專(zhuān)利名稱(chēng)：一種方便清理的滾輪外罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于傳送沉積系統(tǒng)中的基材領(lǐng)域，尤其涉及一種方便清理的滾輪外罩。
技術(shù)背景薄膜太陽(yáng)電池可以用價(jià)格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨、金屬片等不同材料做基板，又具有可撓性可以制作成非平面構(gòu)造，可與建筑物結(jié)合或是變成建筑體的一部份，應(yīng)用非常廣泛。在薄膜太陽(yáng)電池制造上，常在一CVD系統(tǒng)內(nèi)進(jìn)行基材上的薄膜層的制程。反應(yīng)物進(jìn)入制程區(qū)，待處理(例如涂層)的基板被置于熱板上加熱到合適沉積的溫度環(huán)境。至少部分的化學(xué)反應(yīng)生成物會(huì)沉積在基板上，殘余物會(huì)通過(guò)排氣設(shè)備排除制程區(qū)。在傳送系統(tǒng)中，基板通過(guò)下方的滾輪組進(jìn)行水平傳送。當(dāng)這些滾輪暴露在制程室里時(shí)，滾輪會(huì)被制程室內(nèi)氣體污染。當(dāng)滾輪傳送下一塊基板時(shí)，下一塊的基板背面會(huì)被滾輪污染。同時(shí)滾輪上的污染物堆積到一定量會(huì)容易脫落到制程室，影響制程反應(yīng)效果。中國(guó)專(zhuān)利CN 201485502U公布了一種外罩裝置，但其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，污染物堆積到一定量后需要繁瑣的拆卸工作，清理起來(lái)十分不方便，耗費(fèi)大量精力。因此，急需一種在改善制程效果的同時(shí)，結(jié)構(gòu)合理、清理起來(lái)方便快捷的外罩裝置。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是針對(duì)上述提到的問(wèn)題，提供一種方便清理的外罩裝置，該外罩除了能夠改善制程效果以外，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、拆卸方便、便于清理和維護(hù)。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是本實(shí)用新型包括頂板、凸出板、底罩、凸出底倉(cāng)和頂板上的滾輪導(dǎo)軌；本實(shí)用新型的頂板固定在底罩上，頂板與底罩之間的空腔中設(shè)置與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的滾輪，頂蓋上的滾輪導(dǎo)軌與滾輪相連；凸出板連接在頂板的末端上方，凸出底倉(cāng)連接在底罩的末端。所述頂板是長(zhǎng)方體的。所述凸出板是長(zhǎng)方體的，被設(shè)置成可以至少部分保護(hù)滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)內(nèi)的物質(zhì)污染。所述凸出底倉(cāng)被設(shè)置可以至少部分保護(hù)沉積系統(tǒng)，以免滾輪上的物質(zhì)污染沉積系統(tǒng)。本實(shí)用新型有益效果如下本實(shí)用新型除了能夠至少部分保護(hù)滾輪不受到沉積的影響，還至少部分保護(hù)沉積系統(tǒng)不被滾輪上的物質(zhì)污染，有效的優(yōu)化制程效果。同時(shí)本實(shí)用新型設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、結(jié)構(gòu)合理、拆卸清理起來(lái)十分方便，使用起來(lái)節(jié)省大量精力。
圖I為滾輪組上傳送基板的部分沉積系統(tǒng)的上視圖。圖2為本實(shí)用新型的傳送基材側(cè)視圖。圖3為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中，頂板I、底罩2、凸出板3、凸出底倉(cāng)4、滾輪5、滾輪導(dǎo)軌6、轉(zhuǎn)動(dòng)軸7、基板8。
