專利名稱：一種在cvd設(shè)備中檢測基板破片的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置。
背景技木在基板進入CVD (Chemical Vapor Deposition,化學(xué)氣相沉積)設(shè)備之前,設(shè)備只能判斷基板是否有破碎，但是不能判斷基板上位于邊角處的破損和基板上的裂紋；出現(xiàn)裂紋和破角的玻璃基板會在設(shè)備內(nèi)破裂，損壞設(shè)備，影響生產(chǎn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是提供ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，以解決上述技術(shù)問題。為達到以上目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，包括裝載腔室，裝載腔室的入口的上方設(shè)有CXD鏡頭裝置。本實用新型進ー步的改進在于所述若干CXD鏡頭裝置排列成ー排。本實用新型進ー步的改進在于所述CXD鏡頭裝置設(shè)置于入口上方10cm。本實用新型進ー步的改進在于入口下方設(shè)置有LED光源。本實用新型進ー步的改進在于所述CXD鏡頭裝置還連接有顯示裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型具有以下優(yōu)點本實用新型ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，通過在裝載腔室的入ロ的上方設(shè)有CCD鏡頭裝置，通過CCD鏡頭裝置實時拍攝通過裝載腔室入口的基板，從CCD鏡頭裝置實時拍攝的圖片可以直觀的判斷基板上是否有裂紋和破損；避免破損的基板進入CVD設(shè)備，損壞設(shè)備，影響生產(chǎn)。

圖I為實用新型ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖I的側(cè)面圖；其中1為CVD設(shè)備的裝載腔室；2為裝載腔室的入口 ；3為C⑶鏡頭裝置；4為LED光源。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖對本實用新型做進ー步詳細(xì)描述。請參閱圖I及圖2所示，本實用新型ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，包括CVD設(shè)備的裝載腔室1，CVD設(shè)備的裝載腔室I的裝載腔室的入ロ 2上方IOcm處裝ー排CXD鏡頭裝置3;入口 2下設(shè)置有LED光源4。C⑶鏡頭裝置3設(shè)置于基板短邊處。當(dāng)基板經(jīng)過入ロ 2進入裝卸腔室I吋，LED光源4發(fā)光照射基板便于CXD鏡頭裝置3拍攝，CXD鏡頭裝置3會將整個基板拍攝下圖片，通過顯示裝置實時顯示CCD鏡頭裝置3拍攝下的圖片，根據(jù)拍攝的圖片判斷基板上是否有裂紋和破損；如果圖片上發(fā)現(xiàn)基板有破損或裂紋，立即發(fā)生報警，停止生產(chǎn)。以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應(yīng)視為本實用新型的保護范圍。
權(quán)利要求1.ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，包括裝載腔室(I)，裝載腔室(1)的入口(2)的上方設(shè)有若干CCD鏡頭裝置(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，所述若干(XD鏡頭裝置(3)排列成ー排。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，所述C⑶鏡頭裝置(3)設(shè)置于入口⑵上方10cm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，入口(2)下方設(shè)置有LED光源⑷。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的ー種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，其特征在于，所述C⑶鏡頭裝置(3)還連接有顯示裝置。
專利摘要本實用新型公開了一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，包括裝載腔室，裝載腔室的入口的上方設(shè)有CCD鏡頭裝置。本實用新型一種在CVD設(shè)備中檢測基板破片的裝置，通過在裝載腔室的入口的上方設(shè)有CCD鏡頭裝置，通過CCD鏡頭裝置實時拍攝通過裝載腔室入口的基板，從CCD鏡頭裝置實時拍攝的圖片可以直觀的判斷基板上是否有裂紋和破損；避免破損的基板進入CVD設(shè)備，損壞設(shè)備，影響生產(chǎn)。
文檔編號C23C16/44GK202658227SQ20122016928
公開日2013年1月9日 申請日期2012年4月19日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月19日
發(fā)明者張明 申請人:彩虹(佛山)平板顯示有限公司