專利名稱：一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗。觀察窗是真空鍍膜設(shè)備運行過程中至關(guān)重要的裝置，起著非常重要的作用。操作者使用觀察窗實時監(jiān)測真空腔室內(nèi)設(shè)備的運行狀況，從而控制鍍膜進度，保證鍍膜質(zhì)量和設(shè)備運行的安全性。傳統(tǒng)的觀察窗結(jié)構(gòu)簡單，在鍍膜過程中，真空腔室內(nèi)會有少量濺射物附著在觀察玻璃上。隨著濺射物的不斷沉積，觀察窗玻璃會變得模糊不清，甚至無法觀察真空腔室內(nèi)的工作情況，直接影響到了作業(yè)的監(jiān)控，帶來安全隱患，不夠安全可靠。·本實用新型就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)新穎、能起到雙重保護作用的真空腔室觀察窗。為實現(xiàn)上述目的，提供一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，包括遮板I、密封圈2、快卸連接器3、磁流體密封件4、卡環(huán)5、手柄6、擋塊15、鋼絲擋圈8、擋玻璃9、密封圈10、觀察玻璃11、橡膠墊圈12和法蘭蓋13，其特征在于第一重保護結(jié)構(gòu)由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構(gòu)成，在觀察窗座的內(nèi)腔，由內(nèi)向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上，擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合；第二重保護結(jié)構(gòu)由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環(huán)、手柄和擋塊構(gòu)成，磁流體密封件通過快卸連接器和密封圈固聯(lián)在法蘭連接器上，所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上，磁流體密封件的真空腔內(nèi)一端設(shè)有遮板，另一端設(shè)有卡環(huán)和手柄，遮板在重力作用下自動轉(zhuǎn)回直至其下沿與擋塊相接。所述的鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈由觀察窗座內(nèi)腔的凹槽、法蘭蓋和螺釘共同固定。所述的擋板玻璃由鋼絲擋圈卡持在觀察窗座內(nèi)腔，并與觀察玻璃貼合。所述的鋼絲擋圈開設(shè)有缺口，并在缺口尾端折有彎爪。所述的磁流體密封件作為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。所述的快卸連接器對磁流體密封件進行密封聯(lián)接。本實用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，采用了雙重保護結(jié)構(gòu)，擋玻璃置于觀察窗座內(nèi)腔，在觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔，構(gòu)成第一重保護。遮板置于真空腔室內(nèi)，遮蔽觀察窗視口，構(gòu)成第二重保護。其次，本實用新型的擋玻璃由鋼絲擋圈卡持在觀察窗座內(nèi)腔，并與觀察玻璃貼合，可以更好的保護觀察玻璃。鋼絲擋圈開有缺口，并在缺口尾端折有彎爪。通過捏住彎爪即可拆卸鋼絲擋圈，方便取出擋玻璃進行更換。另外，本實用新型采用磁流體密封件作為旋轉(zhuǎn)動力傳輸件，使得傳動機構(gòu)簡潔緊湊，密封性好。采用快卸連接器進行密封聯(lián)接，便于裝置拆卸，且密封性能好。遮板可在重力的作用下，自動轉(zhuǎn)回直至其下沿與擋塊相接，將觀察窗完全遮蔽。圖I是本實用新型的真空腔室觀察窗的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型的真空腔室觀察窗的遮板施用示意圖；如圖所示，圖中1為遮板2為密封圈3為快卸連接器4為磁流體密封件5為卡環(huán)6為手柄7為法蘭連接器8為鋼絲擋圈9為擋玻璃10為密封圈11為觀察玻璃12為橡膠墊圈13為法蘭蓋14為觀察窗座15為擋塊16為觀察窗視口；指定圖I為本實用新型的摘要附圖
。 [具體實施方式
]
以下結(jié)合附圖對本實用新型作進一步說明，這種裝置的結(jié)構(gòu)和原理對本實用新型來說是非常清楚的。本實用新型包括鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋，所述觀察窗還包括遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環(huán)、手柄和擋塊。所述真空腔室觀察窗的第一重保護由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構(gòu)成。在觀察窗座的內(nèi)腔，由內(nèi)向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，該五個部件由觀察窗座內(nèi)腔的凹槽、法蘭蓋和螺釘共同作用固定。所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上。擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合，保護觀察玻璃。所述真空腔室觀察窗的第二重保護由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環(huán)、手柄和擋塊構(gòu)成。磁流體密封件使用快卸連接器和密封圈固聯(lián)在法蘭連接器上。所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上。磁流體密封件的真空腔內(nèi)一端安裝遮板，另一端安裝卡環(huán)和手柄。遮板在重力作用下自動轉(zhuǎn)回直至其下沿與擋塊相接，將觀察窗完全遮蔽，保護擋玻璃和觀察玻璃。如圖I所示，是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖，所述的觀察窗包括鋼絲擋圈8、擋玻璃
