專利名稱：一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型關(guān)于屬于濺射設(shè)備靶極冷卻裝置，具體涉及一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置。
背景技術(shù)：
本實用新型系為一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，薄膜設(shè)備靶極冷卻水循環(huán)系統(tǒng)是極為重要的一部分，負責將濺射等離子體靶材產(chǎn)生的高溫藉由冷卻銅背板內(nèi)的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)將熱源帶到冷卻系統(tǒng)后冷卻，使靶材能在等離子體轟擊下保持一定的溫度，否則靶材會因高溫融化或破裂而無法在進行等離子體轟擊，導致無法沉積薄膜，如此一來就需要更換新的靶材或拆卸下進行修復，不僅耗費成本也增加設(shè)備停機維修的時間。現(xiàn)有技術(shù)使用介質(zhì)設(shè)置于銅背板與靶極中間，使用間接冷卻的方式，藉由靶極內(nèi)部通入冷卻水循環(huán)方式產(chǎn)生冷源，而中間的介質(zhì)最為溫度的傳遞以冷卻銅背板上接合的靶材，然而現(xiàn)有技術(shù)的冷卻方式對于高功率的濺射模式下會有冷卻能力不足的現(xiàn)象，造成靶材落裂或是焊接脫落。

實用新型內(nèi)容本實用新型主要目的系提供一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，本實用新型采用的方案是；靶材置于銅背板下方并進行焊接，使靶材背面緊密貼和在銅背板上，確保冷卻能順利進行，不會因空隙產(chǎn)生多馀的熱阻，影響冷卻效果，銅背板正面設(shè)置水路系統(tǒng)，包括一進水口極一出水口，銅背板內(nèi)部設(shè)置5個水道且水道頭尾相通，使冷卻水能順利流通，各水道頭尾設(shè)置有長方形凹槽，能使水流加速，水道隔間條上設(shè)置有橡膠密封圈，使水道能照設(shè)置的流向前進，不會產(chǎn)生水壓及流速的損失，當冷卻水由進水口流入后，就順著水道前進，一直到出水口流出，其中接觸銅背板的時間及長度增加了冷卻能力，使靶極能充分冷卻，達到正常的工作溫度，同時也冷卻了靶材，使濺射設(shè)備保持持續(xù)的工作狀態(tài)，減少維修的時間。

圖I系為本實用新型之結(jié)構(gòu)示意圖。圖2系為本實用新型剖面示意圖。主要組件符號說明。11...銅背板主體。12...進水口。13...水道。14...長方形凹槽。15...出水口。21...水道隔板。
具體實施方式
為使方簡捷了解本實用新型之其他特征內(nèi)容與優(yōu)點及其所達成之功效能夠為顯現(xiàn)，茲將本實用新型配合附圖詳細明如下請閱圖I本實用新型之主要目的系提供一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，是由銅背板主體11、進水口 12、水道13、長方形凹槽14及出水口 15所組成，請參閱圖2所示，銅背板主體11設(shè)置有4個水道隔板21，當冷卻水由進水口 12流入后，沿著被水道隔板21間隔出的水道13前進，途中經(jīng)過各水道頭尾相連的長方形凹槽14加速以保持冷卻水的流速，最后再由冷卻水由出水口 15流出至外部冷卻水循環(huán)系統(tǒng)。所述的銅背板主體11厚度為25mm。所述的水道13寬度為59mm。所述的長方形凹槽14長為63mm,寬為43mm與現(xiàn)有技術(shù)相比，如此反復循環(huán)以確保靶極在工作中仍能維持一定溫度，濺鍍設(shè)備不會因高溫發(fā)生故障，減少設(shè)備停機造成的損失。綜上所述，本實用新型在突破先前之技術(shù)結(jié)構(gòu)下，確實已達到所欲增進之功效，且也非熟悉該項技藝者所于思及，其所具之進步性、實用性，顯已符合實用新型專之申請要件，惟上詳細明系針對本實用新型之一可實施之具體明，該實施并非用以限制本實用新型之專范圍，而凡未脫本實用新型技藝所為之等效實施或變，均應包含于本案之專范圍中。
權(quán)利要求1.一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，包括銅背板主體11、進水口 12、水道13、長方形凹槽14及出水口 15所組成。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述之一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特征在于，所述銅背板主體厚度為25mm。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所敘述之一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特征在于，所述各水道寬度為59mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所敘述之一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，其特征在于，所述長方形凹槽長為63mm，寬為43mm。
專利摘要本實用新型主要目的系提供一種薄膜濺射設(shè)備靶極冷卻銅背板冷卻裝置，本實用新型采用的方案是；靶材置于銅背板下方并進行焊接，使靶材背面緊密貼和在銅背板上，確保冷卻能順利進行，不會因空隙產(chǎn)生多馀的熱阻，影響冷卻效果，銅背板正面設(shè)置水路系統(tǒng)，包括一進水口極一出水口，銅背板內(nèi)部設(shè)置5個水道且水道頭尾相通，使冷卻水能順利流通，各水道頭尾設(shè)置有長方形凹槽，能使水流加速，水道隔間條上設(shè)置有橡膠密封圈，使水道能照設(shè)置的流向前進，不會產(chǎn)生水壓及流速的損失，當冷卻水由進水口流入后，就順著水道前進，一直到出水口流出，其中接觸銅背板的時間及長度增加了冷卻能力，使靶極能充分冷卻，達到正常的工作溫度，同時也冷卻了靶材，使濺射設(shè)備保持持續(xù)的工作狀態(tài)，減少維修的時間。
文檔編號C23C14/34GK202730222SQ20122034257
公開日2013年2月13日 申請日期2012年7月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月16日
發(fā)明者周文彬, 劉幼海, 劉吉人 申請人:吉富新能源科技(上海)有限公司