專利名稱：蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，是一種圓片背面金屬化工藝用的夾具，具體地說是一種蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具。
背景技術(shù)：
目前，在圓片背面金屬化工藝過程當(dāng)中，真空蒸發(fā)臺(tái)所使用的夾具只能裝載與夾具本身尺寸相對(duì)應(yīng)的圓片，在使用的靈活性上受到很大限制。實(shí)際操作過程中，當(dāng)同時(shí)有兩種或兩種以上尺寸規(guī)格的圓片需要進(jìn)行背面金屬化時(shí)，只能先對(duì)其中一種尺寸規(guī)格的圓片進(jìn)行工藝，然后再對(duì)另一種尺寸規(guī)格的圓片進(jìn)行工藝，以此類推，通過這樣反復(fù)多次的工藝來完成所有的加工需求。這樣多批次的重復(fù)性作 業(yè)，不僅大大增加了人力、動(dòng)力等運(yùn)營成本，對(duì)于貴重靶材的重復(fù)性消耗，更是對(duì)資源的極大浪費(fèi)。如果可以通過設(shè)計(jì)一種夾具，在不改變現(xiàn)有設(shè)備結(jié)構(gòu)的情況下就能應(yīng)對(duì)上述提及的情況，顯然是非常有好處的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、巧妙、合理的蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，該夾具可以柔性裝載不同尺寸的圓片，使用靈活，應(yīng)用范圍較廣。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案一種蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，包括圓片保護(hù)蓋、內(nèi)沿設(shè)置臺(tái)階的環(huán)狀本體，所述臺(tái)階上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置若干個(gè)環(huán)形手臂，特征在于所述環(huán)形手臂包括上臂，上臂上設(shè)置有滑槽，緊定螺栓將下臂固定連接于滑槽下端，所述下臂端部設(shè)置圓片臺(tái)階。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述環(huán)狀本體的臺(tái)階沿圓周方向均布定位孔，定位栓將環(huán)形手臂的上臂固定于臺(tái)階的定位孔中，所述定位栓下端部通過定位栓銷子卡緊。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述環(huán)形手臂的弧度與環(huán)狀本體的弧度相同。作為本發(fā)明的進(jìn)一步改進(jìn)，所述下臂上設(shè)置有螺紋孔，緊定螺栓下端旋緊在螺紋孔中。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，優(yōu)點(diǎn)在于本發(fā)明蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具在不改變現(xiàn)有設(shè)備構(gòu)造、不增加設(shè)備負(fù)擔(dān)的前提下，為多種尺寸的硅片同時(shí)進(jìn)行背面金屬化工藝，提供了較好的解決辦法，在減少運(yùn)行成本及貴重靶材消耗的同時(shí)，工藝可靠性也能得到保證，可操作性強(qiáng)，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、巧妙、合理，可以有效裝載不同尺寸規(guī)格的圓片。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本發(fā)明的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合具體附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。如圖1、2所示，包括環(huán)狀本體1、臺(tái)階2、環(huán)形手臂3、上臂4、下臂5、定位栓6、滑槽7、緊定螺栓8、圓片臺(tái)階9、定位栓銷子10、圓片保護(hù)蓋11、圓片12、定位孔13、螺紋孔14。如圖1、2所示，本發(fā)明是一種蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，包括圓片保護(hù)蓋11、內(nèi)沿設(shè)置臺(tái)階2的環(huán)狀本體1，所述臺(tái)階2上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置若干個(gè)環(huán)形手臂3，所述環(huán)形手臂3包括上臂4，上臂4上設(shè)置有滑槽7，緊定螺栓8將下臂5固定連接于滑槽7下端，所述下臂5端部設(shè)置圓片臺(tái)階9。所述環(huán)狀本體I的臺(tái)階2沿圓周方向均布定位孔13，定位栓6將環(huán)形手臂3的上臂4固定于臺(tái)階2的定位孔13中，所述定位栓6下端部通過定位栓銷子10卡緊。