9、密封圈10、觀察玻璃11、橡膠墊圈12和法蘭蓋13，所述觀察窗還包括遮板I、密封圈2、快卸連接器3、磁流體密封件4、卡環(huán)5、手柄6和擋塊15。如圖I所示，在觀察窗座14的內(nèi)腔，由內(nèi)向外依次裝入鋼絲擋圈8、擋玻璃9、密封圈10、觀察玻璃11、橡膠墊圈12，該五個部件由觀察窗座14內(nèi)腔的凹槽、法蘭蓋13和螺釘共同作用固定。磁流體密封件4安裝在法蘭連接器7上，使用快卸連接器3對兩部件進行連接。磁流體密封件4和法蘭連接器7的安裝面之間置有密封圈2。遮板I安裝在磁流體密封件4的真空腔室內(nèi)一端，使用鍵進行固定?？ōh(huán)5安裝在磁流體密封件4的真空腔室外一端，使用鍵和螺釘進行固定?？ōh(huán)5上安裝手柄6。擋塊15置于真空腔室內(nèi)部，靠近觀察窗的側(cè)壁上，用于定位遮板I的位置。擋玻璃9由鋼絲擋圈8卡持在觀察窗座14內(nèi)腔，并與觀察玻璃11貼合。在擋玻璃9觀察玻璃11與真空腔室之間形成間隔，構(gòu)成第一重保護。遮板I置于真空腔室內(nèi)，遮擋觀察窗視口，防止鍍膜過程中的濺射物直接在擋玻璃9上沉積，間接保護觀察玻璃11，構(gòu)成第二重保護。鋼絲擋圈8設(shè)有彎爪結(jié)構(gòu)，捏住彎爪，即可卸下鋼絲擋圈8，取出擋玻璃9進行更換，操作過程簡便快捷。如圖2所示，遮板I在重力的作用下，自動轉(zhuǎn)回直至其下沿與擋塊15相接，將觀察窗完全遮蔽。逆時針旋轉(zhuǎn)手柄6，通過磁流體密封件4帶動遮板I旋轉(zhuǎn)，即可重新打開觀察窗視口?！?br> 權(quán)利要求1.一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，包括遮板(I)、密封圈(2)、快卸連接器(3)、磁流體密封件(4)、卡環(huán)(5)、手柄(6)、擋塊(15)、鋼絲擋圈(8)、擋玻璃(9)、密封圈(10)、觀察玻璃(11)、橡膠墊圈(12)和法蘭蓋(13)，其特征在于第一重保護結(jié)構(gòu)由鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋構(gòu)成，在觀察窗座的內(nèi)腔，由內(nèi)向外依次裝入鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈，所述觀察窗座密封焊接在真空腔室上，擋玻璃在觀察窗和真空腔室之間形成間隔，并在鋼絲擋圈的作用下與觀察玻璃貼合；第二重保護結(jié)構(gòu)由遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環(huán)、手柄和擋塊構(gòu)成，磁流體密封件通過快卸連接器和密封圈固聯(lián)在法蘭連接器上，所述法蘭連接器密封焊接在真空腔室上，磁流體密封件的真空腔內(nèi)一端設(shè)有遮板，另一端設(shè)有卡環(huán)和手柄，遮板在重力作用下自動轉(zhuǎn)回直至其下沿與擋塊相接。
2.如權(quán)利要求I所述的一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃和橡膠墊圈由觀察窗座內(nèi)腔的凹槽、法蘭蓋和螺釘共同固定。
3.如權(quán)利要求I所述的一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的擋板玻璃由鋼絲擋圈卡持在觀察窗座內(nèi)腔，并與觀察玻璃貼合。
4.如權(quán)利要求I所述的一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的鋼絲擋圈開設(shè)有缺口，并在缺口尾端折有彎爪。
5.如權(quán)利要求I所述的一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的磁流體密封件作為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。
6.如權(quán)利要求I所述的一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，其特征在于所述的快卸連接器對磁流體密封件進行密封聯(lián)接。
專利摘要本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體的說是一種帶有雙重保護結(jié)構(gòu)的真空腔室觀察窗，包括鋼絲擋圈、擋玻璃、密封圈、觀察玻璃、橡膠墊圈和法蘭蓋，所述觀察窗還包括遮板、密封圈、快卸連接器、磁流體密封件、卡環(huán)、手柄和擋塊。本實用新型采用雙重式保護結(jié)構(gòu)擋玻璃置于觀察窗座內(nèi)腔，在觀察玻璃與真空腔室之間形成間隔，構(gòu)成第一重保護。遮板置于真空腔室內(nèi)，遮蔽觀察窗視口，形成第二重保護。本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比能夠有效防止真空腔室內(nèi)的濺射物在觀察玻璃和擋板玻璃上的沉積，保證觀察窗具有良好的觀察效果，降低擋板玻璃的更換次數(shù)，結(jié)構(gòu)新穎，使用方便，密封性能好，安全可靠。
文檔編號C23C14/52GK202705459SQ20122033118
公開日2013年1月30日 申請日期2012年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月9日
發(fā)明者葛治亮, 李險峰, 張超群, 汪舒生 申請人:中國建材國際工程集團有限公司