具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。如圖I所示為在復(fù)數(shù)個(gè)滾輪5上傳遞基板8的部分沉積系統(tǒng)。滾輪5在傳動(dòng)軸7促動(dòng)下，從基板8較低表面的背端接觸。如出現(xiàn)目標(biāo)位置，基材支撐體中的支撐物(如加熱板)會(huì)從較低位提起，從滾輪5上提起基板8。滾輪5會(huì)從基板8收回，以避免影響隨后的處理步驟。當(dāng)沉積過(guò)程結(jié)束后，滾輪5會(huì)返回原工作位置，通過(guò)降低基材支撐物將基板8置放回滾輪5上，并傳送基材8。如圖2顯示更多細(xì)節(jié)，滾輪外罩包括頂板I、凸出板3、底罩2、凸出底倉(cāng)4和頂板上的滾輪導(dǎo)軌6，頂板I固定在底2罩上，頂板I與底罩2之間的空腔中設(shè)置與轉(zhuǎn)動(dòng)軸7相連的滾輪5，頂蓋I上的滾輪導(dǎo)軌6與滾輪5相連；凸出板3連接在頂板I的末端上方，凸出底倉(cāng)4連接在底罩2的末端?；?與安裝在外罩內(nèi)的滾輪5相接觸，滾輪5轉(zhuǎn)動(dòng)可促使基板8的傳動(dòng)。在滾輪轉(zhuǎn)動(dòng)的過(guò)程中，部分滾輪上的物質(zhì)會(huì)落在凸出底倉(cāng)5內(nèi)。如圖3所示，當(dāng)滾輪5從基材8處收回，沉積過(guò)程開(kāi)始，沉積物質(zhì)可部分落在凸出板3上，凸出板3可至少部分保護(hù)滾輪5。本實(shí)用新型由于設(shè)有凸出板和凸出底倉(cāng)，在制程過(guò)程中能至少部分保護(hù)滾輪不受制程系統(tǒng)的污染，有效的優(yōu)化了制程效果。同時(shí)本實(shí)驗(yàn)新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，平時(shí)正常清理時(shí)只需要用吸塵器對(duì)其進(jìn)行清理即可，節(jié)省使用者的精力和時(shí)間。
權(quán)利要求1.一種方便清理的滾輪外罩，包括頂板、凸出板、底罩、凸出底倉(cāng)和頂板上的滾輪導(dǎo)軌；其特征在于 頂板固定在底罩上，頂板與底罩之間的空腔中設(shè)置與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的滾輪模塊，頂蓋上的滾輪導(dǎo)軌與滾輪模塊相連；凸出板被設(shè)置成可以至少部分保護(hù)滾輪，以免受到沉積系統(tǒng)內(nèi)的物質(zhì)污染；凸出底倉(cāng)被設(shè)置可以至少部分保護(hù)沉積系統(tǒng)，以免滾輪上的物質(zhì)污染沉積系統(tǒng)； 所述頂板是長(zhǎng)方體的。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的滾輪外罩，其特征在于所述凸出底倉(cāng)連接在底罩的末端。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的滾輪外罩，其特征在于所述凸出板是長(zhǎng)方體的，連接在頂板的末端上方。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種方便清理的滾輪外罩，本實(shí)用新型包括頂板、凸出板、底罩、凸出底倉(cāng)、和頂板上的滾輪導(dǎo)軌；頂板固定在底罩上，頂板與底罩之間的空腔中設(shè)置與轉(zhuǎn)動(dòng)軸相連的滾輪模塊，頂蓋上的滾輪導(dǎo)軌與滾輪模塊相連；凸出板被設(shè)置成可以至少部分保護(hù)滾輪模塊，以免受到沉積系統(tǒng)內(nèi)的物質(zhì)污染；凸出底倉(cāng)被設(shè)置可以至少部分保護(hù)沉積系統(tǒng)，以免滾輪模塊上的物質(zhì)污染沉積系統(tǒng)；本實(shí)用新型相較于其他的外罩裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝拆卸方便，使用者能夠更加快速的對(duì)其進(jìn)行維護(hù)和清理操作。
文檔編號(hào)C23C16/56GK202705471SQ20122039884
公開(kāi)日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年8月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月14日
發(fā)明者不公告發(fā)明人 申請(qǐng)人:王煦麗