所述環(huán)形手臂3的弧度與環(huán)狀本體I的弧度相同。所述下臂5上設(shè)置有螺紋孔14，緊定螺栓8下端旋緊在螺紋孔14中。如圖1、2所示，將本發(fā)明通過行星架上的彈簧片固定后，可以根據(jù)不同尺寸規(guī)格的圓片12，對(duì)該夾具上臂4、下臂5的相對(duì)位置作出調(diào)整，具體是將環(huán)形手臂3向內(nèi)旋轉(zhuǎn)90°，根據(jù)圓片12的尺寸規(guī)格，松開緊定螺栓8，在滑槽7中，拉出下臂5至適當(dāng)位置后，旋緊緊定螺栓8,插入定位栓6固定環(huán)形手臂3,在定位栓6的底部通過定位栓銷子10卡緊，在調(diào)整好夾具后，根據(jù)將圓片12圖形面朝上放置于環(huán)形本體I的圓片臺(tái)階9上，蓋上圓片保護(hù)蓋11即可。本發(fā)明蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具在不改變現(xiàn)有設(shè)備構(gòu)造、不增加設(shè)備負(fù)擔(dān)的前提下，為多種尺寸的硅片同時(shí)進(jìn)行背面金屬化工藝，提供了較好的解決辦法，在減少運(yùn)行成本及貴重靶材消耗的同時(shí)，工藝可靠性也能得到保證，可操作性強(qiáng)，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、巧妙、合理，可以有效裝載不同尺寸規(guī)格的圓片。
權(quán)利要求
1.一種蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，包括圓片保護(hù)蓋(11)、內(nèi)沿設(shè)置臺(tái)階(2)的環(huán)狀本體(1)，所述臺(tái)階(2)上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置若干個(gè)環(huán)形手臂(3)，其特征在于所述環(huán)形手臂(3)包括上臂(4)，上臂(4)上設(shè)置有滑槽(7)，緊定螺栓(8)將下臂(5)固定連接于滑槽(7)下端，所述下臂(5)端部設(shè)置圓片臺(tái)階(9)。
2.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，其特征在于所述環(huán)狀本體(I)的臺(tái)階(2)上沿圓周方向均布定位孔(13)，定位栓(6)將環(huán)形手臂(3)的上臂(4)固定于臺(tái)階(2)的定位孔(13)中,所述定位栓(6)下端部通過定位栓銷子(10)卡緊。
3.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，其特征在于所述環(huán)形手臂(3)的弧度與環(huán)狀本體(I)的弧度相同。
4.如權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，其特征在于所述下臂(5)上設(shè)置有螺紋孔(14)，緊定螺栓(8)下端旋緊在螺紋孔(14)中。
全文摘要
本發(fā)明屬于集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，是一種圓片背面金屬化工藝用的夾具，具體地說是一種蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具，包括內(nèi)沿設(shè)置臺(tái)階的環(huán)狀本體，所述臺(tái)階上轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置若干個(gè)環(huán)形手臂，特征在于所述環(huán)形手臂包括上臂，上臂上設(shè)置有滑槽，緊定螺栓將下臂固定連接于滑槽下端，所述下臂端部設(shè)置圓片臺(tái)階。本發(fā)明蒸發(fā)臺(tái)用的圓片放置夾具在不改變現(xiàn)有設(shè)備構(gòu)造、不增加設(shè)備負(fù)擔(dān)的前提下，為多種尺寸的硅片同時(shí)進(jìn)行背面金屬化工藝，提供了較好的解決辦法，在減少運(yùn)行成本及貴重靶材消耗的同時(shí)，工藝可靠性也能得到保證，可操作性強(qiáng)，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、巧妙、合理，可以有效裝載不同尺寸規(guī)格的圓片。
文檔編號(hào)C23C14/50GK103014650SQ20121058444
公開日2013年4月3日 申請(qǐng)日期2012年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2012年12月28日
發(fā)明者李云海, 張順亮, 黃強(qiáng) 申請(qǐng)人:無錫中微高科電子有限公司