專(zhuān)利名稱(chēng)：真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及的是一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置。
背景技術(shù)：
目前，真空離子鍍膜機(jī)的工作轉(zhuǎn)盤(pán)有三軸第I旋轉(zhuǎn)軸為大旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)軸，第2旋轉(zhuǎn)軸為活動(dòng)轉(zhuǎn)軸，第3旋轉(zhuǎn)軸為旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)的被鍍部件裝置軸，其結(jié)構(gòu)原理為減速馬達(dá)帶動(dòng)大旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)軸，經(jīng)過(guò)齒輪傳動(dòng)使活動(dòng)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，活動(dòng)轉(zhuǎn)軸上安裝有旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)，旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)外圈有若干正菱形可安裝被鍍部件的旋轉(zhuǎn)軸，正菱形可安裝被鍍部件的旋轉(zhuǎn)軸在固定 于固定軸撥叉14撥動(dòng)下進(jìn)行角位移(若旋轉(zhuǎn)體為六方型則工作盤(pán)每旋轉(zhuǎn)一周，旋轉(zhuǎn)體轉(zhuǎn)動(dòng)60度，依次若為十二方則工作盤(pán)每旋轉(zhuǎn)一周，旋轉(zhuǎn)體旋轉(zhuǎn)30度，以此類(lèi)推)旋轉(zhuǎn)到位即停止，等待下一次撥動(dòng)。上述裝置的弊端是正菱形可安裝被鍍部件的旋轉(zhuǎn)軸不是連續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)而是間歇轉(zhuǎn)動(dòng)，不能保證被鍍部件在任意時(shí)刻都能均勻地受到離子束的轟擊(即只能實(shí)現(xiàn)勻速公轉(zhuǎn)、勻速自轉(zhuǎn)、不能實(shí)現(xiàn)勻速旋轉(zhuǎn))，并且第3旋轉(zhuǎn)軸只能位于旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)的等半徑一圈。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種可實(shí)現(xiàn)三軸勻速連轉(zhuǎn)的真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置。本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，包括太陽(yáng)輪、內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪、外側(cè)行星輪、齒圈、齒圈限位桿、行星架和行星架固定裝置，太陽(yáng)輪安裝在行星架的中心位置上，所述內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪和外側(cè)行星輪各為等半徑放射性排列在太陽(yáng)輪和齒圈之間，齒圈限位桿固定于齒圈上，行星架通過(guò)行星架固定裝置固定。所述齒圈限位桿相對(duì)于固定軸不動(dòng)，齒圈、行星架相對(duì)于太陽(yáng)輪差速旋轉(zhuǎn)。所述行星架上端設(shè)有上裝裝置定位孔。所述行星架下端設(shè)有下掛裝置定位孔。所述上裝裝置定位孔和下掛裝置定位孔與內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪和外側(cè)行星輪各共為一體。本實(shí)用新型是一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，實(shí)現(xiàn)了三軸勻速連轉(zhuǎn)(公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn))功能；三軸勻速連轉(zhuǎn)便捷鍍膜裝置可任意安裝在活動(dòng)軸的軸向任意位置，數(shù)量不限；取消撥叉，無(wú)撥叉定位之必要；旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)安裝被鍍部件可同時(shí)上裝或下掛亦可同時(shí)進(jìn)行，簡(jiǎn)化安裝、取下部件作業(yè)；充分利用有效空間，倍增自轉(zhuǎn)軸數(shù)量。

圖I是本實(shí)用新型一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的主視圖。圖2是本實(shí)用新型一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的俯視圖。[0012]圖3是本實(shí)用新型一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的側(cè)視圖。圖4是本實(shí)用新型一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的立體圖。圖5是本實(shí)用新型一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的工作轉(zhuǎn)架示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖I、圖2、圖3和圖4所示，真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，就是太陽(yáng)輪與齒圈共同輸出自轉(zhuǎn)所需力矩且等距倍增設(shè)置旋轉(zhuǎn)軸的一種勻速連轉(zhuǎn)裝置，包括太陽(yáng)輪I、內(nèi)側(cè)行星輪2、過(guò)渡行星輪3、外側(cè)行星輪4、齒圈5、齒圈限位桿8、行星架6和行星架固定裝置9，太陽(yáng)輪I安裝在行星架6的中心位置上，。內(nèi)側(cè)行星輪2、過(guò)渡行星輪3和外側(cè)行星輪4各為等半徑放射性排列在太陽(yáng)輪I和齒圈5之間，齒圈限位桿8固定于齒圈5上，行星架6通過(guò)行星架固定裝置9固定，太陽(yáng)輪I力的傳遞由活動(dòng)軸傳出的力矩通過(guò)太陽(yáng)輪I帶動(dòng)內(nèi)側(cè)行星輪2，然后傳遞給過(guò)渡行星輪3，再傳遞給外側(cè)行星輪4，由外側(cè)行星輪4將力矩傳遞 給齒圈5，此時(shí)因齒圈5的齒圈限位桿8與大旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)上的固定軸15相互之間沒(méi)有位移運(yùn)動(dòng)，因而齒圈5相對(duì)于太陽(yáng)輪I具有旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，由齒圈5再將力矩傳遞給相鄰?fù)鈧?cè)行星輪4，再傳遞給相鄰的過(guò)渡行星輪3。