專利名稱：一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于靶材技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種組合式鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能、平面顯示器、光學(xué)玻璃等電子行業(yè)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，薄膜科學(xué)應(yīng)用日益廣泛，尤其是用于高新技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)濺射法加工太陽能光伏的薄膜涂層和平面顯示行業(yè)的電極薄膜。濺射法是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動能交換，使固體表面的原子離開固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱為濺射靶材。即可以簡單理解為，濺射沉積薄膜的原材料即為靶材，是為陰極濺射系統(tǒng)中被濺射的材料。其中靶材的純度越高、密度越高，其濺射沉積薄膜越均勻，靶材濺射率越高。由于現(xiàn)有技術(shù)中旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材為整體式結(jié)構(gòu)，靶材尺寸越大，加工和生產(chǎn)工藝越困難，當(dāng)旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材長 度達(dá)到2000mm以上時(shí)，獲得高純、高致密、內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)均勻細(xì)小的靶材非常困難，從而嚴(yán)重影響靶材成膜后薄膜的均勻性、電阻率、晶體生長的一致性等性能。故具有優(yōu)異結(jié)構(gòu)性能的整體燒結(jié)態(tài)大尺寸旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材的獲得非常困難。

實(shí)用新型內(nèi)容為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提出一種組合式鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材。本實(shí)用新型為完成其發(fā)明任務(wù)采用如下技術(shù)方案一種組合式鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，所述的鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構(gòu)成；其中管形靶材I的一端具有接頭，所述接頭的前端具有外螺紋；所述的管形靶材II的一端具有中心空腔，所述管形靶材II 一端的中心空腔具有與接頭螺紋配合的內(nèi)螺紋。本實(shí)用新型提出的一種組合式鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，采用螺紋連接的兩段管型靶材組合可使鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材達(dá)到所需長度，解決了現(xiàn)有技術(shù)中靶材尺寸越大，加工越困難的問題，具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便的特點(diǎn)。

圖I為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的A-A剖視圖。圖中I、管形靶材I，2、管形靶材II，3、接頭。
具體實(shí)施方式
結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型加以說明[0011]如圖I、圖2所示，一種組合式鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，所述的鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構(gòu)成；其中管形靶材I I的一端具有接頭3，所述接頭3的前端具有外螺紋；所述的管形靶材II 2的一端具有中心空腔，所述管形靶材II 2—端的中心空 腔具有與接頭3螺紋配合的內(nèi)螺紋。
權(quán)利要求1.一種組合式鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，其特征在于所述的鑰旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構(gòu)成；其中管形靶材I (I)的一端具有接頭(3)，所述接頭(3)的前端具有外螺紋；所述的管形靶材II (2)的一端具有中心空腔，所述管形靶材II (2) —端的中心空腔具有與接頭(3)螺紋配合的內(nèi) 螺紋。
專利摘要本實(shí)用新型屬于靶材技術(shù)領(lǐng)域，提出的一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，其特征在于所述的鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材由兩段管形靶材通過連接組合構(gòu)成；其中管形靶材Ⅰ(1)的一端具有接頭(3)，所述接頭(3)的前端具有外螺紋；所述的管形靶材Ⅱ(2)的一端具有中心空腔，所述管形靶材Ⅱ(2)一端的中心空腔具有與接頭(3)螺紋配合的內(nèi)螺紋。本實(shí)用新型提出的一種組合式鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材，采用螺紋連接的兩段管型靶材組合可使鉬旋轉(zhuǎn)濺射管形靶材達(dá)到所需長度，解決了現(xiàn)有技術(shù)中靶材尺寸越大，加工越困難的問題，具有結(jié)構(gòu)簡單，操作方便的特點(diǎn)。
文檔編號C23C14/34GK202543308SQ201220135308
公開日2012年11月21日 申請日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者王健, 趙文普 申請人:洛陽高新四豐電子材料有限公司