專利名稱：一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
—種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)本實(shí)用新型涉及真空鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)。真空鍍膜是一種產(chǎn)生薄膜材料的技術(shù)。在真空室內(nèi)材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩(wěn)定的真空度。目前，真空鍍膜設(shè)備密封形式多采用單根橡膠圈密封，這種密封形式適用于較小密封面的密封，對于較大密封面采用該種密封方式容易出現(xiàn)密封效果不佳的問題。尤其對于經(jīng)常開閉的蓋板，橡膠圈受反復(fù)作用力以及溫度和其他環(huán)境因素的影響下，很容易產(chǎn)生異常變形和老化，縮短橡膠圈的使用壽命。橡膠圈一旦在局部某處產(chǎn)生異常變形和老化，就會(huì)影響鍍膜設(shè)備真空度的獲得；而且因需經(jīng)常更換密封件，極大的影響著生產(chǎn)連續(xù)、正常的進(jìn)行?！け緦?shí)用新型就是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種結(jié)構(gòu)新穎，密封性能更可靠，穩(wěn)定性好的一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，提供一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，包括密封法蘭I、光面法蘭2、內(nèi)層密封圈3、外層密封圈4、支架5、密封槽6、泄氣槽7、泄氣孔8和真空泵，其特征在于所述密封法蘭I的密封面上開設(shè)有密封槽6，密封槽6內(nèi)設(shè)有內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4，內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4之間開設(shè)有泄氣槽7，泄氣槽7上設(shè)有泄氣孔8，泄氣槽7通過泄氣孔8連接真空管道一端，真空管道另一端連接真空泵。所述的內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4嵌于同一密封槽6內(nèi)。所述的內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4之間通過支架5隔開。所述的支架5分為若干段，通過螺釘固定于密封法蘭I上，支架5下表面開設(shè)有泄氣槽7。所述的內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4分別嵌于相互獨(dú)立的兩密封槽內(nèi)。所述的內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭2，形成雙層密封結(jié)構(gòu)。本實(shí)用新型同現(xiàn)有技術(shù)相比，其采用了雙層密封圈的結(jié)構(gòu)，使得密封性能更可靠；且不會(huì)因其中一根密封圈的失效而影響真空腔體的密封性，延長了大面積密封結(jié)構(gòu)的使用壽命。同時(shí)，本密封結(jié)構(gòu)具有結(jié)構(gòu)簡單，易安裝、拆卸的優(yōu)點(diǎn)。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例I的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；如圖所示，圖中1為密封法蘭2為光面法蘭3為內(nèi)層密封圈4為外層密封圈5為支架6為密封槽7為泄氣槽8為泄氣孔9為真空腔室；指定圖I為本實(shí)用新型的摘要附圖
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以下結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明，這種裝置的結(jié)構(gòu)和原理對本專業(yè)的人來說是非常清楚的。本實(shí)用新型解決為一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔連接，其特征在于它由內(nèi)層密封圈、外層密封圈以及密封法蘭和光面法蘭組成。密封法蘭密封面上開有密封槽，內(nèi)層密封圈和外層密封圈嵌于密封槽內(nèi)；兩密封圈間開有泄氣槽，法蘭體上開有一泄氣孔，泄氣槽通過泄氣孔以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭，形成雙層密封?！0017]在上述主要技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，可以增加以下進(jìn)一步完善的技術(shù)方案內(nèi)層密封圈和外層密封圈可嵌于同一密封槽內(nèi)，密封法蘭密封面上只需開一個(gè)密封槽，簡化了密封槽結(jié)構(gòu)，減小了加工難度。同一密封槽內(nèi)的內(nèi)外兩層密封圈間通過支架隔開，支架同時(shí)起到固定密封圈的作用。支架可分為若干段，通過螺釘固定于密封法蘭體上，支架下表面開有泄氣槽，用于排出兩密封圈間的氣體。內(nèi)層密封圈和外層密封圈也可分別嵌于相互獨(dú)立的兩密封槽內(nèi)，無需支架固定，節(jié)約了支架成本。