聯(lián)動(dòng)便捷軸組包括下掛裝置定位孔7、上裝裝置定位孔10單獨(dú)與內(nèi)側(cè)行星輪2、過(guò)渡行星輪3、外側(cè)行星輪4各共為一體，所以當(dāng)?shù)贗旋轉(zhuǎn)軸11為大旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)軸，第2旋轉(zhuǎn)軸12為活動(dòng)轉(zhuǎn)軸勻速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，第3旋轉(zhuǎn)軸13為旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)的被鍍部件裝置軸(聯(lián)動(dòng)便捷軸組)也隨之勻速轉(zhuǎn)動(dòng)(旋轉(zhuǎn))，從而實(shí)現(xiàn)三軸勻速連轉(zhuǎn)，又因?yàn)榱Φ膫鬟f是太陽(yáng)輪I由內(nèi)向外傳遞給齒圈5，同時(shí)再將力矩傳遞給相鄰的外側(cè)行星輪4及相鄰的過(guò)渡行星輪3，因而不僅僅外側(cè)齒輪4實(shí)現(xiàn)了勻速旋轉(zhuǎn)功能，同時(shí)內(nèi)側(cè)行星輪2、過(guò)渡行星輪3、也隨之勻速旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置的工作原理為當(dāng)太陽(yáng)輪I被活動(dòng)軸帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，因?yàn)橛捎邶X圈5在齒圈限位桿8的作用下相對(duì)于固定軸15不動(dòng)，此時(shí)太陽(yáng)輪I與活動(dòng)軸之間則隨之具有了相對(duì)的角位移，同時(shí)力的傳遞由太陽(yáng)輪I、內(nèi)側(cè)行星輪2、過(guò)渡行星輪3、外側(cè)行星輪4給齒圈5，再由齒圈5傳遞給相鄰的外側(cè)行星輪4及相鄰的過(guò)渡行星輪3，聯(lián)動(dòng)便捷軸組包括下掛裝置定位孔7和上裝裝置定位孔10單獨(dú)與內(nèi)側(cè)行星輪2、過(guò)渡行星輪3、外側(cè)行星輪4各共為一體，本裝置可單獨(dú)進(jìn)行上裝或下掛部件作業(yè)，也可同時(shí)進(jìn)行上述作業(yè)，上裝、下掛均可簡(jiǎn)便安裝不同直徑的被鍍部件。本發(fā)明在不改動(dòng)現(xiàn)有真空離子鍍膜機(jī)機(jī)械結(jié)構(gòu)的前提下，可實(shí)現(xiàn)在活動(dòng)轉(zhuǎn)軸的軸向方向安裝若干旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)，安裝位置及數(shù)量不受力傳動(dòng)的影響，取消撥叉，簡(jiǎn)化作業(yè)方式，旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)多用，即可上裝被鍍部件又可下掛被鍍部件。可提高裝入部件的比率(例如若原旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)可安裝20個(gè)被鍍部件的情況下新旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)可安裝30個(gè)被鍍部件及以上，部件之間的間距與原旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)部件之間間距不變)，提高勞動(dòng)生產(chǎn)率50%及以上，提高被鍍部件鍍膜結(jié)合強(qiáng)度及鍍膜厚度的一致性。以上所述，僅為實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.ー種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，其特征在于包括太陽(yáng)輪、內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪、外側(cè)行星輪、齒圈、齒圈限位桿、行星架和行星架固定裝置，太陽(yáng)輪安裝在行星架的中心位置上，所述內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪和外側(cè)行星輪分別等半徑放射性排列在太陽(yáng)輪和齒圈之間，齒圈限位桿固定于齒圈上，行星架通過(guò)行星架固定裝置固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，其特征在于所述齒圈限位桿相對(duì)于固定軸不動(dòng)，齒圈、行星架相對(duì)于太陽(yáng)輪差速旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，其特征在于所述行星架上端設(shè)有上裝裝置定位孔。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種多弧離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，其特征在于所述行星架下端設(shè)有下掛裝置定位孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的ー種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，其特征在于所述上裝裝置定位孔和下掛裝置定位孔與內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪和外側(cè)行星輪各共為ー體。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，包括太陽(yáng)輪、內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪、外側(cè)行星輪、齒圈、齒圈限位桿、行星架和行星架固定裝置。太陽(yáng)輪安裝在行星架的中心位置上，所述內(nèi)側(cè)行星輪、過(guò)渡行星輪和外側(cè)行星輪各為等半徑放射性排列在太陽(yáng)輪和齒圈之間，齒圈限位桿固定于齒圈上，行星架通過(guò)行星架固定裝置固定。本實(shí)用新型是一種真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)鍍膜裝置，實(shí)現(xiàn)了三軸勻速連轉(zhuǎn)(公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)、旋轉(zhuǎn))功能；真空離子鍍?nèi)S勻速連轉(zhuǎn)便捷鍍膜裝置可任意安裝在活動(dòng)軸的軸向任意位置，數(shù)量不限；取消撥叉，無(wú)撥叉定位之必要；旋轉(zhuǎn)工作盤(pán)安裝被鍍部件可同時(shí)上裝或下掛亦可同時(shí)進(jìn)行，簡(jiǎn)化安裝、取下部件作業(yè)；充分利用有效空間，倍增自轉(zhuǎn)軸數(shù)量。
文檔編號(hào)C23C14/50GK202543311SQ20122015067
公開(kāi)日2012年11月21日 申請(qǐng)日期2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月11日
發(fā)明者龐厚星 申請(qǐng)人:龐厚星