的兩端各設(shè)有一個(gè)條形定位塊，所述定位塊的一端通過(guò)軸固定在所述規(guī)正夾板上，所述定位塊可根據(jù)實(shí)際加工需要調(diào)節(jié)角度，所述定位塊的另一端設(shè)有定位輪。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的倒角機(jī)，其特征在于所述吸片頭直徑為35mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的倒角機(jī)，其特征在于還包括加工系統(tǒng)，所述加工系統(tǒng)包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有用于夾持工件的上夾片和下夾片，所述上夾片呈圓柱體形，所述下夾片由第一圓柱體和第二圓柱體上下拼接而成，所述第一圓柱體的直徑小于第二圓柱體。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的倒角機(jī)，其特征在于所述上夾片直徑為35mm、高為40mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的倒角機(jī)，其特征在于所述第一圓柱體直徑為35mm、高為 7mm ;所述第二圓柱體直徑為68. 4mm,高為35mm。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可加工非標(biāo)硅片的倒角機(jī)，包括規(guī)正系統(tǒng)，所述規(guī)正系統(tǒng)包括送片臂，所述送片臂的一頭設(shè)有圓形吸片頭，所述吸片頭配有兩個(gè)拱形的規(guī)正夾板，每個(gè)所述規(guī)正夾板的兩端各設(shè)有一個(gè)條形定位塊，所述定位塊的一端通過(guò)軸固定在所述規(guī)正夾板上，所述定位塊可根據(jù)實(shí)際加工需要調(diào)節(jié)角度，所述定位塊的另一端設(shè)有定位輪。本發(fā)明的有益效果是在保持設(shè)備原有加工能力的條件下，增加非標(biāo)硅片加工能力，從而提高該型設(shè)備生產(chǎn)加工能力。
文檔編號(hào)B24B9/06GK102962743SQ20121049721
公開日2013年3月13日 申請(qǐng)日期2012年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月28日
發(fā)明者雷海云, 張雪囡, 耿輝, 古元甲, 郭紅慧, 邢玉軍 申請(qǐng)人:天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司