雙層密封結(jié)構(gòu)既可垂直安裝，也可水平安裝；對于垂直安裝的形式，兩法蘭間通過螺栓連接，如鍍膜腔體與腔體之間的密封；對于水平安裝的形式，兩密封圈在密封法蘭的重力以及壓差力的作用下壓緊光面法蘭，如蓋板與腔體間的密封，則可省去螺栓連接。實(shí)施例一如圖I所示，本實(shí)施例包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔8連接，其特征在于它由內(nèi)層密封圈3、外層密封圈4、支架5以及密封法蘭I和光面法蘭2組成。密封法蘭I密封面上開有密封槽6，內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4嵌于密封槽6內(nèi)，兩密封圈間通過支架5隔開，支架5通過螺釘固定于密封法蘭I上，同時(shí)將兩密封圈固定于密封槽6內(nèi)；支架5可分為若干段，且底部開有泄氣槽7，光面法蘭2上開有一泄氣孔8，泄氣槽7通過泄氣孔8以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭2，形成雙層密封。實(shí)施例二如圖2所示，本實(shí)施例包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔8連接，其特征在于它由內(nèi)層密封圈3、外層密封圈4以及密封法蘭I和光面法蘭2組成。密封法蘭I密封面上開有兩密封槽6,內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4分別嵌于兩密封槽6內(nèi)，兩密封圈間的密封法蘭I密封面上開有泄氣槽7，在泄氣槽7上方密封法蘭I上某處開有一泄氣孔8，泄氣槽7通過泄氣孔8以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭2，形成雙層密封。
權(quán)利要求1.一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，包括密封法蘭(I)、光面法蘭(2)、內(nèi)層密封圈(3)、外層密封圈(4)、支架(5)、密封槽￠)、泄氣槽(7)、泄氣孔(8)和真空泵，其特征在于所述密封法蘭(I)的密封面上開設(shè)有密封槽￠)，密封槽(6)內(nèi)設(shè)有內(nèi)層密封圈(3)和外層密封圈(4)，內(nèi)層密封圈(3)和外層密封圈(4)之間開設(shè)有泄氣槽(7)，泄氣槽(7)上設(shè)有泄氣孔(8)，泄氣槽(7)通過泄氣孔(8)連接真空管道一端，真空管道另一端連接真空栗。
2.如權(quán)利要求I所述的一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的內(nèi)層密封圈(3)和外層密封圈(4)嵌于同一密封槽(6)內(nèi)。
3.如權(quán)利要求I所述的一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的內(nèi)層密封圈(3)和外層密封圈(4)之間通過支架(5)隔開。
4.如權(quán)利要求3所述的一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的支架(5)分為若干段，通過螺釘固定于密封法蘭(I)上，支架(5)下表面開設(shè)有泄氣槽(7)。
5.如權(quán)利要求I所述的一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的內(nèi)層密封圈(3)和外層密封圈(4)分別嵌于相互獨(dú)立的兩密封槽內(nèi)。
6.如權(quán)利要求I所述的一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，其特征在于所述的內(nèi)層密封圈(3)和外層密封圈(4)在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭(2)，形成雙層密封結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種用于真空鍍膜設(shè)備的雙層密封結(jié)構(gòu)，包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔8連接，其特征在于它由內(nèi)層密封圈3、外層密封圈4以及密封法蘭1和光面法蘭2組成，密封法蘭1密封面上開有密封槽6，內(nèi)層密封圈3和外層密封圈4嵌于密封槽6內(nèi)；兩密封圈間開有泄氣槽7，法蘭體上開有一泄氣孔8，泄氣槽7通過泄氣孔8以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭2，形成雙層密封。本實(shí)用新型能夠?qū)崿F(xiàn)真空腔體的可靠的密封；同時(shí)，本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)簡單，使用壽命長，易于安裝、拆卸的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號C23C14/56GK202705460SQ20122033136
公開日2013年1月30日 申請日期2012年7月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月9日
發(fā)明者羅松松, 葛治亮, 李險(xiǎn)峰 申請人:中國建材國際工程集團(tuán)有限公司