專利名稱：一種鍍膜機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種鍍膜機(jī)，特別涉及一種可以精確控制鍍膜厚度的鍍膜機(jī)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有的鍍膜機(jī)是采用光控的膜厚控制儀來控制膜層的厚度，它的原理是利用光的干涉來監(jiān)測(cè)膜厚，當(dāng)光亮最小的時(shí)候，膜厚達(dá)到設(shè)定波長(zhǎng)的1/4的光學(xué)厚度。這種技術(shù)不能控制非規(guī)整的膜厚，這是由于非規(guī)整的膜厚用光控的方法控制時(shí)，還沒有走到極值就必須要判停，不能達(dá)到所需要的膜厚；而且光控不能控制很薄的膜厚；同時(shí)，光控的操作重復(fù)性較差，不能精確地保證每次鍍膜的厚度一致
實(shí)用新型內(nèi)容
為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種鍍膜機(jī)，以達(dá)到可以精確控制鍍膜的厚度的目的。為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下一種鍍膜機(jī)，包括真空腔室和設(shè)于所述真空腔室上部并由電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的鍍膜傘，所述鍍膜傘中心到邊緣的不同半徑的位置上設(shè)有工件放置孔，所述鍍膜傘一側(cè)中心到邊緣的中間位置處下方設(shè)置有蒸發(fā)源，所述鍍膜傘中心位置處設(shè)有傳感器，所述傳感器與精密膜厚控制儀相連。優(yōu)選地，所述傳感器內(nèi)部橫向設(shè)有一水晶片。通過上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型提供的鍍膜機(jī)在鍍膜傘的中心位置處設(shè)有傳感器，且該傳感器與精密膜厚控制儀相連，能夠?qū)崿F(xiàn)膜厚的高精度控制，確保膜厚的控制性能
可靠穩(wěn)定。

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例所公開的一種鍍膜機(jī)的示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。本實(shí)用新型提供了一種鍍膜機(jī)，如圖I所示的結(jié)構(gòu)示意圖，該鍍膜機(jī)可以精確控制鍍膜的厚度，性能穩(wěn)定可靠。所述鍍膜機(jī)，包括真空腔室I、電機(jī)2、鍍膜傘3和蒸發(fā)源4。鍍膜傘3設(shè)于真空腔室I的上部，其中心處通過轉(zhuǎn)軸5連接有電機(jī)2，可由電機(jī)2驅(qū)動(dòng)其旋轉(zhuǎn)；鍍膜傘3中心到邊緣的不同半徑的位置上環(huán)形陣列有數(shù)個(gè)工件放置孔31，用以放置工件；鍍膜傘3 —側(cè)中心到邊緣的中間位置處下方設(shè)置有蒸發(fā)源4，于此，即為鍍膜傘3弧形傘面一側(cè)的二分之一位置處下方設(shè)置有蒸發(fā)源4 ;本實(shí)施例中，由蒸發(fā)物質(zhì)41置于坩堝內(nèi)作為蒸發(fā)源4。鍍膜傘3中心位置處還設(shè)有傳感器6，傳感器6與精密膜厚控制儀7相連，本實(shí)施例中的傳感器6內(nèi)部橫向設(shè)有一水晶片(圖中未顯示)，通過水晶片的振動(dòng)，在精密膜厚控制儀7上可以顯示出振蕩頻率變化曲線，頻率與膜層的質(zhì)量成反比例關(guān)系，由于蒸發(fā)物質(zhì)的密度是一定的，通過膜層增加的質(zhì)量可以算出膜層增加的體積，水晶片的面積也是一定的，進(jìn)而可以算出增加的膜層厚度。本實(shí)用新型提供的鍍膜機(jī)在鍍膜傘的中心位置處設(shè)有傳感器，且該傳感器與精密膜厚控制儀相連，能夠?qū)崿F(xiàn)膜厚的高精度控制，確保膜厚的控制性能可靠穩(wěn)定，而且能夠控制很薄的膜層，適用范圍廣。對(duì)所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種鍍膜機(jī)，包括真空腔室和設(shè)于所述真空腔室上部并由電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的鍍膜傘，所述鍍膜傘中心到邊緣的不同半徑的位置上設(shè)有工件放置孔，所述鍍膜傘一側(cè)中心到邊緣的中間位置處下方設(shè)置有蒸發(fā)源，其特征在于，所述鍍膜傘中心位置處設(shè)有傳感器，所述傳感器與精密膜厚控制儀相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種鍍膜機(jī)，其特征在于，所述傳感器內(nèi)部橫向設(shè)有一水晶片。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種鍍膜機(jī)，包括真空腔室和設(shè)于所述真空腔室上部并由電機(jī)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的鍍膜傘，所述鍍膜傘中心到邊緣的不同半徑的位置上設(shè)有工件放置孔，所述鍍膜傘一側(cè)中心到邊緣的中間位置處下方設(shè)置有蒸發(fā)源，所述鍍膜傘中心位置處設(shè)有傳感器，所述傳感器與精密膜厚控制儀相連，本實(shí)用新型所公開的鍍膜機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)膜厚的高精度控制，確保膜厚的控制性能可靠穩(wěn)定，而且能夠控制很薄的膜層，適用范圍廣。
文檔編號(hào)C23C14/54GK202766612SQ20122038857
公開日2013年3月6日 申請(qǐng)日期2012年8月7日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月7日
發(fā)明者許峰 申請(qǐng)人:蘇州市博飛光學(xué)有限公司